SU1291823A1 - System for determining overlap errors - Google Patents
System for determining overlap errors Download PDFInfo
- Publication number
- SU1291823A1 SU1291823A1 SU837772815A SU7772815A SU1291823A1 SU 1291823 A1 SU1291823 A1 SU 1291823A1 SU 837772815 A SU837772815 A SU 837772815A SU 7772815 A SU7772815 A SU 7772815A SU 1291823 A1 SU1291823 A1 SU 1291823A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- image
- rays
- image signals
- plane
- light
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/70616—Monitoring the printed patterns
- G03F7/70633—Overlay, i.e. relative alignment between patterns printed by separate exposures in different layers, or in the same layer in multiple exposures or stitching
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано в промышленности по производству пролупроводников. Цель изобретени - повышение точности и производительности измерени путем исключени возникновени субъективных ошибок при проведении измерени . На входе каждого из двух каналов 4 и 5 сигналов изображени оптического компаратора 6 изображени установлена осветительна система, включающа комбинагщи фильтров 9 и 10. Эти комбинации фильтров 9 и 10 рассчитаны так, что они в каждом случае только пропускают свет определенного диапазона длин волн. Диапазоны длин волн обоих каналов 4 и 5 сигналов изображени не пересекаютс , В одном канале сигналов изображени в ходе лучей находитс шаблон 2 (эталонный объект), в другом канале сигналов изображени - шаблон 3 (испытуемый объект). В качестве эталонного объекта может служить, например, шаблон комплекта шаблонов с измерительными метками в отдельном кадре шаблона. Испытуемым объектом может быть измер емый шаб- ,лон, который также снабжен измери (Л Я « H)N9 ;о 00 IC оо о „ г jr дт л уг The invention relates to a measurement technique and can be used in the industry for the production of semiconductors. The purpose of the invention is to improve the accuracy and productivity of measurement by eliminating the occurrence of subjective errors during measurement. At the input of each of the two channels 4 and 5 of the image signals of the optical comparator 6, an illumination system is installed, including combi filters 9 and 10. These combinations of filters 9 and 10 are designed so that in each case they only transmit light of a certain wavelength range. The wavelength ranges of both channels 4 and 5 of the image signals do not intersect. In one channel of the image signals in the course of the rays there is a pattern 2 (reference object), in another channel of the image signals there is a pattern 3 (test object). As a reference object, for example, a template of a set of templates with measuring marks in a separate template frame can serve. The test object can be a measurable pattern, which is also provided with a measure (L I «H) N9; o 00 IC oo gr dt l angle
Description
тельными метками. Каждый из двух объектов освещают светом различной длины волн в отраженном или проход щем свете. Оба лучи в каждом случае через отклон ющие зеркала 21-23 падают на светоделительный кубик 24 в .результате на выходе оптического компаратора 6 получают цветное изображение . Это изображение можно наблюдать через окул ры, причем ошибки перекрыти распознаютс как цветные окантовки. Одновременноtelnymi tags. Each of the two objects is illuminated with light of different wavelengths in reflected or transmitted light. Both beams, in each case, through the deflecting mirrors 21-23 fall on the beam-splitting cube 24, and as a result, at the output of the optical comparator 6, a color image is obtained. This image can be observed through the oculars, with overlap errors recognized as colored edging. At the same time
I . 1.I. one.
Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к системе дл фотоэлектронного измерени ошибок перекрыти на измерительных метках или микроструктурах дл контрол выдерживани заданной точности детали, и может быть использовано в промьшшенности по производству полупроводников.The invention relates to a measurement technique, in particular, to a system for photoelectronic measurement of overlap errors on measurement marks or microstructures to control the maintenance of a given accuracy of a part, and can be used in the industry for the production of semiconductors.
