SU1289308A1 - Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов - Google Patents
Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материаловInfo
- Publication number
- SU1289308A1 SU1289308A1 SU3912302/25A SU3912302A SU1289308A1 SU 1289308 A1 SU1289308 A1 SU 1289308A1 SU 3912302/25 A SU3912302/25 A SU 3912302/25A SU 3912302 A SU3912302 A SU 3912302A SU 1289308 A1 SU1289308 A1 SU 1289308A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- vacuum
- plates
- magnetic materials
- plasma etching
- pair
- Prior art date
Links
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов, включающее планарный реактор с расположенной в нем парой электродов, соединенных с высокочастотным генератором, систему газоснабжения, вакуумную систему и систему формирования магнитного поля, выполненную в виде переменнополюсной комбинации постоянных магнитов, отличающееся тем, что, с целью локализации областей травления и увеличения скорости их травления путем повышения концентрации ионов над заданными областями пластин, система формирования магнитного поля снабжена полюсными накладками, выполненными в виде свободных масок, и установлена между парой электродов на одном из них.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3912302/25A SU1289308A1 (ru) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3912302/25A SU1289308A1 (ru) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1289308A1 true SU1289308A1 (ru) | 2012-06-27 |
Family
ID=60542853
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU3912302/25A SU1289308A1 (ru) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1289308A1 (ru) |
-
1985
- 1985-06-18 SU SU3912302/25A patent/SU1289308A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3677629D1 (de) | Mit dauermagnet ausgeruesteter variabler reluktanzgenerator. | |
ES551265A0 (es) | Un dispositivo para recontar la desposicion de incrustaciones de agua dura | |
SE9403988D0 (sv) | Apparat för alstring av en linjär vågurladdning för plasma bearbetning | |
ES2004539A6 (es) | Acelerometro de reluctancia variable | |
FR2551302B1 (fr) | Structure ferromagnetique d'une source d'ions creee par des aimants permanents et des solenoides | |
ES8201799A1 (es) | Un transductor electroacustico | |
SU1289308A1 (ru) | Устройство для вакуумно-плазменного травления пластин из немагнитных материалов | |
JPS57159025A (en) | Method and device for dry etching | |
ES8201107A1 (es) | Un aparato para tratamiento magnetico de un liquido circu- lante | |
GB976113A (en) | Method and device for pumping a gas by the interaction of electric and magnetic fields | |
GB1424986A (en) | Electromagnetic device | |
GB1511826A (en) | Magnetic bubble domain systems | |
RU1808610C (ru) | Магнитна плита | |
RU94010083A (ru) | Устройство и способ для предотвращения вытекания посредством магнита расплавленного металла через зазор, расположенный между двумя горизонтально разнесенными элементами | |
JPS5243912A (en) | Alternating current motor | |
JPS566664A (en) | Dc motor | |
JPS51136417A (en) | Flat-plate-type electric sound converter | |
UA16164A1 (ru) | Устройство для создания стабильного магнитного поля | |
JPS5528641A (en) | Pulse generating unit | |
GB1227817A (ru) | ||
JPS5328366A (en) | Magnetron u nit | |
JPS51147036A (en) | Heating method | |
FR2442448A1 (fr) | Frein-amortisseur magnetique pour appareil de mesure electrique | |
SU1738023A1 (ru) | Генератор потока отрицательных ионов водорода | |
GB765448A (en) | Improvements in or relating to electro-magnets |