SU1275177A1 - Загрузочное устройство шиберного типа - Google Patents
Загрузочное устройство шиберного типаInfo
- Publication number
- SU1275177A1 SU1275177A1 SU853913121A SU3913121A SU1275177A1 SU 1275177 A1 SU1275177 A1 SU 1275177A1 SU 853913121 A SU853913121 A SU 853913121A SU 3913121 A SU3913121 A SU 3913121A SU 1275177 A1 SU1275177 A1 SU 1275177A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- overload
- nozzle
- sealing
- carousel
- loading
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к трубопроводной арматуре, в частности к устройствам высоковакуумной аппаратуры. Оно позвол ет повысить производительность и улучшить качество поверхности подложек перед напылением за счет установки в корпусе патрубка вакуумировани , размещени откачных каналов манипул тора перегрузки в уплотнительной поверхности патрубка. Шлюзовой клапан выполнен отъемным от механизма уплотнени . Карусель устройства выполнена в виде разборного диска-шестерни с окнами, размещенными на одной окружности с патрубками, при зтом в окнах смонтированы запорные органы и фиксаторы подложкодержа- тел . 1 з.п. ф-лы, 7 ил.
Description
(Л Изобретение относитс к трубопроводной арматуре, в частности к устройствам высоковакуумной аппаратуры, и предназначено дл комплектовани автоматизированных сверхвысоковакуум ных систем (до 5-10 Па) установок спектрального анализа и технологичес ких комплексов молекул рно-лучевой эпитаксии (МПЗ), обеспечивающих проведение операций загрузки (выгрузки) и транспортирование единичных подложек в вакуумном контейнере на последующие операции, при создании полупроводникозых структур в электронной и других отрасл х промышленности. Цель изобретени - расширение фун циональных возможностей загрузочного устройства шиберного типа дл сверхвысоковакуумного оборудовани ,, в том числе дл установок спектрального анализа и молекул рно-лучевой эпитак сии, повьппение его производительности и улучшение качества поверхности подложек перед напылением за счет во можности проведени операций загрузки , оВезгаживани подложек одновременно с работой основных камер и осу ществлени передачи чистых подложек при вакууме не ниже 510 Па. На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, вид; на фиг. 2 сечение А-А на фиг. 1; на фиг.З - се чение Б-Б на фиг. 1; на фиг. 4 - сечение В-В на фиг.2; на фиг.З - сечение Г-Г на фиг. 1; на фиг. 6 - узел |на фиг. 4; на фиг. 7 - схема транспортировани вакуумного контейнера с подложкой. Загрузочное устройство шиберного типа содержит корпус 1, манипул тор 2 перегрузки, механизм 3 уплотнени , патрубок 4 прогрева, магниторазр дный насос 5, привод 6 вращени карусели , привод 7 уплотнени , смотровые окна 8 (фиг. 1). Корпус устройства содержит патрубок 9 загрузки, патрубок 10 перегруз в:и, присрединительньш патрубок 11, гатрубок 12 вакуумировани , патрубок 13 откачки (или напуска азота), патрубок 14 дл установки вакуумного да чика, каналы 15 откачки. Внутри корпуса устройства установ лена карусель 16, содержаща дискшестерню 17, запорные органы 18 с уп лотн ющими тарел ми 19 и 20, ось 21 в защени , опоры 22 качени . В основной камере 23 установлен прецизионный манипул тор 24 с держателем 25. Манипул тор 2 перегрузки содержит штангу 26 и захваты 27 (фиг. 2). Кроме того,показаны (фиг. 3) шлюзовой клапан 28 с уплотнительным кольцом 29 и клапаном 30 вакуумировани (или напуска газа), герметизирующа крътка 31 с генздом 32, в котором установлен фиксатор 33 и удержани подложкодержател 34 с подложкой 35, канал 36 откачки (или напуска газа), уплотнительные кольца 37 и 38, геттер 39, гибкое фиксирующее кольцо 40 в гнезде 41. Диск-шестерн содержит окна 42 запорных органов, окно 43 передачи, ококно 44 с фиксаторами 45 (фиг. 4 и 6). Нагревательное устройство 46, герметично установленное на патрубке 47, содержит нагревательньй элемент 48 и тепловой экран 49 (фиг. 5). Схема транспортировани вакуумного контейнера 50 с зажимом 51 в комплексе оборудовани (фиг. 7). содержит установку 52 очистки и контрол ,установку 53 МЛЭ, установку 54 металлических покрытий. Устройство работает следующим образом . Кажда из установок 52 - 54 снабжена устройством, а технологическа (транспортна ) св зь между ними осуществл етс автоматически или вручную с помощью вакуумного контейнера 50 с подложкой 35. Подложка 35, предварительно прошедша стадии финишной химической обработки и приклейки теплопровод щим металлом к подложкодержателю 34, укладываетс в гнездо 32 герметизирующей крьшки 31 с фиксатором 33. Затем крышка 3 1 , шлюзовой клапан 28 с уплотнительным кольцом 29 фиксируютс с помощью зажима 51, образу герметичный контейнер 50. Эти операции производ тс в обеспыленной среде или среде защитного газа, исключающей загр знение поверхности посторонними частицами из окружающей атмосферы. При этом подложка 35 в таком герметичном объеме может хранитьс или транспортироватьс к установке 52 очистки и контрол поверхности под вакуумом или в среде защитного газа, например, азота.