Известно устройство дл определе- ни ошибок перекрыти , основанное на способе проблесковой сигнализации при котором два сравниваемых изображени попеременно представл ют на мониторе. Вследствие переменного включени и выключени в зависимости от частоты переключений со стороны наблюдени возникает эффект мелькани или проблесковой сигнализацииA device for determining overlap errors is known, based on a flash signaling method in which two compared images are alternately displayed on a monitor. Due to the variable on and off, depending on the switching frequency on the observation side, there is a flickering or flashing signal.
на неперекрывающихс местах деталей on non-overlapping parts
(ДЕ - AS № 1923465, кл.С 01 В 11/24, опублик. 07.07.77).(DE - AS No. 1923465, c. C 01 B 11/24, published 07.07.77).
Наиболее близким к изобретению по технической сущности вл етс систем дл определени ошибок перекрыти на измерительных метках или микроструктурах дл контрол выдерживани заданной точности деталей, содержаща оптический компаратор изображе- ни с двум каналами сигналов изображени , через которые в зависимости от отклонени положени между измерительными метками эталонного объекта и контролируемого объекта, нахо- д щимис на одном перемещаемом в двух перпендикул рных координатных направлени х предметном стЬлнке,Closest to the invention, in technical terms, are systems for determining overlap errors on measurement marks or microstructures for monitoring the maintenance of a given part accuracy, containing an optical image comparator with two image signal channels through which, depending on the position deviation between the measurement marks of the reference object and a controlled object, located on one displaced object string in two perpendicular coordinate directions,
создают второе промежуточное изображение на измерительной щели 27. После измерительной щели 27 выходной зрачок изображаетс на двух приемниках 33 и 34 излучени . После определени краев измерительных меток расчетным путем определ ют середины расположений измерительных марок, а исход из них путем образовани разности устанавливают взаимную ошибку перекрыти меток шаблонов 2 и 3. 1 ил.a second intermediate image is created on the measurement slit 27. After the measurement slit 27, the exit pupil is shown on two radiation receivers 33 and 34. After the edges of the measuring marks are determined by calculation, the midpoints of the locations of the measuring marks are determined, and the mutual overlap of the marks of the templates 2 and 3 is determined by forming the difference. 1 Il.
создаетс совмещенное смешанное изображение, систему освещени дл каждого канала сигналов изображени , включающую по одной комбинации фильтров , пропускающей только узкопрлос- ный свет определенного диапазона длин волн, систему линз, установленную на выходе оптического компаратора изображени в плоскости промежуточного совмещенного смешанного изображени и действующую в качестве отклон ющей системы дл света с соответствующими длинами волн. А.Эрбен. Die Dop- pelbild inrichtung des MeBprojek- tors MP 320 VEB, Care Zei;ss JENA-ein wichtiges Hilfsmittel zun rationellen Durchfuhrung vieler Priifaufgaben. - Feingeratetechnik,: 1/1976, c.23.a combined mixed image is created, an illumination system for each channel of image signals comprising one combination of filters, transmitting only narrow-band light of a certain wavelength range, a lens system installed at the output of the optical comparator of the image in the plane of the intermediate combined mixed image and acting as a deviation system for light with corresponding wavelengths. A. Erben. Die Dop- pelbild inrichtung des MeBprojekters MP 320 VEB, Care Zei; ss JENA-ein wichtiges Hilfsmittel zun rationellen Durchfuhrung vieler Priifaufgaben. - Feingeratetechnik ,: 1/1976, p.23.
./Недостатком известной системы вл етс то, что измерение осуществл етс субъективно оператором иThe disadvantage of the known system is that the measurement is carried out subjectively by the operator and
тем самым возникают субъективнь1е . ошибки, вли ющие на точность измерений . Одновременно оператором ограничена производительность ,- пО Скольку визуальное наблюдение св зано с большой нагрузкой и утомлением.,дл оператора .thus, there are subjective. errors affecting measurement accuracy. At the same time, the operator's capacity is limited, - as far as visual observation is associated with heavy load and fatigue, for the operator.
Цель изобретени - повьш1ение точности и производительности измерени .The purpose of the invention is to increase the accuracy and productivity of measurement.
