Изобретение относитс к полым сверлам дл кольцевого сверлени и может быть использовано дл сверлени неметаллических материалов. Цель изобретени - повышение качестна обработки поверхности отвер сти при скоростном резании полупро водниковых: пластин путем поочередно го размещени цельных режущих элементов с режущими элементами с пазами . На фиг. 1 - показано сверло с цельными режущими элементами, чередующимис с элементами с кольцевыми па зами, вид сбоку; на фиг. 2 - то же, с режущими элементами с пазами и цельными элементами уменьшенной тол щины; на фиг. 3 - сечение А-А на фиг. 1; на фиг. А - сечение Б-Б на фиг. 2. Сверло выполнено в виде стержневого корпуса 1 с алмазными режущими элементами 2-4, расположенными со стороны торца. Режущие элементы 2 выполнены цельными с шириной режуще части, равной ширине реза, а элемен ты 3 - равными ширине реза и с пазо 5, высота которого больше его ширин в 5-10 раз, а толщина стенок 6 равн 0,2-0,3 ширины этого элемента. Паз 5 выгюлнен кольцевым и открыт с стороны торца. Центр радиусов стено кольцевого паза расположен на оси вращени сверла. Ширина цельных режущих элементов 4 выполнена равно 0,6-0,8 ширины режущих элементов 3 с пазами 5 и расположена с ними на одной окружности симметрично. Сверло работает следующим образом . Сверлу сообщают вращательное дни жение и осевую подачу на обрабатыва емое изделие. Инструмент режущими элементами вышлифовывает в изделии кольцевую канавку, соответствующую профилю инструмента, с последующим образованием отверсти в обрабатыва мом изделии и получении высверливае мого издели (керна). I При работе в контакт с обрабатываемой гговерхностью вступают одновременно все режущие элементы. Цель ныи режущий элемент 2 с шириной, равной ширине реза, производит резку материала, величина съема которо определ етс (при заданной частоте вращени инструмента) значением подачи . Радиальные усили резани , .действующие со стороны высверливаемого отверсти и высверливаемого издели ( керна). и Рд2 противонаправлены и компенсируют одно другое, реализу сь в сжатии сло материала, расположенного в центральной части режущего инструмента и в вертикальной составл ющей Р (Ру + Ру ), выжимающей режушлй элемент из образуемой канавки. При этом происходит интенсивное разрутаение обрабатываемого материала, измельчение, т.е. формообразование канавки. Режущий элемент 3, выполненный с открытым со стороны режущего торца кольцевым пазом, с центром в оси вращени сверла, представл ет собой режущий упругий в радиальном направлении элемент. Высота этого паза больше его ширины в раз, а толщина образуемых стенок 0,2-0,3 ширины этого элемента. При резании этим режущим элементом радиальные усили резани Р, и Ру со стороны высверливаемого отверсти и высверливаемого издели (керна) на стенки режущего элемента реализуютс дополнительно в упругой деформации (изгибе) стенокс плечом за счет действи радиальных составл ющих Р( и Р, . При этом величина изгибающего момента равна М.Р , h; Mi Рх4- h. В результате упругого смещени стенок величина съема материала определ етс , кроме осевой подачи, еще степенью этого смещени (изгиба ). При этом, вследствие меньших контактных давлений в зоне резани на стенки, глубина внедрени алмазных зерен в них снижаетс . В итоге происходит шлифование с меньшими нарушени ми структуры материала, аналогично процессу шлифовани инструментом с алмазным порошком меньшей зернистости. Режущий элемент 4, выполненньй равным 0,6-0,8 ширины режущих элементов с пазами и расположенный с ними на одной оси, испытывает осевую нагрузку, выраженную вертикальны1-1И составл ющими Ру.., Р, +Pv Ради 5.S 5 J алы-1ые усили резани при резке этим элементом отсутствуют. Чередующиес элементы на сверле обеспечивают последовательно черновую обработку жестким элементом, производ щим формирование поверхностей и чистовую обработку (по типу выхаживани ) упругим элементом поверхностей , образованных ранее. В результате процесса резани предлагаемым инструментом, сочетаютс пре мущества упругой и жесткой схем шлифовани . 