SU117359A1

SU117359A1 - Vacuum Coater

Info

Publication number: SU117359A1
Application number: SU590973A
Authority: SU
Inventors: Б.Д. Поволоцкий
Original assignee: Б.Д. Поволоцкий
Priority date: 1958-01-28
Filing date: 1958-01-28
Publication date: 1958-11-30

Description

В производстве вакуумных покрытий известны вакуумные установки и аппараты, осуществл ющие разовой технологический цикл одного или группы изделий, имеющие низкую производительность и больщой расход испар емых материалов и электроэнергии в силу больших затрат времени на подготовительные и вспомогательные операции (откачка, перезар дка и др.).In the production of vacuum coatings, vacuum units and devices are known that perform a single technological cycle of one or a group of products, which have low productivity and high consumption of evaporating materials and electricity due to the time required for preparatory and auxiliary operations (pumping, recharging, etc.) .

Описываема конструкци вакуумного аппарата дл нанесени покрытий свободна от указанных недостатков, кроме того, она дает возможность вести технологический процесс в непрерывно пульсирующем потоке, снизить расход испар емых материалов, повысить качество покрытий , расщирить технологические возмонсности, а также использовать вакуумные процессы, там где ранее они были нерентабельны.The described design of the vacuum coating apparatus is free from the indicated drawbacks, moreover, it gives an opportunity to conduct the process in a continuously pulsating flow, reduce the consumption of evaporated materials, improve the quality of coatings, extend technological processes, where previously they are were unprofitable.

В основу предлагаемого вакуумного аппарата непрерывного действи положен способ вакуумного шлюзовани , что позвол ет совместить во времени подготовительные операции с процессами нанесени покрытий и других видов обработки. Дл обеспечени способа вакуумного щлюзовани транспортирование обрабатываемых изделий в аппарате, например кассет с листами или заготовками, производитс в непрерывно пульсирующем потоке.The proposed continuous vacuum apparatus is based on a vacuum slugging method, which makes it possible to combine in time preparatory operations with coating processes and other types of processing. In order to provide a method of vacuum sizing, the transportation of the products being processed in the apparatus, for example sheets or blanks cartridges, is carried out in a continuously pulsating flow.

Аппарат представл ет собою серию шлюзовых и рабочих вакуумных камер, расположенных в линию примыкающих друг к другу и сообщающихс между собой. Шлюзовые и рабочие вакуумные камеры имеют индивидуальные откачные посты, снабженные вакуумными насосами, обеспечивающими требуемое разрежение при заданном темпе работы аппарата . Шлюзовые вакуумные камеры отделены от атмосферы и от рабочих вакуумных камер вакуумными заслонками (кранами), а также разделены между собой. Шлюзовые вакуумные камеры имеют минимальгю возможный объем, а рабочие вакуумные камеры - несколько больший с размещением в нем нагревателей, тиглей и других технологических эле№ 117359- 2 -The apparatus is a series of lock and working vacuum chambers arranged in a line adjacent to each other and communicating with each other. Airlock and working vacuum chambers have individual pumping posts equipped with vacuum pumps that provide the required vacuum at a given rate of operation of the apparatus. Airlock vacuum chambers are separated from the atmosphere and from working vacuum chambers by vacuum valves (taps), and also separated from each other. Airlock vacuum chambers have the minimum possible volume, and working vacuum chambers have a slightly larger volume with heaters, crucibles and other technological elements # 117359-2 -

ментов.cops.

В процессе обработки изделий рабочие вакуумные камеры полностью изолированы от атмосферы и в нпх посто нно поддерживаетс требуемое разрежение.During the processing of products, the working vacuum chambers are completely isolated from the atmosphere and the required vacuum is constantly maintained in them.

Дл производства одного или нескольких покрытий одним или несколькими материалами аппарат, соответственно, имеет одну или несколько рабочих вакуумных камер. Дл увеличени производительности или улучшени вакуума аппарат имеет более чем одну ступень шлюзовых вакуумных камер.For the production of one or several coatings with one or several materials, the apparatus, respectively, has one or several working vacuum chambers. In order to increase productivity or improve vacuum, the apparatus has more than one stage of sluice vacuum chambers.

С целью унификации конструкции и возможности монтажа в необходимых комбинаци х, в зависимости от предъ вл емых технологических требований, аппарат состоит из отдельных агрегатов, расположенных в линию и примыкающих друг к другу посредством соединительных сухарей . Дл периодического сообщени крайних шлюзовых вак умных камер с атмосферой они снабжены электромагнитными клапанами впуска воздуха. Дл перекрыти вакуумных насосов от крайних шлюзовых вакуумных камер на врем впуска в них воздуха дл их перезар дки, а также, с целью исключени выброса масла из насосов в шлюзовые и рабочие вакуумные камеры при случайном или аварийном отключении электроэнергии, между ними установлены электромагнитные вакуумные краны.In order to unify the design and the possibility of installation in the necessary combinations, depending on the technological requirements, the device consists of separate units arranged in a line and adjacent to each other by means of connecting crackers. To periodically communicate the extreme airlock of smart cells with the atmosphere, they are equipped with air intake solenoid valves. To shut off the vacuum pumps from the extreme sluice vacuum chambers while air was being drawn into them to recharge them, as well as to prevent oil from escaping pumps into the sluice and working vacuum chambers during an accidental or emergency power outage, electromagnetic vacuum taps were installed between them.

