Изобретение относитс к устройствам- дл изготовлени дифракционных оптических элементов и может быть использовано в частности при изготовлении дифракционных линз.The invention relates to devices for the manufacture of diffractive optical elements and can be used in particular in the manufacture of diffractive lenses.
Цель изобретени - увеличение производительности путем уменьшени времени экспозиции при повышении разрешающей .способности.The purpose of the invention is to increase productivity by reducing the exposure time with an increase in resolving power.
На чертеже представлена оптическа схема устройства.The drawing shows the optical layout of the device.
Устройство включает источник 1 когерентного излучени , коллимационную систему 2, интерферометр и держатель 3 фотопластины. При э.том нитЧрферометр вьиюлнен в виде склейки плоско-вогнутой4 и плосковыпуклой 5 линз с одинаковыми коэффициепта 1И преломлени . Поверхность 6 склейки представл ет собой параболотд вращени с фокусным рассто нием F. На поверхность 6, а также на плоскую поверхность 7 линзы 5 нанесены полупрозрачные отражающие покрыти . Коэффициенты отражени RI и R 2 покрытий поверхностей 6 и 7 св заны соотношениемThe device includes a coherent radiation source 1, a collimation system 2, an interferometer, and a holder of 3 photoplates. In this case, a nitroferometer is produced in the form of a flat-concave gluing 4 and a flat-convex 5 lenses with the same refractive index 1 and 1. The gluing surface 6 is a parabolt of rotation with a focal distance F. A translucent reflective coating is applied on the surface 6 as well as on the flat surface 7 of the lens 5. The reflection coefficients RI and R 2 of the coatings of surfaces 6 and 7 are related by
где f - заданное фокусное рассто ние дифракционной линзы. Устройство, работает следующим образом1where f is the given focal length of the diffraction lens. The device works as follows1
Излучение от источника 1 поступает в коллимационную систему 2, котора формирует параллельный пучок когерентного света и направл ет его в интерферометр. Часть светового потока проходит сквозь интерферометр на фотопластину 3 без изменени формы фронта волны (плоска волна), а друга часть, отразившись от поверхностей 7 и б, создает сферическую волну. В результате интерференции плоской и сферической волн формируетс рисунок дифракционной ЛИНЗЫ) который регистрируетс фотопластиной 3 Соблюдение указанного соотношени обеспечивает равенство освещенностей, соответствующих плоской и сферическрй волнам.The radiation from source 1 enters the collimation system 2, which forms a parallel beam of coherent light and directs it to the interferometer. Part of the light flux passes through the interferometer onto the photoplate 3 without changing the shape of the wave front (plane wave), and the other part, reflected from surfaces 7 and b, creates a spherical wave. As a result of the interference of plane and spherical waves, a pattern of a diffraction LENS is formed) which is recorded by the photoplate 3. Observance of this ratio ensures equality of illumination corresponding to plane and spherical waves.