SU1276480A1

SU1276480A1 - Device for working edges of parts

Info

Publication number: SU1276480A1
Application number: SU853892620A
Authority: SU
Inventors: Игорь Григорьевич Ларионов; Владимир Никитич Журавлев; Петр Борисович Долгих; Виктор Филиппович Коптелов
Original assignee: Институт Неорганической Химии Со Ан Ссср
Priority date: 1985-05-11
Filing date: 1985-05-11
Publication date: 1986-12-15

Abstract

Устройство дл обработки кромок деталей позвол ет увеличить эффективность и качество обработки пластин любой геометрической формы и повысить выход годных пластин за счет исключени торцового биени пластин при вращении шпиндел . Изделие 11 с помощью поджима 14 устанавливаетс в рабочее положение на держателе 10 и при включенных приводах вращени подводитс к инструменту 4 с помощью подвижного рычага. В процессе вращени издели происходит его обработка по контуру. Возникающие при этом ударные нагрузки передаютс от инструмента 4 к изделию 11 гас тс резиновой вставкой 13, св занной с помощью стержней 12 с держателем 10,скольз щим по сопр гаемой плоскости магнитной вставки 9.При этом за счет сил магнитного прит жени обеспечиваетс плотное прилегание их плоскостей, что создает услоi ви дл устранени торцового биени из (Л дели 11 при вращении шпиндел 8. 2 ил.The device for processing the edges of the parts allows to increase the efficiency and quality of processing of plates of any geometric shape and to increase the yield of suitable plates by eliminating the face beating of the plates during the rotation of the spindle. The product 11 is installed in the working position on the holder 10 by means of the clamp 14 and when the rotational drives are turned on, it is brought to the tool 4 by means of a movable lever. In the process of rotation of the product is its processing along the contour. The shock loads arising from this are transmitted from the tool 4 to the product 11 by the rubber insert 13, which is connected by means of the rods 12 with the holder 10 sliding along the interface plane of the magnetic insert 9, while ensuring that they fit snugly planes, which creates conditions for the elimination of face beats from (L section 11 when the spindle 8 rotates. 2 Il.

Description

ISIS

1C1C

S йS th

00 Изобретение относитс к устройствам дл механической обработки полупроводниковых материалов, а точнее дл обработки фасок и закруглени ос трых кромок полупроводниковых пласти Целью изобретени вл етс повышение качества обработки. На фиг.1 приведено устройство, общий вид; на фиг.2 - держатель детали . На корпусе 1 смонтированы привод 2 вращени шпиндел 3 инструмента 4, выполненного с V-образной рабочей частью, механизм относительного перемещени издели и инструмента,,выполненный в виде рычага 5 с подвижным противовесом 6, на который установлен привод 7, шпиндель 8 с вмонтированной в него магнитной вставкой &, к которойпристыкован держатель 1 издели 11, выполненньш в форме диска из магнитного материала и св занный с помощью стержней 12 с резиновой вставкой 13, закрепленной на тор ;це шпиндел 8, поджим 14 дл фиксаци издели 11 на держателе 10 через про кладку 15. Устройство работает следуюшд м образом . Изделие 11 с помощью поджима 14 устанавливаетс в рабочее положение на держателе 10 и при включенных при водах вращени 2 и 7 подводитс к ин струменту 4 с помощью подвижного рычага 5. В процессе вращени издели происходит его обработка по контуру. Возникающие при этом ударные нагрузки , передающиес от инструмента 4 к изделию 11, гас тс резиновой вставкой 13, св занной с помощью стержней 12 с держателем 10, скольз щим по , сопр гаемой плоскости магнитной вста вки 9. При этом за счет сил.магнитного прит жени обеспечиваетс плотное прилегание их плоскостей, что создает услови дл устранени торцового биени издели 11 при вращении шпиндел 8. Механическа св зь держател 10 с резиновой вставкой 13 осуществл етс с помощью стержней 12, jg одна 00 The invention relates to devices for machining semiconductor materials, and more specifically for chamfering and rounding the sharp edges of semiconductor plastics. The aim of the invention is to improve the quality of machining. Figure 1 shows the device, a general view; figure 2 - holder details. On the housing 1 there are mounted a drive 2 of rotation of the spindle 3 of the tool 4, made with a V-shaped working part, a mechanism for the relative movement of the product and the tool, made in the form of a lever 5 with a movable counterweight 6 on which the drive 7 is mounted, a spindle 8 with magnetic insert &, to which the holder 1 of the product 11 is docked, made in the form of a disk of magnetic material and connected with rods 12 to a rubber insert 13 fixed to the torus; spindle 8, pressed 14 to fix the product 11 on the holder 10 through the laying 15. The device works in the following way. The product 11 is set to the working position on the holder 10 by pressing 14 and, when turned on with rotation waters 2 and 7, it is brought to tool 4 by means of a moving lever 5. In the process of rotating the product, it is processed along the contour. The shock loads arising from the tool 4 to the product 11 are extinguished by a rubber insert 13 connected by means of the rods 12 with the holder 10 sliding along the matching plane of the magnetic insert 9. At the same time, due to the magnetic magnetic force This provides for a tight fit of their planes, which creates conditions for eliminating the end beats of the product 11 when the spindle 8 rotates. The mechanical connection of the holder 10 with the rubber insert 13 is carried out with the help of rods 12, jg one

что преп тствует относительном-у провороту держател 10 и шпиндел 8 при передаче вращательного движени от привода 7 и одновременно обеспечивает возможность радиальных колебаний из- j делил за счет упругой деформации which prevents the relative-y rotation of the holder 10 and the spindle 8 in the transmission of rotational motion from the actuator 7 and at the same time provides the possibility of radial oscillations due to j divided by elastic deformation

Claims

magnetic inserts and elastic elements with pins installed between the body and the plates, one of the elastic elements being connected to the inserts 13. The force of the tool 11 to the tool is adjusted by moving the movable counterweight 6. Thus, the combination of the spindle with the magnetic insert mounted into it with a holder of a magnetic disk-shaped material docked to it, spring-loaded for movement in the radial direction and fixed from rotation relative to the spindle, allows it o elastic suspension for cushioning, radial high-frequency oscillations of the tool and at the same time without application of additional efforts to the product automatically exclude its beating when the spindles rotate. Placing a high-speed and more powerful tool rotation drive on a stationary body, and a low-speed and low-power drive rotating the product on a movable lever, provides simple means to reduce the transmission of vibration from the drive rotor to the tool and product, damping low-frequency oscillations with large amplitude. Claims The device for machining parts edges comprises a tool driven spindle mounted on a base and a part holder associated with a moving mechanism made in the form of a two-arm lever positioned on the base with a weight located at its free end movable characterized in that, in order to improve the quality of processing of semiconductor wafers, the part holder is provided with a rotation drive mounted on a double-arm lever, and is designed as plates placed between the housing parts. of which is spring-loaded, equipped with pins with a plate, and others - with a spring-loaded part of the body.

l

1srigL

BUT