112 Изобретение относитс к машиностроению и может быть использовано на шлифовально-доводочных станках, предназначенных, например дл обрабоогки: полупроводниковьж материалов с применением абразивной суспензии. Известно устройство дл подачи абразивной суспензии, содержащее емкость с абразивной суспензией, замкнутую напорную систему трубопроводов и приспособление дл отбора фракций суспензии в В известном устройстве невозможно измен ть диапазон отб граемых фрак ций в тех случа хf когда эти изменени необходимо осуществл ть непосред ственно в процессе работьи Целью изобретени вл етс расширение технологических возможностей устройства путем обеспечени регулировани диапазона отбираемых фракций в процессе pa6oTii s Указанна цель достигаетс тем, что в устройстве дл подачи абразивной суспензии, содержащем емкость с абразивной суспензиейj замкнутую напорную систему трубопроводов и при способление дл отбора фракций суспензии , приспособление дл отбора фракций суспензии состоит из дозирующего механизма и установленной в не с возможностью перемещени гибкой трубки, один конец которой соединен с верхней частью системы трубопроводов , при этом устройство снабжено подвжкным в вертикальном направлении кронштейном, на котором закреплен доэирующий механизм. На Чертеже схематически изображен устройство дл подачи абразивной сус пензии. Устройство содержит мешалку 1 (емкость с абразивной суспензией, снабженную приспособлением дл nejieмешивани ), соединенную с насосом 2 (напримерJ перистальтическим) через замкнутую систему 3 трубопроводов, К верхней части упом нутой системы 3 трубопроводов присоединена отвод ща трубка 4,, направленна вверх относительно этой системы„ Отвод ща трубка 4 фиксируетс дозирующим механизмом 5 (прижимным краном, вьтолненньм в виде пружинки) , закрепленньм на кронштейне 6, взаимодействующим с ми крометрическим винтом 7, установленным на стойке 8, Отвод ща трубка 4 установлена в дозирующем механизме 5 3. с возможностью перемещени . Ее свободный конец направлен в зону 9 обработки деталей (на полировальник доводочного станка)в Устройство дл подачи абразивной суспензии работает следующим образом. Абразивна суспензи из мешалки 1 с помощью насоса 2 транспортируетс по замкнутой системе 3 трубопроводов, при этом за счет избыточного давлени она поступает в отвод щую трубку 4„ Дозирование абразивной суспензии или ее расход регулируютс дозирующим механизмом 5 путем пережима отвод щей трубки 4 (гибкого шланга). Диаметр отвод щей трубки 4 выбирают с учетом расхода абразивной суспензии, необходимого дл обеспечени технологического процесса обработки деталей. Так, например, дл полировки полупроводниковых пластин внутренний диаметр трубки выбираетс равным 1,82 ,, 2 мм При подъеме кронштейна 6 микрометрическим винтом 7 в эластичной отвод щей трубке 4 увеличиваетс статическое сопротивление суспензии, в результате чего понижаетс скорость потока суспензии при посто нном напоре насоса 2, Частицы абразива имеющие скорость осаждени ни е скорости упом нутого потока; не подаютс на полировальник в зсну 9 обработки деталей, остава сь в замкнутой системе. Таким образом., дл крупных и т желых абразивных зерен сопротивление протекани ножет достичь такой величины, при которой эти зерна не проход т через место пережима отвод щей трубки 4 дозирующим механизмом 5 В результате этого на полировальник подаютс зерна более мелкой фракции, что обеспечивает заданную чистоту поверхности обрабатьшаемых пластин. При опускании кронштейна 6 статическое сопротивление (сопротивление протекани ) в отвод щей трубке 4 снижаетс , скорость потока увеличиваетс и крупные абразивные зерна достигают места пережима отвод щей трубки 4 , В результате этого повьппаетс съем обрабатываемого материала. Таким образом, поднима или опуска кронштейн 6 или измен место пережима в отвод щей трубке 4 дозирующим механизмом 5, можно регулировать технологический процесс обработки.
312798034
Измен степень пережима,т.е. умень- нутой сусцри ш, гибкую отвод щую ша или увеличива диаметр сечени трубку 4 по;ии-;мают на высоту, обесв месте пережима отвод щей трубки 4 печиваюшую fiemMcuHbift состав суспенсоответственно уменьшают или увели- зии, причем необходиму ю высоту перечивают расход абразивной суспензии. подбирают практическим путем Необходимо учитывать, что при этом В предлагаемом устройстве дл поиэмен етс и состав суспензии, т.е.дачи абразивной суспензии исключаетв ней по вл ютс зерна крупной или с также застой абразивных микропомелкой фракции. При уменьшении про- рошков в отвод щей трубке 4. так ходкого сечени отвод щей трубки 4 в О как отбор суспензии производитс из месте ее пережима скорость движени верхней части замкнутой системы 3 абразивной суспензии в ее вертикаль- трубопроводов. Вследствие этого поной части уменьшаетс . Вследствие вышаетс надежность дозировани и исэтого осуществл етс отбор более мел-ключаетс возможность засорени отвокой фракции. И наоборот, при увеличе- д щей трубки 4
НИИ проходного сечени отвод щей труб- Использование данного устройства ки 4 в месте ее пережима скоростьдл подачи абразивной суспензии на стандвижени абразивной суспензии в ееках полировки и шлифовки обеспечивает вертикальной части увеличиваетс , чтовозможность отбора заданной фракции абблагопри тствует выносу более крупных 0разива из суспензии, исключает возфракций суспензии, В это врем осуще-можность засорени отвод щей (дозируствл етс отбор суспензии с болееющей) трубки, т.е. расшир ютс технокрупными частицами, В тех случа х,логические возможности устройства, когда необходимо изменить расход сус-|Повьщ аютс надекность дозировани и пензии при неизменном составе упом -качество обработки.