SU1325195A1

SU1325195A1 - Vacuum cryopump

Info

Publication number: SU1325195A1
Application number: SU864011403A
Authority: SU
Inventors: Николай Васильевич Тятюшкин; Анатолий Владимирович Громов; Татьяна Викторовна Фартушина
Original assignee: Предприятие П/Я М-5727
Priority date: 1986-01-14
Filing date: 1986-01-14
Publication date: 1987-07-23

Abstract

Изобретение относитс к вакуумной технике и позвол ет сократить врем регенерации и выхода на рабочий режим. Теплоизолированный регенеративный теплообменник (РТ) 13 подключен при помощи управ .ч емого вентил (УВ) 14 к входу компрессора 2 и размещен на входном трубопроводе 10. УВ 15 трубопровода 10 расположен перед РТ 13. Змеевик 8 теплозапи)т- ного экрана 6 подключен при IIOMOHUI УВ 16 к выходу компрессора 2. Криоагент, охлажда сь в змеевиках 8 и 9, отбирает избыточный холод холодильной Ма|11ИП1 1 и охлаждает насадку РТ 13. Дл регенерации крионасоса выключают привод рас1пирител 3 и полностью открывают УВ 14 и 16. При атом криоагент отогревает экран 6 и крио- панель 7 и переносит холод, аккуму.чи- ровапный на них, в РТ 13. 1 ил. S (Л со N5 СЛ О О1The invention relates to vacuum technology and reduces the time for regeneration and release to the operating mode. A heat-insulated regenerative heat exchanger (PT) 13 is connected by means of a controllable valve (HC) 14 to the input of the compressor 2 and placed on the inlet pipe 10. The HC 15 of the pipe 10 is located in front of the PT 13. The coil 8 of the heat sink 6 is connected at IIOMOHUI HC 16 to the output of compressor 2. The cryoagent, cooled in coils 8 and 9, takes the excess cold from the cooling Ma | 11IP1 1 and cools the nozzle PT 13. For regenerating the cryopump, turn off the actuator 3 and open the HC 14 and 16 fully. warms the screen 6 and cryopan s 7 and transfers the cold, akkumu.chi- rovapny on them in the RT 13. 1 yl. S (L with N5 СЛ О О1

Description

И loojieieiine относитс к области вакуумной техники, а именно к конструкци м вакуумных крионасосов.And loojieieiine belongs to the field of vacuum technology, namely to the designs of vacuum cryopumps.

Це.чью изобретени вл етс сокращение времени выхода на рабочий режим и регенерации.The purpose of the invention is to reduce the time to exit and regeneration.

На чертеже представлена схема крионасо- са.The drawing shows a cryopump.

Вакуумный крионасос содержит корпус 1, газовую холодильную маижну, выполненную в виде компрессора 2, расширител 3 и размещенных в корпусе 1 теплообменником 4 и 5 нагрузки, расположенные на теплообменниках 4 и 5 теплозащитный экран 6 и криопанель 7 и закрепленные на них последовательно соединенные змеевики 8 и 9, причем змеевик 9 криопа- нели 7 при помощи входного трубопровода 10 подсоединен к выходу компрессора 2, а змеевик 8 экрана 6 при помощи выходного трубопровода I 1 с управл емым вентилем 12 - к входу компрессора 2. Крионасос дополнительно содержит теплоизоли- )ованный регенеративный теплообменник 13, подключенный при помощи управл емого вентил 14 к входу компрессора 2 и размещенный на входном трубопроводе 10, который снабжен управл емым вентилем 15, распо,:1оженным перед теплообменником 13, а змеевик 8 экрана 6 дополнительно подключен при помощи управл емого веити.ч 16 к компрессора 2.The vacuum cryopump includes a housing 1, a gas refrigerating lance made in the form of a compressor 2, an expander 3 and a load placed in the housing 1 by a heat exchanger 4 and 5, located on the heat exchangers 4 and 5, a heat shield 6 and a cryopanel 7 and attached to them are series-connected coil 8 and 9, with the coil 9 of the cryopannel 7 connected to the outlet of the compressor 2 by means of the inlet pipe 10, and the coil 8 of the screen 6 using the output pipe I 1 with a controlled valve 12 to the inlet of the compressor 2. The cryopump additionally A heat-insulated regenerative heat exchanger 13 is connected by means of a controlled valve 14 to the input of a compressor 2 and placed on the inlet pipe 10, which is equipped with a controlled valve 15, located: in front of the heat exchanger 13, and the coil 8 of screen 6 is additionally connected at the aid of a controlled wind power 16 to the compressor 2.

