SU1242781A1 - Способ обнаружени трещин в листовых диэлектриках - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к технике СВЧ-измерений. Повышаетс  веро тность обнаружени  трещин на фоне мешающих факторов. Уст-во, по сн ющее способ, содержит свип-генератор 1, блок 2 питани , делитель 3 мощности, цирку- л торы 4, приемно-передающие антенны 5, волноводный мост 6, балансный смеситель (БС) 7, блок 8 обработки и индикации. По вление трещин приводит к уменьшению коэф. отражени  дл  всех частот, при любых толщинах сло  и размера трегщины, т.е. различию в отраженных от диэл. сло  9 сигнала и по влению ненулевого разностного сигнала и ненулевого сигнала на выходе БС 7. Этот сигнал практически посто нен в широкой полосе частот, что позвол ет индентифицировать трещины на фоне плавных изменений толщины и св-в материала диэл. сло , к-рые вызывают осцилл цию сигнала на выходе БС 7. 1 ил. , C (Л к%йт

Description

Изобретение относитс  к технике СВЧ измерений и может быть исполь- зовано в электронной промышленности дл  контрол  полупроводниковых fuie- нок и диэлектрических подложек.

Цель изобретени  - повышение веро тности обнаружени  трещин на фоне мешающих факторов,

На чертеже приведена структурна  электрическа  схема устройства, pea- лизутощего способ обнаружени  трещин в листовых диэлектриках.

Устройство содержит свип-гене- ратор 1, блок 2 питани , делитель 3 МО1ЦНОСТИ5 циркул торы 4, приемно-пе- редающие антенны 5, волноводный мост 6, балансный смеситель 7,блок 8 обработки и индикации.

Устройство работает следующим образом . .

Сигнал от свип-генератора 1 делитс  в делителе 3 мощности на два идентич1н 1х канала, проходит циркул - торы 4 и излучаетс  в контролируемый диэлектрический слой 9 при по- мощи двух ненаправленных приемно- ,пе.редающих антенн 5. Отраженные . сигналы, проход  циркул торы 4, поступают в волноводный, мост 6, формирующий разностньш и суммарный сигналы. При этом балансировка плеч схемы осуществл етс  таким образом, что в отсутствие дефектов в диэлектрическом слое 9 в полосе частот сви- пировани  амплитуды и фазы отраженных сигналов поддерживаютс  одинаковыми , вследствие чего на выходе волн водного моста 6 отсутствует разностный сигнал. С выхода волноводного моста 6 разностньш и суммарный сигналы поступают на балансный смеситель 7, которьм формирует произведение подаваемых на него сигналов.

Если разностный и сум1 арньй сигналы записать в виде,

Uj А(со) sinut . В(М). (|(co) ,

то на выходе балансного смесител  7 образуетс  сигнал

6bu°() co5C| tw)(o),

Низкочастотна  составл юща  этого сигнала имеет вид

и |А(СО) В(СО).(uj . (1)

Таким образом, низкочастотный сигнал на выходе балансного смеси- 7 пропорщюнален произведению амплитуд подаваемых сигналов на косинус угла сдвига фаз между ними.

С выхода балансного, смесител  7 сигнал подаетс  на блок 8, в котором происходит вьщеление гармонических составл ющ) х частоты модул ции S2, измерение их амплитуд и фазовое де- тектрирование при помощи опорного сигнала частоты модул ции Я, поступающего с блока 2 питани  свип-генератора 1, а также выработка решени  о наличии трещины в области контрол  в результате сравнени  с некоторым порогом, определ ющим чувствительность устройства.

Диапазон свипировани  частоты свип-генератора 1 выбираетс  таким образом, что на его центральной частоте или вблизи нее наблюдаетс  минимум модул  Коэффициента отражени  падающей волны от диэлектрического сло  9 номинальной толщины.

По вление приводит к уменьшению коэф41ициента отражени  дл  всех частот, при любых толщинах сло  и размера трещины, т.е. различию в отраженных от диэлектрического сло  9 сигналами по влению ненулевого разностного сигнала и ненулевого сигнала на выходе балансного смесител .

Этот сигнал практически посто нен в широкой полосе частот, что позвол ет идентифицировать трещины на фоне плавных измерений толщины и свойств материала диэлектрического сло , которые вызывают осцилл цию сигнала на выходе балансного смесител . .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ обнаружени  трещин в листовых диэлектриках, включающий облучение контролируемого листового диэлектрика двум  разнесенными в пространстве контрольными сигналами электромагнитного излучени  СВЧ, прием отражаем)1х сигналов, определение суммарного и разностного значений прин тых отраженных сигналов, о т- л и ч а ю щ и и с   тем, что, с целью повьшюнию веро тности обнаружени  трещин на фоне мешающих факторов , контрольные сигналы модулируют по частоте по периодическому закону относительно частоты, соответствующей минимуму коэффициента отражени , сум312427814

   марный и разностный сигналы смеши- тавл ющие на частоте модул ции, по вают по частоте, а из полученного которьш путем.сравнени  с пороговыми сигнала выдел ют гармонические сое- значени ми суд т о наличии дефекта.