SU1195319A1 - Проекционный объектив с увеличением-1/5х - Google Patents

Abstract

ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ - 1/5 , включающий восемь компонентов и диафрагму,второй компонент из которых отрицательный третий и четвертый - дво ковыпуклые линзы, п тый - положительный, а сед мой - двусклеенный мениск, отли чающийс  тем, что, с целью снижени  величины остаточной дисто сии, в него дополнительно введены отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета и jpax:пanoжeнный перед первым компонен том на рассто нии 0,047 фокусного ра сто ни  объектива, и положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, склеенной из отрицательного и положительного менисков, и расположённый за восьмым компонентом на рассто нии 0,35 фокусного рассто ни  обьектива, при этом первьш компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, второй мениск обращенный выпуклостью к плоскости предмета, четвертый - оди ночна  линза, п тый - мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета , шестой - отрицательный мениск, обращенный вьшуклостью к плоскости предмета, склеенный из положительного и отрицательного менисков, седьмой - отрицательный, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, и склеенный из дво ковогнутой и дво ковыпуклой линз, а восьмой - дво ковыпукла  линза, причем диафрагма расположена за п тым компонентом на рассто нии объектива. 78 9 Ю И /г 13

Description

Изобретение относитс  к оптическому приборостроению, а именно к оптическим системам, и может быть применено в микроэлектронике в проекционных системах экспонировани  дд  изготовлени  полупроводниковых приборов .

Цель изобретени  - снижение величины остаточной дисторсии.

На чертеже изображена схема объектива .

Объектив состоит из тринадцати линз, собранных в дес ть компонен- тов.

Первый компонент представл ет собой отрицательный мениск 1, второй . компонент - отрицательный мениск 2, третий компонент отрицательный мениск 3, четвертый компонент - дво ковьтукла  линза 4, п тый компонент дво ковыпукла  линза 5, шестой компонент - положительный мениск 6,седьмой компонент- отрицательный мениск, склеенный из положительного 7 и отрицательного 8менисков,восьмой компонент - отрицательный мениск, склеен ный из дво ковогнутой 9 и дво ковыпуклой 10 линз, дев тый компонент дво ковыпукла  линза 11, дес тый компонент - положительный мениск, склеенный из отрицательного 12 и положительного 13 менисков.

ПредлагаемьвЧ объектив ахроматизован и имеет высокую степень коррекции аберраций дл  436 ± 5 нм. Данный объектив имеет увеличение 1/5 , .апертуру 0,25, поле зрени  2у 24 мм, фокусное рассто ние F 105,83 мм, величина остаточной дисторсии не превьшает 0,08/Ом.

Claims (1)

1. ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ — 1 /5* , включающий восемь компонентов и диафрагму,второй компонент из которых отрицательный, третий и четвертый - двояковыпуклые линзы, пятый - положительный, а седьмой - двусклеенный мениск, отличающийся тем, что, с целью снижения величины остаточной дисторсии, в него дополнительно введены отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета и расположенный перед первым компонентом на расстоянии 0,047 фокусного рас-.

   стояния объектива, и положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, склеенной из отрицательного и положительного менисков, и расположённый за восьмым компонентом на расстоянии 0,35 фокусного расстояния объектива, при этом первый компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, второй мениск обращенный выпуклостью к плоскости предмета, четвертый - одиночная линза, пятый - мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, шестой - отрицательный мениск, q обращенный выпуклостью к плоскости предмета, склеенный из положительного и отрицательного менисков, седьмой - отрицательный, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, и склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, а восьмой - двояковыпуклая линза, причем диафрагма расположена за пятым компонентом на расстоянии объектива.

   S