SU1289308A1 - Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов - Google Patents

Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов

Info

Publication number
SU1289308A1
SU1289308A1 SU3912302/25A SU3912302A SU1289308A1 SU 1289308 A1 SU1289308 A1 SU 1289308A1 SU 3912302/25 A SU3912302/25 A SU 3912302/25A SU 3912302 A SU3912302 A SU 3912302A SU 1289308 A1 SU1289308 A1 SU 1289308A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
vacuum
plates
magnetic materials
plasma etching
pair
Prior art date
Application number
SU3912302/25A
Other languages
English (en)
Inventor
С.О. Готлиб
Л.И. Гурский
А.И. Дударчик
В.А. Зеленин
М.И. Паничев
И.И. Рубцевич
Original Assignee
Физико-технический институт АН БССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Физико-технический институт АН БССР filed Critical Физико-технический институт АН БССР
Priority to SU3912302/25A priority Critical patent/SU1289308A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1289308A1 publication Critical patent/SU1289308A1/ru

Links

Landscapes

  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов, включающее планарный реактор с расположенной в нем парой электродов, соединенных с высокочастотным генератором, систему газоснабжения, вакуумную систему и систему формирования магнитного поля, выполненную в виде переменнополюсной комбинации постоянных магнитов, отличающееся тем, что, с целью локализации областей травления и увеличения скорости их травления путем повышения концентрации ионов над заданными областями пластин, система формирования магнитного поля снабжена полюсными накладками, выполненными в виде свободных масок, и установлена между парой электродов на одном из них.
SU3912302/25A 1985-06-18 1985-06-18 Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов SU1289308A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3912302/25A SU1289308A1 (ru) 1985-06-18 1985-06-18 Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3912302/25A SU1289308A1 (ru) 1985-06-18 1985-06-18 Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1289308A1 true SU1289308A1 (ru) 2012-06-27

Family

ID=60542853

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU3912302/25A SU1289308A1 (ru) 1985-06-18 1985-06-18 Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1289308A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3677629D1 (de) Mit dauermagnet ausgeruesteter variabler reluktanzgenerator.
ES551265A0 (es) Un dispositivo para recontar la desposicion de incrustaciones de agua dura
SE9403988D0 (sv) Apparat för alstring av en linjär vågurladdning för plasma bearbetning
ES2004539A6 (es) Acelerometro de reluctancia variable
FR2551302B1 (fr) Structure ferromagnetique d'une source d'ions creee par des aimants permanents et des solenoides
ES8201799A1 (es) Un transductor electroacustico
SU1289308A1 (ru) Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов
JPS57159025A (en) Method and device for dry etching
ES8201107A1 (es) Un aparato para tratamiento magnetico de un liquido circu- lante
GB976113A (en) Method and device for pumping a gas by the interaction of electric and magnetic fields
GB1424986A (en) Electromagnetic device
GB1511826A (en) Magnetic bubble domain systems
RU1808610C (ru) Магнитна плита
RU94010083A (ru) Устройство и способ для предотвращения вытекания посредством магнита расплавленного металла через зазор, расположенный между двумя горизонтально разнесенными элементами
JPS5243912A (en) Alternating current motor
JPS566664A (en) Dc motor
JPS51136417A (en) Flat-plate-type electric sound converter
UA16164A1 (ru) Устройство для создания стабильного магнитного поля
JPS5528641A (en) Pulse generating unit
GB1227817A (ru)
JPS5328366A (en) Magnetron u nit
JPS51147036A (en) Heating method
FR2442448A1 (fr) Frein-amortisseur magnetique pour appareil de mesure electrique
SU1738023A1 (ru) Генератор потока отрицательных ионов водорода
GB765448A (en) Improvements in or relating to electro-magnets