SU1190244A1 - Attachment to x-ray goniometer - Google Patents
Attachment to x-ray goniometer Download PDFInfo
- Publication number
- SU1190244A1 SU1190244A1 SU843703290A SU3703290A SU1190244A1 SU 1190244 A1 SU1190244 A1 SU 1190244A1 SU 843703290 A SU843703290 A SU 843703290A SU 3703290 A SU3703290 A SU 3703290A SU 1190244 A1 SU1190244 A1 SU 1190244A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- sleeve
- horizontal axis
- sample holder
- attachment
- goniometer
- Prior art date
Links
Abstract
ПРИСТАВКА К РЕНТГЕНОВСКОМУ ГОНИОМЕТРУ, включающа основание с посадочным местом дл монтажа приставки в рентгеновском гониометре, выполненное в виде диска, на котором смонтирована, с возможностью поступательного перемещени платформа в виде угловой рамы, вертикальна полка которой несет механизм вращени держател образца вокруг горизонтальной оси, перпендикул рной вертикальной оси гониометра, состо щий из втулки с фланцем, снаб-женной черв чным колесом и закреп .ленной в обойме подшипника, установленного в вертикальной полке рамы с возможностью вращени .втулки вокруг горизонтальной оси, черв чной шестерни , и привода, о т л и ча ющ а с тем, что, с целью повышени точности контрол монокристал- лов с развитой блочной структурой, . на фланце втулки со стороны, обращенной в противоположное от гориi зонтальной оси направление, смонтирована посредством горизонтальных (Л стоек платформа в виде диска,несуща механизм поступательного перемещени держател образца, помещенного внутри втулки, в двух направле.ни х , перпендикул рных горизонталь- ной оси втулки и вдоль поворота держател образца в двух плос о кост х, параллельных горизонтальной оси втулки, вокруг осей, перпенди1C кул рных этим плоскост м. 4i 4ikA X-RAY GONIOMETER ATTACHMENT, including a base with a seat for mounting an attachment in an X-ray goniometer, made in the form of a disk on which a platform in the form of an angular frame is mounted with the possibility of translational movement, the vertical shelf of which carries the mechanism of the sample holder rotation around the horizontal axis perpendicular to the vertical axis of the goniometer, consisting of a sleeve with a flange fitted with a worm gear and secured in a bearing cage mounted in a vertical shelf frames with the possibility of rotation of the sleeve around the horizontal axis, the worm gear, and the drive, which is so that, in order to improve the accuracy of control of single crystals with a developed block structure,. on the flange of the sleeve, on the side facing the direction opposite to the horizontal axis, mounted by means of horizontal ones (L supports a platform in the form of a disk, carrying the mechanism of translational movement of the sample holder placed inside the sleeve in two directions perpendicular to the horizontal axis sleeves and along the rotation of the sample holder in two planes, parallel to the horizontal axis of the sleeve, around the axes perpendicular to 1C are these planes m. 4i 4ik
Description
1one
Изобретение относитс к области рентгеновского приборостроени , в частности к устройствам дл исследовани монокристаллов и контрол полупроводниковых изделий методами рентгеноструктурного анализа.The invention relates to the field of X-ray instrumentation, in particular, devices for studying single crystals and controlling semiconductor products by X-ray diffraction methods.
Цель изобретени - повышение точности контрол монокристаллов с .развитой блочной структурой.The purpose of the invention is to improve the accuracy of control of single crystals with a developed block structure.
На фиг. 1 схематически представлена приставка, общий вид; на фиг. 2 - платформа, монтируема на втулке приставки.FIG. 1 shows a schematic prefix, a general view; in fig. 2 - platform, mounted on the prefix bush.
