Изобретение относитс к материалам , примен емым в радиоэлектронике , в частности, дл изготовлени пьезокерамических фильтров, работающих на поверхностньк акустических волнах (ПАВ).The invention relates to materials used in radio electronics, in particular, for the manufacture of piezoceramic filters operating on surface acoustic waves (SAS).
Целью изобретени вл етс уменьшение флуктуации скорости поверхностной акустической волны и среднего размера пор.The aim of the invention is to reduce fluctuations in the surface acoustic wave velocity and the average pore size.
Шихту готов т в шаровой или вибромельнице . Полученную шихту подвергают обжигу (в ввде брикетов или порошка) при 920+20 С в течение 2-3 ч. Прокаленный материал измель- .чают в порошок с размером частиц не более 3 мкм, добавл ют в качестве смазки водный раствор поливинилового спирта и прессуют заготовки, . Например, в виде дисков требуемого размера при давлении 1 -1,5 т/см. Спрессованные заготовки помещают на керамические подножки из диоксида циркони (или оксида алюмини ), накрьшают такой же подложкой. Затем .образцы в таком виде или в никелево пакете загружают в печь и спекают при П40-1200 С в течение 2-3 ч. Скорость подъема температуры 150 Как видно из таблицы, введение комплексной добавки ZnBiij 0 в количестве 1,38-1,70 мас.% в цир- конат-титанат свинца составаThe mixture is prepared in a ball mill or a vibrating mill. The resulting mixture is baked (in a briquette or powder) at 920 + 20 C for 2-3 hours. The calcined material is ground into a powder with a particle size of not more than 3 µm, an aqueous solution of polyvinyl alcohol is added as a lubricant and pressed blanks, For example, in the form of disks of the required size at a pressure of 1 -1.5 t / cm. Compressed blanks are placed on ceramic steps made of zirconium dioxide (or alumina) and coated with the same substrate. Then samples in this form or in a nickel package are loaded into the furnace and sintered at P40-1200 C for 2-3 hours. Temperature rise rate 150 As can be seen from the table, the introduction of the complex additive ZnBiij 0 in the amount of 1.38-1.70 wt.% in lead zirconate titanate of composition
РЪ(,,31-о,J,3 позвол ет получить пьезоэлектрический кеPb (,, 31, J, 3 allows to obtain a piezoelectric ke
200°/ч, охлаждение проводитс вместе с печью. Возможно проведение спекани как в камерных печах, так и в туннельных. Кроме того, возможно применение среды кислорода при спекании..Спеченные издели шлифуют до заданного размера, затем на них нанос т электроды/ методом вжигани серебр ной пасты при 780+50 С в течение 15-30 мин. Пол ризаци изделий осуществл етс в среде жидкого диэлектрика, например в полиэтилсилоксановой жидкости ПЭС-5 при 100-150 С в посто нном электрическом поле с напр женностью 3-4 кВ/мм. Измерени электрофизических свойств провод т на дисках диаметром 10+0,1 мм и толщиной liiO,l мм по стандартным методикам. Дл определени среднего размера пор диски диаметром 50 мм после шлифовки подвергают полировке, а дл определени флуктуации скорости ПАВ .по подложке на те же диски с использованием фотолитографии нанос т электроды встречно-штьфево- го типа и затем возбуждают ПАВ. Результаты испытаний полученного материала приведены в таблице.200 ° / h, cooling is carried out with the furnace. Sintering is possible both in chamber furnaces and in tunnel furnaces. In addition, it is possible to use the oxygen environment during sintering. The sintered products are polished to a specified size, then electrodes are applied to them / by burning silver paste at 780 + 50 ° C for 15-30 minutes. The polarization of products is carried out in a liquid dielectric environment, for example, in a PES-5 polyethylsiloxane liquid at 100-150 ° C in a constant electric field with a strength of 3-4 kV / mm. Measurements of electrophysical properties are carried out on disks with a diameter of 10 + 0.1 mm and thickness liiO, l mm according to standard methods. To determine the average pore size, disks with a diameter of 50 mm are polished after grinding, and to determine fluctuations of the surfactant rate. On the same disks, photolithography is applied on the substrate with counter-pin electrodes and then excited by surfactants. The test results of the material obtained are given in the table.
рамический материал с небольшой флуктуацией скорости ПАВ.на керамичес- кой подложке и уменьшенным размером пор dtp при сохранении высоких значений механической добротности QM, коэффициента электромеханической св зи КрИ пониженной диэлектри- использовать.этот материал дл изго- ческой проницаемости 5 . Та- товлени телевизионных фильтров УПЧЗ кое сочетание свойств позвол ет на ПАВ, а также дл других целей.Frame material with a small fluctuation of the PAV.V rate on a ceramic substrate and a reduced pore size dtp while maintaining high values of the mechanical quality factor QM, coefficient of electromechanical coupling of a low dielectric dielectric. UDPC television filter mapping allows a combination of properties for surfactants as well as for other purposes.