Киевский Политехнический Институт Им.50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Киевский Политехнический Институт Им.50-Летия Великой Октябрьской Социалистической РеволюцииfiledCriticalКиевский Политехнический Институт Им.50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции
Priority to SU3841424/21ApriorityCriticalpatent/SU1300976A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU1300976A1publicationCriticalpatent/SU1300976A1/ru
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и изготовления сегнетокерамических мишеней, распыляемых ионной бомбардировкой в вакууме. Цель изобретения повышение производительности изготовления мишени достигается путем ускорения структурных преобразований материала заготовки в процессе обработки ее током разряда. Для этого обработку заготовки током разряда в вакууме проводят при давлении не более 6,65·10Па. Процесс обработки при указанном давлении не превышают 30-40 мин. При практической реализации способа стабилизации тока разряда наступала через 30-40 мин от начала обработки, после чего мишени были готовы к использованию.
SU3841424/21A1984-11-231984-11-23Способ изготовления сегнетокерамической мишени
SU1300976A1
(ru)