Приставка к рентгеновскому гониометру содержит основание 1, имеющее форму диска и снабженное снизу посадочной втулкой дл установки приставки в гониометре. На основании 1 установлена рама 2, имеюща угловую форму. Горизонтальна полка 3 рамы опираетс на основание 1 и может перемещатьс относительно него в цел х юстировки посредством винтового, черв чного или любого другого вида привода, В вертикальной полке 4 рамы 2 выполнено сквозное отверстие, в котором закреплен подшипник. Во внутреннюю обойму подшипника вставлена втулка 5, на которой посажена ведома шестерн 6 привода и выполнен фланец 7. Втулка 5 установлена в полке 4 так, что фланец 7 находитс за полкой, т.е. вне угла рамы 2. На корпусе .рамы 2 смонтирован привод 8, ведзтца ulecтерн 9 которого находитс в зацеплении с шестерней 6 на втулке, обеспечивающий вращение втулки 5 вокруг горизонтальной оси перпендикул рной к вертикальной оси. приставки. К фланцу 7 жестко прикреплены стержни 10 параллельно оси втулки, а на их противоположных концах закреплена платформа 11. На последней монтируетс устройство 12 типа гониометрической головки, обеспечивающее пространственную ориентацию и перемещение в трех направлени х держател 13 образца, который введен внутрь втулки 5. Устройство 12 состоит из двух дуг, установленных во взаимно перпендикул рных плоскост х, и привода перемещени держател в двух направлени х, перпендикул рных оси втулки, и вдоль этой оси. Держатель 13, несущий образец, выполнен съемным, а его форма и размеры варьируютс The X-ray goniometer attachment contains a base 1, which has a disk shape and is fitted with a bottom sleeve for mounting the attachment in the goniometer. On base 1 a frame 2 is installed, having an angular shape. The horizontal shelf 3 of the frame rests on the base 1 and can be moved relative to it for alignment by means of a screw, worm gear or any other type of drive. In the vertical shelf 4 of the frame 2 there is a through hole in which the bearing is fixed. A sleeve 5 is inserted into the bearing inner race, on which the drive gear 6 is mounted and the flange 7 is mounted. The sleeve 5 is installed in the shelf 4 so that the flange 7 is behind the shelf, i.e. outside the corner of frame 2. A frame 8 is mounted on the frame 2 of the frame. The driver has an interface 9 with a gear 6 on the hub, which allows the hub 5 to rotate about a horizontal axis perpendicular to the vertical axis. prefixes. The flanges 7 are rigidly attached to the rods 10 parallel to the axis of the sleeve, and a platform 11 is fixed at their opposite ends. A device 12 of the goniometric head type is mounted on the latter, providing spatial orientation and movement in three directions of the sample holder 13, which is inserted inside the sleeve 5. Device 12 consists of two arcs installed in mutually perpendicular planes, and a drive for moving the holder in two directions, perpendicular to the axis of the sleeve, and along this axis. The sample carrier 13 is removable, and its shape and dimensions vary.
902442902442
в зависимости от размеров контролируемого образца.depending on the size of the test sample.
. Приставка работает следующим образом. 5 В держателе 13 закрепл етс контролируемьш монокристалл, ориентировка которого предварительно . установлена и выведена таким образом , чтобы нормаль отражающей плос кости, используемой при рентгеносъемке , после установки держател 13 в приставке была приблизительно параллельна оси втулки. Детектор рентгеновских лучей с полностью открытым входным окном устанавливаетс под двойным брэгговским углом к направлению первичного пучка дл выбранного отражени . Включают источник рентгеновских лучей, направл . The prefix works as follows. 5 A monocrystal is fixed in the holder 13, the orientation of which is tentative. installed and derived in such a way that the normal of the reflecting plane used for X-ray photography, after installing the holder 13 in the attachment, is approximately parallel to the axis of the sleeve. An X-ray detector with a fully open entrance window is set at a double Bragg angle to the direction of the primary beam for the selected reflection. Include x-ray source,
0 -пучок на образец и производ одновременное быстрое вращение втулки (50-60 об/мин) и медленный поворот приставки вокруг оси гониометра (f угл.град./мин), вывод т монокристалл в отражающее положение, останов-ив оба вращени при достижении максимума интенсивности дифрагированных лучей, регистрируемых -детектором .0 —beam per sample and simultaneous rapid rotation of the sleeve (50–60 rpm) and slow rotation of the attachment around the axis of the goniometer (f ang. Hail / min), the single crystal is brought into the reflecting position, stopping in both maximum intensity of the diffracted rays recorded by the detector.
