SU1212997A1

SU1212997A1 - Method of processing optical components

Info

Publication number: SU1212997A1
Application number: SU843790157A
Authority: SU
Inventors: Валентин Павлович Пушечников; Владимир Петрович Маслов; Александр Андреевич Дворский; Алина Павловна Жужнева; Юрий Васильевич Галанин
Original assignee: Предприятие П/Я В-2038
Priority date: 1984-08-01
Filing date: 1984-08-01
Publication date: 1986-02-23

Description

Изобретение относитс к технологии оптического производства и может быть использовано в оптшсо ме- ханической и электронн-ой промышленности , например, при изготовлении трубок повышенной точности из свин- цовосиликатного стекла дл микроканальных пластин (МПК).The invention relates to optical manufacturing technology and can be used in the optical and mechanical and electronic industries, for example, in the manufacture of high precision tubes of lead silicate glass for microchannel plates (MPC).

Цель изобретени . - повышение скорости обработки.The purpose of the invention. - increase processing speed.

Цель достигаетс за счет того, что производ т обработку предварительно задержанных в этиловом, спирте в течение 0,5-3 ч оптических деталей из стекла следующего состава ,: SiO 40,2J 3,5; BaO 10,, РЪО 41; NajO 7, в растворе фтористоводородной кислоты. Врем травлени измер ют секундомером с точностью до 1 с, съем контролир; тот индикатором часового типа с точностью 1 мкм оThe goal is achieved due to the fact that the optical components made of glass of the following composition, preliminarily detained in ethyl alcohol for 0.5-3 hours, are processed:: SiO 40.2 J 3.5; BaO 10 ,, РЪО 41; NajO 7, in a solution of hydrofluoric acid. The etching time is measured with a stopwatch with an accuracy of 1 s, removal is controlled; the one with a dial gauge with an accuracy of 1 micron

Результаты сравнительных испытаний при обработке оптических деталей приведены в таблице .The results of comparative tests in the processing of optical parts are shown in the table.

Предлагаемый способ позвол ет повысить скорость травлени за счет того, что предварительно пере.д травлением оптические детали выдерживают в этиловом спирте в течение 0.5-3 ч.The proposed method allows to increase the etching rate due to the fact that the optical components are preliminarily etched in ethanol for 0.5–3 h.

Неорганические стекла относ тс к достаточно инертным и химически устойчивым материалам. Однако, при известньпс услови х про вл етс по- вьппенна физико-химическа аи:тивность поверхностных слоев стеклаj заложенна в их природе Стекло в результа- .те своеобрази структурно-химического состо ни поверхности отличаетс повьппейной свободной поЕ;ерх- ностной энергией, в св зи с чем по12129972Inorganic glasses are relatively inert and chemically resistant materials. However, under known conditions, the physicochemical ai is manifested: the activity of the surface layers of glass is inherent in their nature. Glass as a result of the peculiarity of the structural and chemical state of the surface is characterized by a surfactant free surface energy. zi with what12129972

верхность такого материала про вл ет склонность к адсорбции различных реагентов, особенно поверхностно- активных. Кроме того, стекло, обычноThe surface of such a material tends to adsorb various reagents, especially surface active agents. In addition, glass is usually

5 содержащее щелочные компоненты, в той или иной мере гидролизуетс с образованием на поверхности силаноль- ных 5 SiOH и других реакционноспоб- ных групп, стимулирующих по вление5, which contains alkaline components, to some extent hydrolyzes with the formation on the surface of silanol 5 SiOH and other reactive groups that stimulate the appearance

10 на поверхности энергетически не- уравновейенных хемосорбционных центров. Следовательно, химическа обработка поверхности стекла основываетс на сложной совокупности в15 ланий, обусловленных физико-хи и- ческими превращенршми.10 on the surface of energetically unbalanced chemisorption centers. Consequently, the chemical treatment of the surface of the glass is based on a complex set of considerations due to the physicochemical transformations.

По предлагаемому способу молеку- . ты спирта, проника в микротрещины поверхностного сло стекла и одно20 временно вл сь растворителем дл солей, образовавшихс на поверхности стекла в результате травлени , способствуют более интенсивной обработке Е растворе HF из-за растворе25 ни солевого сло .According to the proposed method, the molecule is. Alcohol, penetration into the microcracks of the surface layer of glass and at the same time being a solvent for salts formed on the surface of the glass as a result of etching, contribute to more intensive treatment of E with the HF solution due to the solution25 of the salt layer.

30thirty

3535

4040

При травлении за счет раз1ыва св зей кремнеземного остова стекла (SiOj) температура на ювенильной поверхности оптических материалов повышаетс :л этиловый спирт, на.ход щийс в порах микротрещин,, способствует, за счет растворени , отслаиванию соле- зого сло от поверхности детали, что приводит к повышению скорости травлени , а следовательно, и производительности обработки. Кроме того, :ари высоких скорост х травлени не про вл етс структурна неодно- рощгость оптических материалов и качество обработанной поверхности при этом улучшаетс .When etching due to the expansion of the bonds of the silica core of glass (SiOj), the temperature on the juvenile surface of optical materials increases: l ethyl alcohol, which is in the pores of microcracks, contributes, due to dissolution, to peeling of the salt layer from the part surface leads to an increase in the rate of etching, and hence the processing performance. In addition, ari high etching rates do not exhibit structural inhomogeneity of optical materials, and the quality of the treated surface is improved.

Claims

METHOD FOR PROCESSING OPTICAL DETAILS by etching in hydrofluoric acid, characterized in that, in order to increase the processing speed, before etching, the parts are kept in ethanol for 0.5-3 hours.

Q €

Nd

ND ζ © ς ©