31
куумировани и канал посторонними средствами откачки.
В исходном состо нии устройства один из запорных органов 18 герметизирует отверстие загрузочного патруб ка 9 от атмосферы уплотн ющей тарелью 20, а второй запорный орган 18 герметично изолирует объём основной камеры 23 от корпуса 1 устройства уплотн ющей тарелью 19, при этом внутренний объем корпуса 1 вакуумируетс через патрубок 12, а манипул тор 2 перегрузки - через каналы 15 магниторазр дным насосом 5.
Затем после сн ти зажима 51 контейнер 50 вставл етс в патрубок 9 загрузки, а съемный шлюзовой клапан 28 под воздействием механизма 3 уплонени прижимаетс к уплотнительному кольцу 37 корпуса 1, герметично изолиру внутренний объем патрубка 9 загрузки от атмосферы.
После установки контейнера 50 в устройство прекращаетс подача азота , а канал 36 переключаетс на откачку азотного кармана патрубка 9 посторонним коммутирующим устройством .
В устройстве при наличии собственных средств откачки внутренн полость патрубка 9, наполненного сухим азотом, вакуумируетс до остаточного давлени не ниже 5-10 Па, что экономит врем , затрачиваемое на ввод подложкодержател 34 в корпус 1. При таком вакууме давление остаточных газов на крышку 31 становитс значительно меньше усили удержани ее в гнезде 41 тарели 20 гибким фиксирующим кольцом 40..
Затем при помощи привода 7 снимаетс усилие уплотнени патрубка 9 загрузки , при этом запорный орган 18 отводит уплотн ющую тарель 20 вместе с крышкой 31 и подложкодержатель 34 от уплотн емой поверхности патрубка 9 и соедин ет внутренний его объем с объемом корпуса 1 устройства.
При малом объеме газов (азота) во входном патрубке 9 и остаточном давлении их 5«1СГПа магниторазр Дный насос 5 быстро восстанавливает исходный вакуум в корпусе 1 устройства , необходимый дл передачи подложек 35 в основную камеру 23. .
1774
|из них расположены симметрично относительно оси вращени , причем в окнах 42 установлены запорные органы 18, третье окно 43 вл етс окном, через которое подложкодержатель 34 с подложками 35 передаетс манипул тор 2 перегрузки в основную камеру 23, а в последнем окне 44 размещены удерживающие подложкодержатели 34 фиксаторы 45.
После восстановлени исходного вакуума в корпусе 1 устройства снимаетс усилие уплотнени второго запорного органа 18, который отводит уплотн ющую тарель 19 от уплотн ющей поверхности присоединительного патрубка 11, и подложка транспортируетс каруселью 16 на позицию перегрузки и устанавливаетс соосно с патрубком 10 манипул тора 2 перегрузки.
Реверсивное вращение диска-шестерни 17 карусели 16 осуществл ет привод 6 вращени карусели.
При линейном перемещении штанги 26 манипул тор 2 перегрузки своим захватом 27 извлекает, подложкодержатель 34 с подложкой 35 из герметизирующей крышки 31 и вводит в патрубок 10 перегрузки.
При последующем вращении карусели 16 окно 44 с фиксаторами 45 устанавливаетс соосно с патрубком 10 перегрузки .
Затем манипул тор 2 перегрузки транспортирует и устанавливает подложкодержатель 34 в отверстие 44 диска-шестерни 17 и оставл ет его в фиксаторах 45, а сам возвращаетс в исходное положение.
В последук дем карусель 16 устанав- |ливает запорные органы 18 напротив патрубка 9 загрузки и патрубка 10 перегрузки , последние при помощи индивидуальных приводов 7 уплотнени изолируют корпус 1 устройства от основной камеры 23.
В таком положении карусели 16 отверстие 44 диска-шестерни 17 находитс напротив патрубка 47, на котором герметично установлено нагревательное устройство 46 с тепловыми экранами 49 и нагревательным элементом 48.
