SU1178962A2 - Диффузионный насос - Google Patents

Диффузионный насос Download PDF

Info

Publication number
SU1178962A2
SU1178962A2 SU843712267A SU3712267A SU1178962A2 SU 1178962 A2 SU1178962 A2 SU 1178962A2 SU 843712267 A SU843712267 A SU 843712267A SU 3712267 A SU3712267 A SU 3712267A SU 1178962 A2 SU1178962 A2 SU 1178962A2
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
pump
diffusion pump
valve
heater
pipe
Prior art date
Application number
SU843712267A
Other languages
English (en)
Inventor
Семен Григорьевич Аппель
Ирина Васильевна Вишнякова
Лев Николаевич Трофимов
Original Assignee
Appel Semen G
Vishnyakova Irina V
Trofimov Lev N
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Appel Semen G, Vishnyakova Irina V, Trofimov Lev N filed Critical Appel Semen G
Priority to SU843712267A priority Critical patent/SU1178962A2/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1178962A2 publication Critical patent/SU1178962A2/ru

Links

Landscapes

  • Furnace Details (AREA)
  • Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)

Abstract

ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС по авт. св. № 981707, отличающийс  тем, что, с целью повышени  надежности работы, каналы днища при помощи трубопровода с отсечным клапаном подключены к форвакуумному патрубку насоса.

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике, а именно к устройству диффузионных вакуумных насосов и  вл етс  дополнительным к авт. св. № 98W07.5
Цель изобретени  - повьшение надежности работы насоса.
На чертеже представлен насос, продольный разрез.
Диффузионный насос содержит кор- О пус 1 с форвакуумным патрубком 2, расположенньй р корпусе пооси паропровод 3 и нагреватель 4, размещенный в каналах 5, вьтолненных в днище 6 корпуса 1 и имеющих в стенках полу- 15 цилиндрические канавки 7, на- внутренних поверхност х которых размещена полимерна  пленка 8 с. металлическим покрытием, отражающим инфракрасное излучение нагревател  4, причем кана-20 лы 5 днища 6 при помощи трубопровода 9 с отсечным клапаном 10 подключены к форвакуумному патрубку 2 насоса.
Насос работает следующим образом.
Предварительно полость насоса 25 вакуумируют внещним форвакуумным насосом через патрубок 2 до остаточного
давлени  пор дка рт.ст. При этом отсечной клапан 10 открыт, и одновременно с насосом вакуумируетс  полость, образованна  каналами 5 днища 6. Затем клапан 10 закрываетс  и включаетс  нагреватель 4, который нагревает рабочую жидкость насоса до температуры кипени . Пары рабочей жидкости по паропроводу 3 поднимаютс  к соплам, откуда истекают в виде сверхзвуковой струи, захватывающей молекулы откачиваемого газа и увлекающей их в сторону откачки. Пары конденсируютс  на стенках охлаждаемого корпуса 1, а молекулы откачиваемого газа удал ютс  из полости насоса через форвакуумный патрубок 2.
ПоБЬшение надежности работы насоса обусловлено увеличением долговечности нагревател , который в процессе работы раскал етс  и его инфракрасное излучениеj отража сь от металли ческого покрыти  пленки 8, нагревает жидкость в насосе. Отсутствие воздуха в каналах днища снижает окисление нагревател  при высокой температуре, продлевает срок его службы.

Claims (1)

  1. ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС по авт. св. № 981707, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы, каналы днища при помощи трубопровода с отсечным клапаном подключены к форвакуумному патрубку насоса.
    SU,.., 1178962
    I и
SU843712267A 1984-03-20 1984-03-20 Диффузионный насос SU1178962A2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843712267A SU1178962A2 (ru) 1984-03-20 1984-03-20 Диффузионный насос

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843712267A SU1178962A2 (ru) 1984-03-20 1984-03-20 Диффузионный насос

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU981707 Addition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1178962A2 true SU1178962A2 (ru) 1985-09-15

Family

ID=21107974

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843712267A SU1178962A2 (ru) 1984-03-20 1984-03-20 Диффузионный насос

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1178962A2 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 981707, кл. F 04 F 9/00, 1981. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1178962A2 (ru) Диффузионный насос
US3464223A (en) Trap pump for vacuum system
SU1523714A1 (ru) Вакуумна ловушка
US2608343A (en) Vacuum pump
SE8604478L (sv) Kryopumpar
SU1323747A1 (ru) Центробежный насос
SU1525343A1 (ru) Диффузионный насос
RU2786535C1 (ru) Диффузионный насос
SU573614A2 (ru) Диффузионный насос
US3442440A (en) Diffusion pump
SU1700285A1 (ru) Пароструйный вакуумный насос
SU1435852A1 (ru) Фланцевое соединение паромасл ного высоковакуумного насоса
SU1629630A1 (ru) Вакуумный пароструйный насос
US1013499A (en) Condenser or pump.
EP0222233A3 (en) Multistage centrifugal pump for the transport of liquid gas
SU879054A1 (ru) Способ защиты высоковакуумных систем и устройство дл его осуществлени
SU1643808A1 (ru) Паровод ной вакуумный насос
RU1827442C (ru) Пароструйный вакуумный насос
RU1800141C (ru) Вакуумный пароструйный насос
SU989168A1 (ru) Пароструйный вакуумный насос
SU1252561A1 (ru) Струйный вакуумный насос
SU1462912A1 (ru) Форвакуумна криогенна ловушка
SU840506A1 (ru) Диффузионный вакуумный насос
SU1435807A1 (ru) Насос с тепловым приводом
RU1042397C (ru) Диффузионный вакуумный насос