Поставленна цель достигаетс тем, что система дл определени ошибок перекрыти на измерительных метках или микроструктурах дл контрол вьщерживани заданной точности деталей, содержаща оптический компаратор изображени с двум каналамиThe goal is achieved by the fact that the system for determining overlap errors on the measuring marks or microstructures for monitoring the holding of a given part accuracy, contains an optical image comparator with two channels
сигналов изображени , через которые в зависимости от отклонени положени между измерительными метками эталонного объекта и контролируемог объекта, наход щихс на одном nepg- мещаемом в двух перпендикул рных координатных направлени х предметном столике, создаетс совмещенное смешанное изображение, систему освещени дл каждого канала сиги-алов изображени , включающую по одной комбинации фильтров, пропускающей только узкополосный свет определенного диапазона длин волн, систему линз, установленную на выходе оптического компаратора изображени в плоскости промежуточного совмещенного смешанного изображени и действующую в качестве отклон ющей сис- TeNbi дл света с соответствующими длинами волн, снабжена расположенными в ходе лучей за сис- темой линз средствами дл фотометриimage signals through which, depending on the deviation of the position between the measuring marks of the reference object and the object under control, located on the same nepg- placed in two perpendicular coordinate directions of the stage, a combined mixed image is created, the illumination system for each channel sig-aly image including one combination of filters that allows only narrowband light of a certain wavelength range to pass through, a lens system installed at the output of an optical comparato and an image plane in an intermediate image and the blend mixed acting as a deflecting systemic TeNbi for light with appropriate wavelengths, is provided arranged in the beam path of the lens by a system of means for photometric
созданного в плоскости промежуточно- 25 дикул рно падает на одну боковую пого изображени смешанного изображени , расположенным в ходе лучей поверхность светоделительного кубика 24, которые перпендикул рны друг к другу. Частичным отражением и частичным прохождением световых лучей через диагонально проход щую в кубике 24 светоделительную поверхность из светоделительного кубика 24 выход т два световых луча, содержащие красные и зеленые составл ющие.created in the plane of the 25th dicariously falls on one side of the mixed image of the image, located during the rays of the surface of the beam-splitting cube 24, which are perpendicular to each other. By a partial reflection and partial passage of the light rays through the beam-splitting surface passing diagonally in the cube 24, two light beams containing red and green components emerge from the beam-splitting cube 24.
зади второй плоскости промежуточного изображени за другой системой линз средством дл селективного расщепле- зо ни хода лучей на два частичных хода лучей в соответствии с примененными длинами волн, расположенными в каждом из двух частичных ходоВ полосовым фильтром и приемником излучени и На выходе оптического компаратора 6 изображени behind the second plane of the intermediate image, after another lens system, means for selectively splitting the ray path into two partial ray paths in accordance with the applied wavelengths located in each of the two partial paths by a band-pass filter and a radiation receiver and at the output of the optical comparator 6 images
верхность светоделительного кубика 24, которые перпендикул рны друг к другу. Частичным отражением и частичным прохождением световых лучей через диагонально проход щую в кубике 24 светоделительную поверхность из светоделительного кубика 24 выход т два световых луча, содержащие красные и зеленые составл ющие.the surface of the beam-splitting cube 24, which are perpendicular to each other. By a partial reflection and partial passage of the light rays through the beam-splitting surface passing diagonally in the cube 24, two light beams containing red and green components emerge from the beam-splitting cube 24.
блоком обработки результатов, под ключенным. к приемникам излучени a processing unit connected. to radiation receivers
II
4040
На чертеже изображена принципиальна схема системы дл определени ошибок перекрыти .The drawing shows a schematic diagram of a system for determining overlap errors.
