SU1238951A1

SU1238951A1 - Способ двустороннего полировани пластин

Info

Publication number: SU1238951A1
Application number: SU843799420A
Authority: SU
Inventors: Михаил Соломонович Слицан; Олег Александрович Мещеряков; Сергей Павлович Катков; Владимир Константинович Русаков; Зинаида Васильевна Демидова; Анатолий Станиславович Мошковский
Original assignee: Предприятие П/Я Г-4149
Priority date: 1984-10-05
Filing date: 1984-10-05
Publication date: 1986-06-23

Description

Изобретение относитс к .технологии обработки материалов в приборостроении и может использоватьс при изготовлении полупроводниковых, оптических и пьезоэлектрических изделий.

Цель изобретени - повьппение качества полировани пьезоэлектрических , оптических и полупроводниковых пластин.

На чертеже показана схема реализа ции способа двустороннего полировани пластин.

Пластины 1 закреплены в кассете 2, расположенной между полировальниками 3, рабочий слой которых 4 сое тоит из композиционного материала на оЬнове полистирола с добавкой мелкодисперсного растворимого вещества.

Технологию двустороннего полировани пьезоэлектрических пластин на станках, например, эксцентрикового типа с использованием полировальников , рабочий слой которых состоит из композиционного материала на основе полистирола с добавкой мелкодисперс- ного растворимого вещества, рассматривают на примере полимерного материала , представл ющего собой композицию на основе ударопрочного полистирола и хлористого натри .

Способ включает сушку хлористого натри при 100°С в течение 2ч, размол в фарфоровом барабане шаровой мельницы при массовом соотношении шаров и загружаемой соли 2:1, пере- мешивание и загрузку в бункер литьевой машины ударопрочного полистирола и хлористого натри в массовом соотношении 85:15, пропускание композиций 1- раза через гранулирующую го- ловку с отверстием 3-5 мм при температуре материального цилиндра 190- , удельном давлении 500- 700 кг/см, длине гранул 3-5 мм, переработку гранулированной композиции в издели методом лить под давлением , т§мпература материального цилинд ра 200-240°С, температура литьевой формы 30-40 с, давление впрыска 800- 1200 кг/см , врем вьщержки в литье- вой форме под давлением 20-30 с.

После изготовлени полировальнико шлифуют нерабочую сторону на станке с применением суспензии на основе шлифпорошка № 4 до образовани шеро- ховатой поверхности, промывают полировальник в проточной воде не менее 20°С и сушат его фильтровальной

бумагой, приклеивают клеем ПУ-2 к рабочей поверхности притира полистироль ный диск шлифованной поверхностью. Кроме того, протачивают рабочую поверхность полировальника на токарном станке, снима 0,2-0,5 мм, при этом окончательно довод т рабочую поверхность полировальника раствором ацетон бензин (1:10) на плане, обт нутом сукном .

Плоскостность рабочей поверхности контролируют лекальной линейкой О класса. При наложении лекальной линейки на рабочую поверхность просвет между ними должен отсутствовать.

Далее пьезоэлектрические пластины размещают в гнездах кассеты между нижним и верхним полировальниками. Каждый из полировальников имеет свои оси вращени , лежащие в .одной плоскости. Ось вращени нижнего полировальника находитс на том же рассто нии от оси вращени кассеты, что и ось вращени верхнего полировальника, В качестве полирующего абразива выбирают смесь окиси цери и воды, которую нанос т на пластины и равномерно распредел ют по всей поверхности. Через каждые 1,5-2 мин провод т подачу смеси в количестве 8-10 капель. С целью получени минимальной разнотолщиннос- ти в одновременно полируемой партии провод т перекладки пьезоэлектрических пластин в процессе полировани . Контроль частоты полированных пластин осуществл ют электронным частотомером с помощью накладных электродов К накладным электродам подвод т переменное напр жение от технологического генератора..

Диапазон изменений удельных давлений на пьезоэлектрические пластины выбирают, исход из зернистости абразива и скорости полировани . Причем при больших размерах зерна необходимо работать с давлени ми, близкими к значению 0,6 кг/см, а при меньших размерах зерна - с давлени ми , близкими к значению 0,05 кг/см. Диапазон изменений скорости вращени полировальников указан в зависимости от рода работы при полировании пьезоэлектрических пластин.

При грубой доводке пластин скорость вращени притиров соответствует 1,5 м/с, а при более тонком, финишном полировании значение ско .

рости вращени полировальников близкое к 1,1 м/с.

Наличие полирующего абразива в смеси менее 5% уменьшает производительность труда при полировании. При содержании полирующего абразива в смеси более 10% больша часть порошка не участвует в процессе полировани .

Толщину снимаемого сло полировальника на токарном станке определ ют , исход из технологических разбросов , получаемых в процессе лить , при этом они не превьщ1ают 0,1-0,5 мм. Проточка полировальника менее чем на 0,1 мм не позвол ет убрать все литьевые дефекты, неровности. Проточка полировальника более чем на 0,5 мм нежелательна вследствие уменьшени рабочего сло полировальника.

Врем притирки полировальников, осуществл емое на холострм ходу станка, выбирают, исход из состо ни шероховатости поверхности полировальника и его плоскостности. При времени притирки менее 10 мин не удаетс привести полировальники в рабочее состо ние (шероховатость поверхности мкм, плоскостность

ВНИИПИ Заказ 3336/11 Тираж 740

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4

389514

не хуже 0, мм). При времени притирки полировальников более 20 мин значительно увеличиваетс трудоемкость процесса.

5 Изготовление полировальников из полистирола с добавкой мелкодисперсного хлористого натри позвол ет получать рабочие поверхности полировальников с заранее заданными требо- 10 вани ми по точности и плоскостности. Кроме того, полировальники из полк- стирола значительно износоустойчивее известных.

Наличие пор в рабочем слое поли 5 ровальника, полученных за счет вытравливани мелкодисперсного растворимого вещества, позвол ет аккумулировать полирующую смесь и обеспечить оптимальную подачу смеси в зону

0 полировани ,

П р и м ер. Полировке окисью цер- ри подвергают пластины кварца и кремни в количестве 24 шт., предварительно обработанные абразивом М5.

5 После сполировани 5 мкм контролируют плоскостность, плоскопараллельность и.наличие на полированной поверхности дефектов обработки.

Результаты испытаний приведены

0 в таблице.

Подписное

Claims

СПОСОБ ДВУСТОРОННЕГО ПОЛИРОВАНИЯ ПЛАСТИН, при котором их размещают между полировальниками на основе синтетического материала, сообщают пластинам и полировальникам относительные перемещения, прижимают друг к другу, а в зону обработки подают абразивную смесь, отличающийся тем, что, с целью повышения качества полирования пьезоэлектрических, оптических и полупроводниковых пластин, обработку ведут на полировальниках из композиционного материала на основе ударопрочного полистирола с добавкой мелкодисперсного хлористого натрия, при этом удельное давление выбирают в пределах от 0,05 до 0,6 кг/см², скорость полирования от 1,1 до

1,5 м/с, а содержание полировального абразива в смеси от 5 до 10%.

* 1238951 *