Предварительный прогрев подложки 35 в корпусе 1 устройства при вакууме не ниже IlO Па очищает ее поверхность от загр знений остаточными газами , которые откачиваютс магниторазр дным насосом 5. S1 В свою очередь обезгаженна подложка 35jпереданна , например, в камеру роста установки 53 МЛЭ, при последующем ее прогреве до температуры эпитаксии 560°С имеет меньше газоотделений , что улучшает вакуумныеусло ви в зоне роста основной камеры 23 . и способствует повьшению качества вы ращиваемых структур. В случае более низких требований к чистоте поверхности подложек 35 и вакуумным услови м в зоне напылени , например, в установке 54 металлических покрытий, предварительный прогре подложек 35 в корпусе 1 устройства можно не проводить, при этом манипул тор 2 перегрузки после извлечени подложкодержател 34 из уплотн ющей тарели 19 непосредственно транспортирует его через окно 43 передачи в ocHoBrfym камеру 23. До начала процесса прогрева или во врем его проведени в корпус 1 устройства вводитс второй подложкодержатель 34 с подложкой 35, Загрузка подложек после завершени прогрева нежелательна, так как снижение вакуума при проведении этой операции снижает эффективность очист ки поверхности. После завершени операции прогрева , повторной загрузки и восстановлени исходного вакуума в корпусе 1 устройства карусель 16 транспортирует подложкодержатель 34 с подложкой 35 на позицию манипул тора 2 перегрузкИо Манипул тор 2 перегрузки извлекае подложкодержатель 34 с подложкой 35 из фиксаторов 33 и вводит в патрубок 10перегрузки, затеем карусель 16 уст навливает окно 43 передачи на одной оси с патрубком 10 перегрузки. При своих последующих линейньк перемещени х манипул тор 2 перегруз )и транспортирует подложкодержатель 34 с подложкой 35 в основную камеру 23, устанавливает его на прецизионном манипул торе 24 и возвращаетс 11исходное положение. Карусель 16 устанавливает уплотн ющую тарель 20 со вторым подложко- epжaтeлeм 34 на позицию манипул тора 2 перегрузки, который извлекает г:одложкодержатель 34 из герметизирую щей крьшки 31 и вводит в патрубок 10 :перегрузки. Карусель 16 совмещает ось окна 44 с осью патрубка 10 пере776 грузки, и манипул тор перегрузки устанавливает подложкодержатель 34 с подложкой 35 в фиксаторах 45 окна 44 При последующем вращении карусели 16 запорные органы 18 устанавливаютс напротив патрубка 9 загрузки и патрубка 10 перегрузки и под действием приводов 7 уплотнени уплотн ющие тарели 19 и 20 изолируют корпус 1 устройства от основной камеры 23, а патрубок 9 загрузки - от полости корпуса 1 устройства. Врем проведени операции, например , очистки и последующего контрол поверхности соста.вл ет 2-3 ч, врем проведени операций МЛЭ или металлических покрытий колеблетс в зависимости от типа структур и толщин покрытий от 3 до 6 ч. Этого времени достаточно дл проведени операций загрузки, обезгаживани и получени ИСХОДНОГО вакуума в корпусе 1 устройства одновременно с проведением основных операций в камерах 23. После завершени операций в основной камере 23 и получени в корпусе , 1 вакуума не ниже 5 10 Па запорные органы 18 разгерметизируют патрубок 9 загрузки и патрубки 10 перегрузки , а карусель 16 устанавливает окно 43 передачи напротив манипул тора 2 перегрузки. Последний забирает подложкодержатель 34 с прецизионного манипул тора 24 и устанавливает в свободное гнездо 41 тарели 20, затем забирает второй обезгаженный подложкодержатель 34 из окна 44 с фиксаторами 45 и устанавливает на прецизионный манипул тор 24, а следующий подложкодержатель 34 устанавливает в фиксаторах 45 окна 44 карусели 16. После завершени перегрузочных операций карусель 16 устанавливает запорные органы 18 так, что один из них с обработанной подложкой 35 размещаетс напротив патрубка 9 загрузки (выгрузки), при этом один из запорных органов 18 изолирует корпус 1 от основной камеры 23, а другой запорный орган - патрубок 9 от полости корпуса 1 устройства. При герметизации патрубка 9 за- грузки герметизирующа крьшка 31 прижимаетс к уплотнительному кольцу 29 шлюзового клапана 28, тем самым создаетс предварительна герметизаци внутреннего объема контейне7
pa 50 исключающа попадание в этот объем азота при его последующем напуске через канал 36 откачки (или напуска газа).
При создании атмосферного давлени в патрубке 9 загрузки снимаетс действие гибкого фиксирующего кольца 40.