На- координатном столике 1, подвижном в перпендикул рных друг к другу координатных направлени х х и у, наход тс шаблон 2 с измерительными метками, служащий в качестве эталонного объекта,и шаблон 3, .например, из комплекта шаблонов. Шаблон 3 представл ет собой испытуемый объект и в отдельных кадрах содержит измерительные метки, отклонени расположени которых от измерительных меток шаблона 2 измер ют,The coordinate table 1, moving in the x and y coordinate directions perpendicular to each other, is a pattern 2 with measuring marks, serving as a reference object, and a pattern 3, for example, from a set of patterns. Template 3 is the test object and in individual frames contains measuring marks, the deviations of which from the measuring marks of template 2 are measured,
Каждый из шаблонов 2 и 3 расположен в одном канале 4. и 5 сигналов изображени оптического компаратора 6 изображени в плоскости 0.Each of templates 2 and 3 is located in one channel 4. and 5 image signals of an optical comparator 6 are images in plane 0.
На входе каждого канала 4 и 5 сигналов изображени находитс по однов плоскости промежуточного изображени 0 образуетс наложенное изображение из обоих каналов 4 и 5 сигналов изображени . Через экран 25 (или окул р) можно визуально наблюдать изображение. Второе изображение плоскости промежуточного изображени О через оборачивающую систему 26 дл красного и зеленогоAt the input of each channel 4 and 5 of the image signals is located along a single plane of the intermediate image 0, a superimposed image is formed from both channels 4 and 5 of the image signals. Through the screen 25 (or the eyepiece) you can visually observe the image. The second image of the intermediate image plane O through the wrapping system 26 for red and green
4545
5050
цветов передаетс во вторую плоскость промежуточного изображени О расположенную .у измерительной щели 27. Перед измерительной щелью находитс качающеес зеркало 28, привод щее в движение изображение плоскости промежуточного изображени О Касающеес зеркало 28 можно заменить и другой динамической отклон ющей системой дл определени кра измерительных меток, например колеблющейс измерительной щелью.colors are transmitted to the second intermediate image plane O located at the measuring slit 27. In front of the measuring slit there is a swinging mirror 28, driving the image of the intermediate image plane O The touching mirror 28 can be replaced with another dynamic deflection system to determine the edge of the measuring marks, for example oscillating measuring gap.
Кроме того, имеютс другие возможности дл перемещени изображени , как, например, движением коорму источнику 7 и 8 света, свет которых в каждом случае подводитс в комбинации фильтров 9 и 10.In addition, there are other possibilities for moving the image, such as, for example, by moving the coordinate to the source 7 and 8 of the light, the light of which in each case is supplied in combinations of filters 9 and 10.
Кажда система фильтров состоит 5 из коллекторов 11 и 12 из фильтров 13 и 14 с крутой кривой пропускани и полосовых фильтров 15 и 16, позвол ющих достигнуть необходимой ширины полос с крутыми фронтами. 1Each filter system consists of 5 of collectors 11 and 12 of filters 13 and 14 with a steep transmission curve and band-pass filters 15 and 16, which allow to achieve the required width of bands with steep edges. one
Комбинаци фильтров 9 пропускает свет длины волны А, с шириной полосы А, в красной области, комбинаци фильт)ов 10 пропускает свет длины 5 волны с шириной полосы лА, в зеленой области. Тем самым через конденсор 17 шаблон 2 освещаетс крас- ным светом, а через конденсор 18 шаблон 3 - зеленым светом. Проход щие в обоих каналах 4 и 5 сигналов изображени лучи через объектив 19 и 20 и отклон ющие зеркала 21-23 подвод тс к светоделительному кубику 24. Каждый из обоих лучей перпен0The combination of filters 9 transmits light of wavelength A, with a bandwidth of A, in the red region, the combination of filters) ov 10 transmits light of length 5 wave with a bandwidth of LA, in the green region. Thus, through condenser 17, template 2 is illuminated with red light, and through condenser 18, template 3 is illuminated with green light. The rays passing through both channels 4 and 5 of the signals through the lenses 19 and 20 and the deflecting mirrors 21-23 are fed to the beam-splitting cube 24. Each of the two beams is perpendicular
На выходе оптического компаратора 6 изображени At the output of the optical comparator 6 images
верхность светоделительного кубика 24, которые перпендикул рны друг к другу. Частичным отражением и частичным прохождением световых лучей через диагонально проход щую в кубике 24 светоделительную поверхность из светоделительного кубика 24 выход т два световых луча, содержащие красные и зеленые составл ющие.the surface of the beam-splitting cube 24, which are perpendicular to each other. By a partial reflection and partial passage of the light rays through the beam-splitting surface passing diagonally in the cube 24, two light beams containing red and green components emerge from the beam-splitting cube 24.