Приставка экспериментально применима к контролю твердых растворов кремний-германий, образующихс при напайке кристаллов к основанию корпуса. На блочных монокристаллахThe attachment is experimentally applicable to the control of silicon-germanium solid solutions formed during the soldering of crystals to the base of the housing. On block monocrystals
кремни с примесью германи приставка позвол ет установить образцы в точное отражающее положение дл измерени интегральной интенсивности отражени (222) , особенно чувствительнрго к введению .примеси вA germanium impurity silicon prefix allows samples to be placed in an exact reflecting position to measure the integral reflection intensity (222), which is especially sensitive to the introduction of impurities in
кристаллическую решетку. В результате экспериментально измерены значени структурного фактора 1,51-1,95 и по ним определено содержание германи в твердом растворе 1,5-24,0 ат.%.crystal lattice. As a result, the structural factor values of 1.51-1.95 were experimentally measured and the content of germanium in the solid solution was determined from 1.5 to 24.0 at.%.
Отражение (222) дл наиболее распространенных в электронной технике кристаллов кремни и германи Reflection (222) for silicon and germanium crystals most widely used in electronics
вл етс запрещенным, но в р де случаев его измерение наиболее эффективно дл решени технологических задач, предлагаема приставка позвол ет определить интегральнзто интенсивность и структурный фактор этого отражени , что невозможно при известных конструкци х гониометрического устройства.is forbidden, but in a number of cases its measurement is most effective for solving technological problems, the proposed prefix allows determining the integral intensity and the structural factor of this reflection, which is impossible with the known designs of the goniometric device.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU843703290A SU1190244A1 (en) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | Attachment to x-ray goniometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU843703290A SU1190244A1 (en) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | Attachment to x-ray goniometer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1190244A1 true SU1190244A1 (en) | 1985-11-07 |
Family
ID=21104502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU843703290A SU1190244A1 (en) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | Attachment to x-ray goniometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1190244A1 (en) |
-
1984
- 1984-02-22 SU SU843703290A patent/SU1190244A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Хейкер Д.М. Рентгеновска дифрактометри монокристаллов. Л.: Машиностроение, 1973, с. 105-106. Авторское свидетельство СССР № 457018, кл. G 01 N 23/20, 1972. Гониометр ГУР-5. Инструкци по пользованию. Л.: ЛОМО, 1964, с. 13-14. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4705016A (en) | Precision device for reducing errors attributed to temperature change reduced | |
| Satow et al. | Horizontal‐type four‐circle diffractometer station of the vertical wiggler beamline at the Photon Factory | |
| SU1190244A1 (en) | Attachment to x-ray goniometer | |
| Jenichen et al. | RTK 2-a double-crystal x-ray topographic camera applying new principles | |
| US4199678A (en) | Asymmetric texture sensitive X-ray powder diffractometer | |
| US2928945A (en) | Diffractometers | |
| US5459770A (en) | X-ray diffractometer | |
| Kaplow et al. | X‐Ray Diffractometer for the Study of Liquid Structures | |
| US4475225A (en) | Measuring instrument for X-ray structure determinations of liquid or amorphous materials | |
| JPH0933456A (en) | Method for measuring orientation of ingot of single crystal | |
| Heaton et al. | Neutron diffraction cryo-orienter | |
| JPH112614A (en) | X-ray measuring method of single crystal axial orientation and device | |
| GB2120784A (en) | Chemical analysis | |
| JPH08136698A (en) | Arc slider driving type goniometer and solid angle diffraction meter | |
| SU888018A1 (en) | Device for investigating friction properties of materials | |
| JPS62214335A (en) | Total reflection fluorescent exafs device | |
| Fukumori et al. | Precision Lattice Spacing Measurements Using X-Ray Cu K α Doublet | |
| SU1312459A1 (en) | Device for radiographic studying of crystal substances | |
| SU442399A1 (en) | X-ray attachment to the electron microscope | |
| JP2567840B2 (en) | Crystal orientation determination device | |
| JPH01270650A (en) | Observing apparatus of pole figure of x-ray diffraction of thin-film sample | |
| JPS60211342A (en) | X-ray two crystal diffraction device | |
| Conlon | Refractive Index Monitor Employing Fresnel's Principle | |
| JPH0325742B2 (en) | ||
| SU873069A1 (en) | Diffractometer for investigating crystal material thin structure |