Операци выгрузки контейнера 50 с обработанной подложкой 35 производитс в следующей последовательности: вручную или автоматически снимаетс действие механизма 3 уплотнени , после чего он вручную или механически отводитс в сторону. Силой атмосферного давлени герметизирующа крышка 31 прижимаетс через уплотнительное кольцо 29 к шлюзовому клапану 28, образу внутреннюю вакуумированную полость.
Вместе с герметизирующей крышкой 31 шлюзовой клапан 28 вручную или механически удал етс из патрубка 9 загрузки, а на его место становитс новый контейнер 50 с герметизирующей крышкой 31 и новым подложкодержателем 34 с подложкой 35.
После сн ти шЛ1рзового клапана 28 с герметизирующей крышкой 31 с целью снижени натекани через уплотнитель ное кольцо 29, герметизирующую крышку 31 с клапаном 28 контейнер может быть дополнительно уплотнен зажимом 51. Размещение геттера 39 во внутренней полости клапана 28 способствует длительному сохранению вакуума не ниже 5..
В таким положении контейнера подложка может хранитьс или транспортироватьс на последующие операции.
1778
Claims (2)
1.Загрузочное устройство шиберного типа, содержащее корпус с патрубками загрузки и перегрузки, выполненными с уплотнительными поверхност ми , герметизируемыми запорными органами , смонтированными на карусели симметрично оси ее вращени , и механизм уплотнени , причем на патрубке перегрузки, расположенном соосно
с присоединительным патрубком, закреплен манипул тор перегрузки, а на патрубке загрузки смонтирован шлюзовой клапан с подложкоде)жателем, отличающеес тем, что, с целью расширени функциональных возможностей загрузочного устройства,копус снабжен патрубком вакуумировани а в уплотнительной поверхности патрука перегрузки выполнены каналы откачки полости патрубка перегрузки и манипул тора перегрузки, при этом шлюзовой клапан патрубка загрузки установлен с возможностью отсоединени его от механизма уплотнени и снабжен герметизирующей крьш1кой,образующей с его наружной поверхностью полость, в которой размещен указанный подложкодержатель.
2.Устройство ПОП.1, отлича-ющее с тем, что корпус с набжен патрубком прогрева, а карусель вьшолнена в виде разборного диска-шестерни с окнами, центры которых размещены на одной окружности с патрубками загрузки, перегрузки, прогрева и присоединительного патрубка , при этом в окнах смонтированы запорные органы и фиксаторы подложкодержател .
А-А
15
Тл
S
36
фиг.З
8-В
Г-Г
фОг.б
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853913121A SU1275177A1 (ru) | 1985-06-17 | 1985-06-17 | Загрузочное устройство шиберного типа |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853913121A SU1275177A1 (ru) | 1985-06-17 | 1985-06-17 | Загрузочное устройство шиберного типа |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1275177A1 true SU1275177A1 (ru) | 1986-12-07 |
Family
ID=21183503
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU853913121A SU1275177A1 (ru) | 1985-06-17 | 1985-06-17 | Загрузочное устройство шиберного типа |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1275177A1 (ru) |
-
1985
- 1985-06-17 SU SU853913121A patent/SU1275177A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11631605B2 (en) | Sealed substrate carriers and systems and methods for transporting substrates | |
JP4012941B2 (ja) | 真空処理装置 | |
US5223001A (en) | Vacuum processing apparatus | |
US4923584A (en) | Sealing apparatus for a vacuum processing system | |
US4944860A (en) | Platen assembly for a vacuum processing system | |
JPS6130030B2 (ru) | ||
EP0367425A2 (en) | Wafer handling apparatus | |
JPS60250644A (ja) | 改良されたロードロツク排気機構 | |
JP2008297584A (ja) | 成膜装置 | |
US8740537B2 (en) | Transport device having a deflectable sealing frame | |
SU1275177A1 (ru) | Загрузочное устройство шиберного типа | |
JPS62996B2 (ru) | ||
JPH0242901B2 (ru) | ||
JPH05217919A (ja) | 自然酸化膜除去装置 | |
JPH0652721B2 (ja) | 半導体ウエハ処理装置 | |
JP3121022B2 (ja) | 減圧処理装置 | |
EP2119809A1 (en) | Substrate processing module exchange unit. | |
JPS63177426A (ja) | 気相成長方法及び装置 | |
JP3463785B2 (ja) | 封止装置および処理装置 | |
JPH02173263A (ja) | スパッタリング装置の基板処理方法およびその装置 | |
JPH07166352A (ja) | 真空処理用基板の防塵搬入方法 | |
SU1231920A1 (ru) | Установка дл молекул рно-лучевой эпитаксии | |
JPS60160139A (ja) | 移送方法 | |
CN117684260A (zh) | 多步化学气相沉积衬底样品隔离装置 | |
JPS6360276A (ja) | スパツタリング装置 |