1The invention relates to hollow drills for hole drilling and can be used for drilling non-metallic materials. The purpose of the invention is to improve the quality of the surface treatment of the hole during high-speed cutting of semiconductor plates by alternately placing solid cutting elements with grooved cutting elements. FIG. 1 shows a drill with one-piece cutting elements alternating with elements with annular sleeves, side view; in fig. 2 - the same, with cutting elements with grooves and integral elements of reduced thickness; in fig. 3 is a section A-A in FIG. one; in fig. A is a section B-B in FIG. 2. The drill is made in the form of a rod body 1 with diamond cutting elements 2-4, located on the side of the end. The cutting elements 2 are made intact with a cutting width equal to the width of the cut, and the elements 3 are equal to the cutting width and with a groove 5 whose height is 5–10 times as wide as its width, and the wall thickness 6 is 0.2-0.3 width of this item. The groove 5 is annular and open from the end. The center of the radii of the wall of the annular groove is located on the axis of rotation of the drill. The width of the solid cutting elements 4 is made equal to 0.6-0.8 width of the cutting elements 3 with the grooves 5 and is located with them on the same circumference symmetrically. The drill works as follows. The drill is informed of the rotational date and axial flow to the workpiece. The tool, using cutting elements, grinds an annular groove in the product corresponding to the profile of the tool, with the subsequent formation of a hole in the workpiece and obtaining a drilled product (core). I When working, all cutting elements come into contact with the machined surface at the same time. The aim of the cutting element 2, with a width equal to the width of the cut, is cutting the material, the amount of removal of which is determined (at a given frequency of tool rotation) by the feed value. Radial cutting forces acting on the side of the hole being drilled and the product being drilled (core). and Rd2 are oppositely directed and compensate for one another, realizing in compression a layer of material located in the central part of the cutting tool and in the vertical component P (Ru + Ru), squeezing the cutting element out of the groove formed. In this case, intensive destruction of the material being processed occurs, grinding, i.e. groove formation. The cutting element 3, which is formed with an annular groove open on the side of the cutting end, with its center in the axis of rotation of the drill, is a radially elastic cutting element. The height of this groove is greater than its width by a factor, and the thickness of the walls formed is 0.2-0.3 the width of this element. When this cutting element is cut, the radial cutting forces P, and Ru from the side of the hole being drilled and the product being drilled (core) on the walls of the cutting element are additionally realized in elastic deformation (bending) of the stenox by the shoulder due to the action of the radial components P (and P,. the magnitude of the bending moment is equal to M.P, h; Mi Px4- h. As a result of the elastic displacement of the walls, the material removal rate is determined, in addition to the axial feed, by the degree of this displacement (bending). In this case, due to lower contact pressures in the zone p on the walls, the depth of introduction of diamond grains in them decreases. As a result, grinding occurs with less disruption of the structure of the material, similar to the process of grinding with a tool with a diamond powder of a smaller grain size. Cutting element 4 is equal to 0.6-0.8 widths of cutting elements with grooves and located with them on the same axis, is subjected to axial load, expressed vertically 1-1and by the components of Ru .., P, + Pv For the sake of 5.S 5 J aly-1e cutting forces when cutting with this element are absent. The alternating elements on the drill sequentially provide a rough treatment with a rigid element that produces surface formation and finishing (as a nursing type) with an elastic element of the surfaces formed earlier. As a result of the cutting process with the proposed tool, the advantages of elastic and rigid grinding schemes are combined. one
%г.2 1864054 Вследствие этого шероховатость обработанной поверхности при использовании предлагаемой конструкции снижаетс в среднем в 1,5 раза по сравнению с шероховатостью обработки поверхности упругим элементом.% d.2 1864054 As a result, the roughness of the treated surface when using the proposed design is reduced by an average of 1.5 times compared with the roughness of surface treatment with an elastic element.
/адрх/ hell
б 5 Фиг.дb 5 Fig.d