На выходе оптического компаратора 6 изображени At the output of the optical comparator 6 images
в плоскости промежуточного изображени 0 образуетс наложенное изображение из обоих каналов 4 и 5 сигналов изображени . Через экран 25 (или окул р) можно визуально наблюдать изображение. Второе изображение плоскости промежуточного изображени О через оборачивающую систему 26 дл красного и зеленогоin the intermediate image plane 0, a superimposed image is formed from both channels 4 and 5 of the image signals. Through the screen 25 (or the eyepiece) you can visually observe the image. The second image of the intermediate image plane O through the wrapping system 26 for red and green
цветов передаетс во вторую плоскость промежуточного изображени О расположенную .у измерительной щели 27. Перед измерительной щелью находитс качающеес зеркало 28, привод щее в движение изображение плоскости промежуточного изображени О Касающеес зеркало 28 можно заменить и другой динамической отклон ющей системой дл определени кра измерительных меток, например колеблющейс измерительной щелью.colors are transmitted to the second intermediate image plane O located at the measuring slit 27. In front of the measuring slit there is a swinging mirror 28, driving the image of the intermediate image plane O The touching mirror 28 can be replaced with another dynamic deflection system to determine the edge of the measuring marks, for example oscillating measuring gap.
Кроме того, имеютс другие возможности дл перемещени изображени , как, например, движением координаторного столика 1, на котором лежат шаблоны 2 и 3, причем столик соединен с измерительной системой с большой разрешающей способностью, например с лазерной системой измерени пути. Дальше можно двигать измерительную щель 27, причем это движение определ етс измерительной системой на щели. За измерительной щелью 27 выходной зрачок через лин- ,зу 29 направл етс на селективное зеркало 30, которое вызывает расщепление всей световой энергии Е смешанного цветного изображени In addition, there are other possibilities for moving the image, such as, for example, by moving the coordinating table 1, on which templates 2 and 3 lie, and the table is connected to a high-resolution measuring system, such as a laser path measuring system. Then you can move the measuring slot 27, and this movement is determined by the measuring system on the slot. Behind the measuring slit 27, the exit pupil is guided through a lens, a horn 29 to a selective mirror 30, which causes the entire light energy E of the mixed color image to be split.
h„h „
на его составл ющие Еon its components E
и Е,and E,
дл for
/(1 /(one
красного и зеленого цветов. Через фильтры 31 или 32 кажда из обеих составл ющих световой энергии направл етс на один приемник 33 или 34 излучени . Фильтры 31 или 32 с целью улучшени селективности могут быть полосовыми или интерференционными фильтрами. Сигналы, выданные приемниками 33 и 34 излучени , подаютс на узел 35 оборотки сигналов и определ ютс в качестве функции координат перемещени х или у, данных измерительной системой столика или измерительной щели.red and green colors. Filters 31 or 32 each of the two light energy components are directed to one radiation receiver 33 or 34. Filters 31 or 32 may be bandpass or interference filters to improve selectivity. The signals issued by the radiation receivers 33 and 34 are fed to the node 35 to turn signals and are defined as a function of the coordinates of the displacement or y, the data from the measuring system of the table or the measuring slit.
