SU1288499A1

SU1288499A1 - Способ поверки дифракционных измерителей мер малых длин

Info

Publication number: SU1288499A1
Application number: SU843783432A
Authority: SU
Inventors: Виктор Дмитриевич Лизунов; Виктор Михайлович Весельев
Original assignee: Сибирский государственный научно-исследовательский институт метрологии
Priority date: 1984-07-02
Filing date: 1984-07-02
Publication date: 1987-02-07

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл поверки градуировки измерителей малых длин. Цель изобретени - повьшение точности и производительности поверки путем устранени погрешностей, св занных с определением положени краев элементов. На меру 2 малой длины, в качестве которой используют регулируемую щель, направл ют излучение лазера , Последовательно измен размер щели, измер ют его в каналах I и II отсчет- ной системы 3 путем счета интерференционных полос и отслеживани дифракционного максимума с помощью регистрирующего блока 4. Это соответствует изменению волново1 о параметра . По результатам сравнени полученных значений со значени ми, полученными при аттестации меры 2, суд т о погрешности измерител . 2 ил. с S (Л ю 00 00 фш. 1

Description

Способ относитс к измерительной технике и может быть использован дл поверки или градуировки измерителей мер малых длин.

Цель изобретени - повышение точности и производительности поверки за счет устранени погрешностей, св занных с определением положени краев элементов.

На фиг.1 изображена функциональна схема устройства дл реализации способа; на фиг.2 - конструкци многозначной меры малой длины.

Устройство дл реализации способа содержит когерентный источник излучени , например He-Ne лазер 1, многозначную меру 2 малой длины, отсчетную систему 3, регистрирующий блок 4, лазерньй измеритель 5 перемещений с цифровым электронным блоком 6 индикации .

Конструкци меры 2 малой длины состоит из корпуса 7, на т ордах которого креп тс плоские пружины 8 при помощи стопорных колец 9 и цилиндрических стаканов 10. Центры плоских пружин 8 жестко св заны с рамкой 11, на которой крепитс подвижный нож 12, а неподвижный нож 13 крепитс на выступе 14 корпуса 7 регулируемой щели Юстировка и крепление ножей 12 осуществл етс с помощью плоских планок 15 и винтов 16. Между плоским упором 17 рамки 11 с одной стороны и сферическим упором дифференциального микровинта 18 устанавливаютс последовательно концевые меры 19 с разными номинальными значени ми, при этом рамка 11с другой стороны жестко соединена с корпусом УГОЛКОВО1Ю отражател 20 посредством т ги 21. Дл смены концевьгх мер длины или установки произвольного размера щели рамка 11 с уголковым отражателем 20 отводитс от концевой меры 2 длины при помощи электромагнитной системы 22.

Способ поверки дифракционного из- .мерител осуществл етс следующим образом:,

Излучение Не-1Те лазера 1 направл етс на многозначную меру 2 малой длины, в качестве которой используетс регулируема щель в сочетании с уголковым отражателем 20, и дифрагирует на m максимумов и минимумов. Первоначально устанавливаетс произвольный размер d щели в заданном диапазоне, например, с помощью концевой меры 19 длины и дифференциального микровинта 18 или электромагнитной системы 22, измер етс волновой параметр 1 с помощью регистрируемого блока 4 и отсчетной системы 3, измерител 5 и блока 6 индикации по второму каналу, а размер do щели определ етс по формуле

10

d

(1)

0

5

0

5

0

5

m

h L

5

где tn,/I ,L - известные волновые пара- метры;

-пор док дифракционного максимума или минимума;

-длина волны He-Ne лазера;

-базова длина - рассто ние между объектом измерени

и плоскостью изображени , дифракционной картины, расположенной в области регистрирующей системы; d -произвольный размер щели. Последующее изменение размера щели измер етс по обоим каналам отсчетной системы 3. Перемещение уголкового отражател 20 в первом канале I соответствует изменению, id размера щели измерител 5 в абсолютных значени х единицы длины путем счета числа интерференциальных полос ad :| N, где

/1 - длина волны He-Ne лазера 1, N - число полос.

Перемещение уголкового отражател 20 во втором канале II при автоматическом отслеживании центра дифракционного максимума с помощью регистрирующего блока 4 соответствует изменению волнового параметра д1, которое св зано с изменением размера щели первого канала I следующим выражением:

.о

.,,IB -CilI Sl iL:iIl 2)

- о 1

где (3) - волновой параметр

при последующем изменении размера щели.

Использу выражение (3), формулу (2) можно преобразовать

т/1

Г() О- 1 .«.

-Li/L4(+Aty..

(4)

Информаци , полученна по первому I и второму II каналам при каждом

3

последующем изменении размера щели, обрабатываетс электронным блоком 6 и по результатам измерени определ етс погрешность дифракционного измерител мер малых длин.

Сравнение последовательного р да разностей мер малых длин проводитс дл заданного диапазона измерений мер малых длин, например 1-250 мкм с определенной дискретностью 1-10 мкм использу набор концевых мер длины соответствующего класса точности, или плавным изменением размера щели при помощи электромагнитной системы

Claims

Формула изобретени

Способ поверки дифракционных из- Ме ителей мер малых длин, заключающийс в том, что на измерителе с помощью эталонной меры регистрируют

волновые параметры дифракционной кар- аттестации меры, суд т о погрешности тины, по которым рассчитывают размеры измерител .

меры, сравнивают полученные результаты с результатами, полученными при аттестации меры,и определ ют погрешность измерител , о т л и ч а ю - щ и и с тем, что, с целью повышени точности и производительности поверки, в качестве эталонной меры

используют регулируемзто щель, по волновым параметрам дифракционной картины устанавливают начальное значение меры, последовательно измен ют размер меры и одновременно с волновыми параметрами дифракционной картины регистрируют число интерференционных полос, соответствующих изменению размеров меры, а размеры меры рассчитывают одновременно по волновым параметрам меры и подсчитываемому числу интерференционных полос и по результатам сравнени полученных значений со значени ми, полученными при

/ /

гг 21

I I I

15 16 12 13 14 фи2.2

12

П

Составитель В.Климова Редактор А.Ворович Техред И.Попович Корректор С.Черни

Заказ 7796/37 Тираж 700Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул.Проектна , 4