SU1263917A1

SU1263917A1 - Вакуумна ловушка

Info

Publication number: SU1263917A1
Application number: SU853842415A
Authority: SU
Inventors: Игорь Викторович Зорин
Original assignee: Специальное Конструкторское Бюро Ордена Ленина Физико-Технического Института Им.А.Ф.Иоффе
Priority date: 1985-01-14
Filing date: 1985-01-14
Publication date: 1986-10-15

Abstract

Изобретение относитс к вакуумной технике - вакуумным насосам с термоэлектрическим охлаждением. Цель изобретени - повышение экономичности работы и облегчение обслуживани путем уменьшени теплопередачи излучением от экранов и теплопроводностью по антимпгратору. Охлаждаемые элементы (ОЭ) 2 и подключенньш к ним ис

Description

точник холода установлены в корпусе 1. Источник холода вьшолиен в виде многокаскадной термоэлектрической батареи 3. Экраны 4 соединены с ОЭ 2 и при ПОМО1ЦИ теплопроводов 5 - с теплым каскадом 6 батареи 3. Батаре 3 размещена в гофрированном сильфоне 8, сообщенном с атмосферой, а теплопроводы выполнены в виде пластин , установленных в гофрах 9 сильфопа 8. Сильфонный антимигратор 7 подсоединен средней частью к теплому каскаду 6 батареи 3. Пары масел или других примесей идут со стороны вакуумного насоса навстречу потоку откачиваемого газа. Дойд до ловушки.

они огибают экраны А и проход т к ОЭ 2, где задерживаютс , переход в твердую фазу. Н{идка фаза примесей движетс вдоль антимигратора 7 до зон с температурой ниже температуры затвердевани , где намораживаетс и задерживаетс . Температура экранов 4 активно понижаетс путем охлаждени более теплым источником 6 через прижатые друг к другу теплопроводы 5 и гофры 9. Активное охлаждение экранов более теплыми каскадами батареи приводит к понижению теплопередачи излучением от экранов и передачи тепла теплопроводностью по антимигратору. 2 3.п. ф-лы. 1 ил.

1

изобретение относитс к вакуумно технике, а именно к вакуумным ловушкам с термоэлектрическим охлаждение

Цель изобретени - повьшение экономичности работы и облегчение обслуживании .

На чертеже изображена вакуумна ловушка.

Вакуумна ловушка содержит корпу 1, расположенные в нем охлаждаемые .элементы 2 и подплючеиный к последним источник холода, выполненньй в виде многокаскадной термоэлектрической батареи 3. Ловушка дополнительно содержит экраны 4, соединенные с охлаждаемыми элементами 2, и при помощи теплопроводов 5 - с теплым каскадом 6 термоэлектрической батареи 3.

Ловушка снабжена сильфонным антиш1гратором 7, подсоедИне1{ным средней частью к теплому каскаду 6 термоэлектрической батареи 3.

Кроме того, ловушка снабжена сообщеннь№1 с атмосферой гофрированным сильфоном 8, термоэлектрическа батаре 3 размещена в последнем, а теплопроводы выполнены в виде пластин , установленных в гофрах 9 сильфона 8.

Вакуумна ловушка работает следующим образом.

Пары масел или других примесей идут со стороны вакуумного насоса

навстречу потоку откачиваемого газа из вакуумируемого объема.

Дойд до ловушки, они огибают экран 4 и проход т к охлаждаемымэлементам 2, где задерживаютс , переход в твердую фазу, исключающую их миграцию по поверхности. Жидка фаза примесей, осевша на стенках корпуса 1 и экранов 4, движетс вдоль

сильфонного антимигратора 7, пока не доходит до зон с температурой ниже температуры затвердевани , где намораживаетс и задерживаетс .

Дл уменьшени теплопритока излучением от экранов 4 их температура активно понижаетс путем охлаждени более теплым источником холода через прижатые друг к другу теплопроводы 5 и гофры 9 сильфона 8.

Активное ох.паждение экранов более теплыми каскадами термоэлектрической батарей приводит к значительному понижеьшю теплопередачи излучением от экранов и передачи тепла теплопроводностью по антимигратору.

Это позвол ет значительно сократить мощность, потребл емую термоэлектрической батареей.

Claims

1. Вакуумна ловушка, содержаща корпус, расположенные в нем охлаждаемые элементы и подключенный к последним источник холода, вьшолненный в виде многокаскадной термоэлектрическойбатареи , отличающа с тем, что, с целью повышени экономичности работы, ловушка дополнительно содержит экраны, соединенные с охлаждаемыми элементами, и при помощи теплопроводов - с теплым каскадом термоэлектрической батареи.

2. Ловушка по п. 1, отличающа с тем, что она снабжена

сильфонным антимигратором, подсоединенным средней частью к теплому каскаду термоэлектрической батареи.

3. Ловушка по п. 1, отличающа с тем, что, с целью облег чени обслуживани , она снабжена сообщенным с атмосферой гофрированным сильфоном, и термоэлектрическа батаре размещена в последнем, а теплопроводы вьтолнены в виде пластин, установленных в гофрах сильфона.