После определени краев измерительных меток и вытекающей из этого прив зки к системе измерени пути расчетным путем определ ют середины расположений измерительных марок, а исход из них путем образовани разности устанавливают взаимную ошибку перекрыти меток шаблонов 2 и 3.After determining the edges of the measuring marks and the resulting attachment to the path measurement system, the means of the locations of the measuring marks are determined by calculation and, based on them, by mutual differences, the mutual overlap of the marks of the patterns 2 and 3 is established.
Фор мула изобретени Formula of invention
Система дл определени ошибок Признано изобретением по резуль- перекрыти на измерительных метках татам эксперт йзы, осуществленной Be- или микроструктурах дл контрол домством по изобретательству Германсвьщерживани заданной точности дета- кой Демократической Республики.System for determining errors It is recognized by the invention on the basis of the results of tatam expert assessments on measurement marks made by Be or microstructures to control the domain of the invention of Ger- mans holding a given accuracy by the detail of the Democratic Republic.
Редактор Г.Волкова Заказ 223/40Editor G. Volkova Order 223/40
Составитель Л.Лобзова Техред В.КадарCompiled by L. Lobzova Tehred V. Kadar
Корректор Corrector
Тиратк (i78 .ПодписноеTiratk (i78. The subscription
ВНИИГЕИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва,, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5VNIIGEI of the USSR State Committee for Inventions and Discoveries 113035, Moscow, Zh-35, Raushsk nab., 4/5
Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул.Проектна , 4Production and printing company, Uzhgorod, Projecto st., 4
10ten
1515
29182362918236
пей, содержаща оптический компаратор , изображени с двум каналами сигналов изображени , через которые в зависимости от отклонени положени между измерительными метками эталонного объекта и контролируемого объекта , наход щимис на одном перемещаемом в двух перпендикул рных координатных направлени х предметном столике , создаетс совмещенное смешанное изображение, систему освещени дл каждого канала сигналов изображени , йключающую по одной комбинации фильтров, пропускающей только узкополосный свет определенного ; диапазона длин волн, систему линз, установленную на выходе оптического компаратора изображени в плоскости промежуточного совмещенного смешанного изображени и действующую в качестве отклон ющей системы дл света с соответствующими длинами волн, отличающа с тем, что она снабжена расположенньши в ходе лучей за системой линз 26 средствами 27 и 28 дл -фотометрии созданного в плоскости промежуточного изображени смешанного изображени , расположенным в ходе лучей позади второй плоскости промежуточного изображени О за другой системой линз 29 средством 30 дл селективного расщеплени хода лучей на два частичных хода лучей в соответствии с примененными длинами волн, расположенными в каждом из двух частичных ходов полосовым фильтром 31 и 33 и приемником 33 и 34 излуче- , ни и блоком 35 обработки результатов , подключенным к приемникам излучени .Drinks containing an optical comparator, images with two channels of image signals, through which, depending on the deviation of the position between the measuring marks of the reference object and the object being monitored, are located on the same subject table that is moved in two perpendicular coordinate directions, the system the illumination for each channel of the image signals, including one combination of filters that allows only narrow-band light to be detected; wavelength system, a lens system installed at the output of an optical image comparator in the plane of an intermediate superimposed mixed image and acting as a deflecting system for light with appropriate wavelengths, characterized in that it is equipped with means 26 located in the course of the rays behind the lens system 26 and 28 for photometry of a mixed image created in the plane of the intermediate image, located in the course of the rays behind the second plane of the intermediate image O behind another system l 29 by means 30 for selectively splitting the ray path into two partial ray paths in accordance with the applied wavelengths, located in each of the two partial paths by a bandpass filter 31 and 33 and a radiation receiver 33 and 34, and a result processing unit 35 connected to radiation receivers.