Крионасос работает следующим образом.The cryopump works as follows.

Холодильна машина, состо ща из компрессора 2 и расширител 3 охлаждает экран 6 и криопанель 7 при помощи теплообменников 4 и 5 до 60-80К и 16 20К соответственно. При этом на поверхности экрана 6 конденсируютс углеводороды, пары воды, а на криопане. ш 7 конденсируютс азот, кислород, аргон и т.п.The refrigerating machine consisting of compressor 2 and expander 3 cools screen 6 and cryopanel 7 using heat exchangers 4 and 5 to 60-80К and 16–20К, respectively. At the same time, hydrocarbons, water vapor, and cryopane are condensed on the surface of screen 6. N 7 condenses nitrogen, oxygen, argon, and the like.

Часть криоагента через частично открытые вентили 14 и 16, мину расширитель 3, перепускаетс через змеевик 8 экрана 6, змеевик 9 криопанели 7 и регенеративный теплообменник 13. Криоагент. охA part of the cryoagent through partially open valves 14 and 16, by the dilator 3, is passed through the coil 8 of the screen 6, the coil 9 of the cryopanel 7 and the regenerative heat exchanger 13. The cryoagent. Oh

лажда сь в змеевиках 8 и 9, отбирает из- бьЕточную холодопроизводительность холодильной машины и охлаждает насадку теплообменника 13.Each coil in the coils 8 and 9 selects the excess cooling capacity of the chiller and cools the nozzle of the heat exchanger 13.

Дл регенерации крионасоса выклю чают привод расширител 3 и полностью открывают вентили 14 и 16. При этом криоагент, имеющий температуру выхода из компрессора 2, проход через змеевики 8 и 9, отогревает экран 6 и криопанель 7 и переносит холод, аккумулированный на них, в регенеративный теплообменник 13.To regenerate the cryopump, the expander 3 drive is turned off and valves 14 and 16 are fully opened. At the same time, the cryoagent, having an outlet temperature from compressor 2, passes through the coils 8 and 9, warms the screen 6 and cryopanel 7 and transfers the cold accumulated on them to the regenerative heat exchanger 13.

После регенерации крионасоса вентили 14 и 16 закрываютс , включаетс привод рас1иирител 3 и открываютс вентили 12 и 5 15. Часть криоагента при этом проходит через теплообменник 13 и, охлажда сь в нем, интенсивно охлаждает экран и криопанельAfter the cryopump is regenerated, the valves 14 and 16 are closed, the actuator 3 is turned on, and the valves 12 and 5 15 are opened. A part of the cryoagent passes through the heat exchanger 13 and, while cooling in it, intensively cools the screen and the cryopanel

Таким образом, сокращаетс врем регенерации и выхода на режим крионасоса.Thus, the regeneration time and the output to the cryopump mode are reduced.

00

5five

00

5five

00

Claims

Invention Formula

Vacuum cryopump containing a case, a gas chiller made in the form of a compressor, an expander and load-carrying heat exchangers placed in the case, heat shield and cryopanel located on the latter and series-connected coils attached to them, and the cryopanel coil at HUMOP1 and the inlet pipe connected to the compressor outlet and the scraper coil using the output piping with a controllable valve is connected to the compressor inlet, characterized in that, in order to reduce the operating time Regime and regeneration, the cryopump additionally contains a heat-insulated regenerative heat exchanger connected via a controlled valve to the compressor inlet and placed on the inlet pipe, the latter equipped with a controlled valve located in front of the heat exchanger, and a screen coil is additionally connected using a controlled valve to the compressor outlet.