SU1264015A1 - Тензометрический преобразователь - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике-и позвол ет повысить надежность преобразовател  в услови х вибрации и ударных нагрузок. В кольцевом утолщении 3 мембраны 2 в отверсти х установлены стекл нные изол торы 4 с токоподводами 5. Торцы выводных проводников токоподводов соединены через окна в слое диэлектрика 6, нанесенного на мембрану 2, с напыленными токопровод щими дорожками 8. При контакте приемной полости датчика с объектом контрол  мембрана 2 деформируетс , что вызывает разбаланс мостовой схемы из терморезисторов 7 и по вление информационного сигнала, 2 ил. (Л с tc а 4; ел

Description

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и предназначено дл  измерени  давлений, сил или перемещений с помоиью тензорезисторов , сформированных методом вакуумного напылени  на упругих элементах.

Цель изобретени  - повышение надежности преобразовател  EI услови х вибрйции, ударных нагрузок и аысоктс те тератур.

На фиг.1 изображен датчик давлени ; на фнг.2 - схема соединени  вы водных проводников с тензорезистор®ми на мембране о

В корпусе 1 датчика выполнена мембрана 2, котора  имеет кольцевое утолщение 3. В отверсти х у опщенной части установлены изол торы 4 (фиг.2) с токоподводамн 5, Токоподводы могут быть вьтолнеиы из Н8знеле вой проволоки5 а изол торы - из стекла . Торцы токоподводов и соответственно изол торов совмещают с плоскостью мембраныJ на которую нанесен методом микроэлектронйой технологии слой диэлектрика 6 и сформмров1аиы тензореэисторы 7 н ток оподзрд 1щие дорожки 8. Дл  электрического соединени  токоподводов с ТОКОПОДВОДЯ1 ИМИ

дорожками в слое диэлектрика 6 пред- варительно вьшоли гот соответственно каждому торцу токоподвода окна размером , не превьйан цим диаметра отверсти  в кольцевой утолщенной части мембраны. Нанесенне тензоразистороэ и провод щих дорожек чожно осу1ществить любым известным способом, например вакуум1-й 4 напьа еюзем 5 причем j провод щие дорожки вьшолн ит послйдовательно из материало/з, мкм; хром 0,05( медь 1,0, Могут быть и другие структуры/ обеспечивак цие молекул рную св зь металических дсфожек с щ-злектрическим слоем мембраны п- токоподводами 5,

Укрепленные в кольцевом утод:гщении мембраны токоподводь 5 свободно изгибают дл  соединени  их с контактами разъема 9,

Преобразователь работает следую-  цш образом.

Вначале к тензорезисторам, соединенным в мостовую измерительную схему , подвод т через разъем 9 питание напр жение посто киог-с тока. Присоедин ют приемную полость датчика к объекту контрол . Деформаци  мембраны 2 преобразуетс  в изменение сопротивлени  тенаореэисторов, которые привод т к разбалансу мостовой схекы м по влению иш|юрмациош ого сйгишга

Такое техкггчаскекэ решение попьтае надежность работы преобразовател  вследствие Iorb;, JTO токоподводы кееткр закреплены в утолщенной чаетк ме Шраны, а под действием ударов и вибраций не создают нагрузок в месгах электрического соединени  их с окогюдвбд щк Емн дорожками. Такое рёвеине исключает также пайку и микросварку контактных площадок как элемент надежное rss.

Формул

изобретени 

Тензометригческий преобразователь, содержащий плоску металлическую мембрану с кольцевьш yTOjnueHHeM, на поверкности которой нанесен слой ди. электрика ir сформированы напылением тенФорвзисторы и токолровод пдае до рок1сн« электрически св занные с тогоподзодами , отличающийс  тем, что, с целью повьн ени  надежности в услови х ибрации, ударных наг рузок , в нем токоподводы установл 1Ш ш отверсти х, снабженных изол торами и выполненных в кольцевом утолщении мембраны, а в слое диэлектрика аьшолнены окна размером, не иреBiJmstKesum диаметра отверстий в кольцевом утолщении, при этом торцы MI-. водгшх проводников токоподводов сов«ещены с плоскостью мембраны и соединены с напыл емыми токопровод Ер ,ми доршпсами через окна в слое диэлектрив:а

.„л

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Тензометрический преобразователь, содержащий плоскую металлическую мембрану с кольцевым утолщением, на поверхности которой нанесен слой диэлектрика и сформированы напылением тензореэисторы и токопроводящие дорожки, электрически связанные с токоподводами, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности в условиях вибрации, ударных нагрузок, в нем токоподводы установл4в отверстиях, снабженных изоляторами и выполненных в кольцевом утолщении мембраны, а в слое диэлектрика выполнены окна размером, не нревышающим диаметра отверстий в кольцевом утолщении, при этом торцы вы- . водных проводников токоподводов совмещены с плоскостью мембраны и соединены с напыляемыми токопроводящи_ами дорожками через окна в слое диэлектрика.

   )264015 , . Составитель И. Невский