2020
30thirty
3535
4040
Корректор Н.КорольProofreader N.Korol
Claims (1)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD23778382A DD219067A3 (en) | 1982-03-01 | 1982-03-01 | METHOD AND ARRANGEMENT FOR DETERMINING COVERAGE ERRORS |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1291823A1 true SU1291823A1 (en) | 1987-02-23 |
Family
ID=5536979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU837772815A SU1291823A1 (en) | 1982-03-01 | 1983-02-03 | System for determining overlap errors |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| DD (1) | DD219067A3 (en) |
| DE (1) | DE3305014A1 (en) |
| SU (1) | SU1291823A1 (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3512615A1 (en) * | 1985-04-06 | 1986-10-16 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | ARRANGEMENT FOR ALIGNING, TESTING AND / OR MEASURING TWO-DIMENSIONAL OBJECTS |
| DE3517070A1 (en) * | 1985-05-11 | 1986-11-13 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | METHOD AND ARRANGEMENT FOR ALIGNING, TESTING AND / OR MEASURING TWO-DIMENSIONAL OBJECTS |
| DE3518043A1 (en) * | 1985-05-20 | 1986-11-20 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | DEVICE FOR AUTOMATICALLY DETERMINING THE DIFFERENCE BETWEEN THE STRUCTURES OF A TEMPLATE AND THOSE OF A COMPARISON OBJECT |
| DE3910048A1 (en) * | 1989-03-28 | 1990-08-30 | Heidelberg Instr Gmbh Laser Un | Method for producing or inspecting microstructures on large-area substrates |
-
1982
- 1982-03-01 DD DD23778382A patent/DD219067A3/en not_active IP Right Cessation
-
1983
- 1983-02-03 SU SU837772815A patent/SU1291823A1/en active
- 1983-02-14 DE DE19833305014 patent/DE3305014A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DD219067A3 (en) | 1985-02-20 |
| DE3305014A1 (en) | 1983-09-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6346966B1 (en) | Image acquisition system for machine vision applications | |
| US3972616A (en) | Apparatus for detecting the defects of the mask pattern using spatial filtering | |
| US6011620A (en) | Method and apparatus for the automatic inspection of optically transmissive planar objects | |
| US10165935B2 (en) | Measuring head of an endoscopic device and process for inspecting and measuring an object | |
| JPH109827A (en) | Method and equipment for determining height | |
| DE19609045C1 (en) | Optical test for wood sample using camera and image-processing system | |
| KR20010071403A (en) | Method and device for optoelectric acquisition of shapes by axial illumination | |
| SU1291823A1 (en) | System for determining overlap errors | |
| WO2017200226A1 (en) | Device for measuring three-dimensional shape using multi-wavelength optical scanning interferometer | |
| DE69629139D1 (en) | Color measuring device for a display screen | |
| US5301007A (en) | Microscopic spectrometer | |
| US4796999A (en) | Device for automatically determining the deviation between the structures of a pattern and those of an object compared therewith | |
| JP2002323454A (en) | Method and apparatus for inspecting defects in specimen | |
| JP2011519040A (en) | Optical apparatus for irradiating the object to be measured, and interference measuring apparatus for measuring the surface of the object to be measured | |
| EP0218613B1 (en) | Device for the alignment, testing and/or measurement of two-dimensional objects | |
| JP2006105926A (en) | Inspection apparatus | |
| US20150057972A1 (en) | Measuring apparatus and measuring method | |
| DE19707109C1 (en) | Optical vibrometer for measuring object oscillation in perpendicular directions | |
| JP3219031B2 (en) | Displacement measurement method and device using interference of two light beams | |
| JPS5821527A (en) | Fourier converting type infrared spectrophotometer | |
| EP0222787B1 (en) | Method and device for aligning, controlling and/or measuring bidimensional objects | |
| KR20010061643A (en) | Apparatus for detecting surface defect of strip using multi wavelength light source and color ccd camera | |
| JPH0815033A (en) | Inspection device for color in a plurality of points | |
| KR20120039408A (en) | Apparatus for scanning high speed doppler oct and measuring method using thereof | |
| DE19927452C2 (en) | Device for measuring moisture and reflectivity of surfaces |