SU1205067A1 - Способ определени диэлектрической проницаемости пластин - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к электроизерени м и может быть использовано л  определени  анизотропии диэлектрической проницаемости пластин.

Целью изобретени   вл етс  повьшш- ние точности, обусловленное измерением диэлектрической проницаемости в перпендикул рном и параллельном направлени х к поверхности диэлектрических ujiacTHH.

На чертеже приведена схема реализации способа определени  диэлектрической проницаемости.

На схеме обозначены нижний 1 и верхний 2 электроды, исследуема  пластина 3, замкнутые линии зазоров 4 на верхней металлизированной поверхности исследуемой пластины, обасти 5 металлизации верхней поверхности исследуемой пластины, металические штыри 6 - 9, измеритель 10 электрической емкости, перемычки 11 между верхним и нижним электродами .

Исследуема  пластина 4 помещена между электродами 1 и 2, причем нижн   металлизированна  поверхность электрически соединена с нижним электродом 1. Замкнутые линии зазоров на верхней металлизированной поверхности исследуемой пластины расположены одна в другой, и кажда  область 5 металлизации подключена к соответствующему металлическому штырю 6, 7, 8 или 9, каждый из которых электрически изолирован от верхнего электрода 2.

Определение диэлектрической проницаемости пластин производ т следующим образом.

Измерителем 10 электрической емкости измер ют емкость С между соединенными между собой металлическими штыр ми 6 - 9 и электродами 1 и 2 .

Металлические штыри 6 и 8 соедин ют с первой клеммой измерител  10 электрической емкости,с второй клеммой при этом соединены металличег ские штыри 7 и 9 и электроды 1 и 2,

Производ т измерение электрической емкости Cj.

Металлические штыри 7 и 9 соедин ют с первой клеммой измерител  10, электрической емкости, второй клеммой при этом соединены штыри 6 и 8 и электроды 1 и 2. Производ т измерение электрической емкости Cj.

По результатам измерений производ т вычисление и по формулам :

нгс с

- сZ ,

h S,

ь ц

( )-с

РиСсШ II)

4EH(ctV.Jf)li:ti

тг

e.(cth 1)

где , h S . f .Scis толщина исследуемой пластины 4, см:

величина воздушного зазора между верхней металлизированной поверхностью исследуемой пластины 4 и верхним электродом 2,см: площадь первой группы областей верхней металлизированной поверхности, соединенных со штыр ми 6 и 8, 0,0886; длина всех контуров зазоров в верхней металлизированной поверхности исследуемого образца,см: величина зазора см.

CMJ

Чтобы при измерении емкости не искажать структуру электрического пол  между верхней поверхностью исследуемого образца и электродом 2, металлические штыри ввод т через отверсти  В этом электроде нормально к его поверхности. Число замкнутых линий зазоров может быть любым, например больше двух.

7 в

Редактор А. Лежнина

Составитель Н.Кринов Техред С.Мигунова

8523/47

Тираж 747Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектна , 4

Корректор Г.Решетник

Claims (1)

1. СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ ПЛАСТИН путем измерения емкости между предварительно металлизированными сверху и снизу поверхностями исследуемого образца, отличающий- с я тем, что, с целью повышения точности, в верхней металлизированной поверхности делают зазоры, образующие замкнутые линии, охватывающие одна другую, над образцом на фиксированном расстоянии от него размещают электрод, соединяют его с нижней металлизированной поверхностью, соединяют между собой все области верхней металлизированной поверхности, измеряют электрическую емкость СЦ между верхней и нижней металлизированными поверхностями, соединяют области верхней металлизированной поверхности через одну, образуя две группы электродов, соединенных между собой, соединяют вторую группу, содержащую область металлизированной поверхности, выходящей на край исследуемого образца, с нижней металлизированной поверхностью, измеряют электрическую емкость С^между первой группой областей верхней металлизированной поверхности и нижней металлизированной поверхностью, отсоединяют вторую группу областей от нижней металлизированной поверхности, соединяют с нижней металлизированной поверхностью первую группу областей, измеряют электрическую емкость Cj между второй группой областей и нижней металлизированной поверхностью и вычисляют величины диэлектрической проницаемости £ в поперечном и продольном направлениях к поверхности образца по формулам ‘e.-HMthWE'i МсЫ И) где к £₀= ^Piтолщина исследуемого образца, см;

   величина воздушного зазора между верхней металлизированной поверхностью исследуемого образца и электродом, см;

   площадь первой группы областей верхней металлизированной поверхности исследуемого образца, см;

   0,0886:

   длина всех контуров зазоров в верхней металлизированной поверхности исследуемого образца, см;

   величина разора, см.

   12.05067