Дл подачи обрабатываемых изделий (кассет) в аппарат и дл приема их из аппарата со стороны крайних шлюзовых вакуумных камер установлены, соответственно, подающие и приемные лотки (агрегаты).For feeding the processed products (cassettes) into the apparatus and for receiving them from the apparatus, supply and receiving trays (aggregates), respectively, are installed on the side of the extreme sluice vacuum chambers.

На чертеже изображена схема вакуумного аппарата дл нанесени покрытий, в частности, висмута, селена и кадми в производстве селеновых выпр мительных элементов на листы размером 1010 X 505 мм или отдельные заготовки в касетах с темпом 90 сек, при вакууме 10 рт. ст.The drawing shows a diagram of a vacuum apparatus for coating, in particular, bismuth, selenium and cadmium in the production of selenium rectifying elements on sheets of 1010 X 505 mm or individual blanks in cassettes with a tempo of 90 seconds, with a vacuum of 10 Hg. Art.

Аппарат состоит из восьми агрегатов: подающего I, шлюзового форвакуумного II, шлюзового высоковакуумного III, двух рабочих высоковакуумных IV и V, щлюзового высоковакуумного VI, шлюзового форвакуумного-VII и приемного VIII. Каждый из агрегатов имеет индивидуальные транспортеры /-8.The device consists of eight units: feed I, airlock fore vacuum II, airlock high vacuum III, two high vacuum workers IV and V, single high vacuum VI, airlock fore vacuum VII and receiving VIII. Each of the units has individual conveyors / -8.

Управление работой аппарата производитс пультом управлени (на чертеже не показан), наход щимс со стороны подающего агрегата /. Автоматическа работа аппарата обеспечиваетс релейной схемой автоматики , программным реле и путевыми контактами //-17. Питание и регулировка тигельного хоз йства 18 производитс отдельным пультом питани (на чертеже не позакан), наход щимс со стороны приемного агрегата VIII.The operation of the apparatus is controlled by a control panel (not shown in the drawing) located on the side of the feeding unit /. The automatic operation of the device is provided by the relay automatics circuit, program relay and ground contacts // - 17. The power and adjustment of the crucible farm 18 is made by a separate power console (not pozakan in the drawing), located on the side of the receiving unit VIII.

С момента, когда во всех шлюзовых и рабочих вакуумных камерах достигнут требуемый вакуум, форвакуумные насосы 21 и высоковакуумные насосы 20 включены и наход тс в рабочем состо нии, открыты все электромагнитные вакуумные краны 22, 23 и 24 и высоковакуумные краны 19, разогрето тигельное хоз йство 18 и процесс покрытий на кассеты с листами в агрегатах IV н V закончен, работа агрегата протекает следующим образом.From the moment when the required vacuum has been reached in all sluice and working vacuum chambers, fore vacuum pumps 21 and high vacuum pumps 20 are turned on and in working condition, all electromagnetic vacuum taps 22, 23 and 24 and high vacuum taps 19 are open, the crucible is heated 18 and the process of coatings on cassettes with sheets in units IV and V is completed, the operation of the unit proceeds as follows.

От программного реле открываютс вакуумные заслонки 27 и 28 и включаютс транспортеры 3-6. Кассеты 31 перемещаютс слева направо на один щаг и, дойд до соответствующих путевых контактов 13-/5отключают транспортеры 3-6 и закрывают вакуумные заслонки 27 и 28. З.атем открываютс вакуумные заслонки 26 к 29 Е включаютс транспортеры 2, 3 VI 6, 7, при этом в высоковакуумных щлюзовых камерах агрегатов /// и IV давление несколько увеличиваетс , достига давление в форвакуумных шлюзовых камерах агрегатов // и VII. Кассеты 31 одновременно перемещаютс на один шаг с агрегата // в агрегат III и с агрегата VI в агрегат VII, дойд до соответствующих путевых контактов 12 и 16, отключают транспортеры 2, 5 и 6, 7 и закрывают вакуумные заслонки 26 и 29. При этом откачные посты агрегатов /// и VI создают в высоковакуумных щлюзовых камерах необходимое разрежение.The software relays open the vacuum shutters 27 and 28 and turn on conveyors 3-6. The cassettes 31 move from left to right by one step and, after reaching the respective track contacts 13- / 5, disconnect the conveyors 3-6 and close the vacuum flaps 27 and 28. Then the vacuum flaps 26 open towards 29 E and the conveyors 2, 3 VI 6, 7 are turned on while the pressure in the high-vacuum, deluxe chambers of the /// and IV units increases slightly, the pressure in the fore-vacuum lock-up chambers of the aggregates // and VII. The cassettes 31 are simultaneously moved one step from the unit // to unit III and from unit VI to unit VII, reach the corresponding track contacts 12 and 16, turn off conveyors 2, 5 and 6, 7 and close vacuum dampers 26 and 29. At the same time pumping posts of aggregates /// and VI create the necessary vacuum in high-vacuum, deluxe chambers.

После закрыти вакуумных заслонок 26 и 29 закрываютс электромагнитные форвакуумные краны 22 R 24 v. открываютс электромагнитные клапаны 9 и /О впуска воздуха. Затем после впуска воздуха в форвакуумные щлюзовые камеры агрегатов // и VII открываютс вакуумные заслонки 25 и 30, включаютс транспортеры /, 2 и 7, 8, одновременно кассеты 31 перемещаютс па один шаг с подающего лотка агрегата/в агрегат II, а из агрегата Vli выход т на приемный лоток агрегата VIII и, дойд до путевых контактов 11 и 17, соответственно, отключают транспортеры 1, 2 тл 7, 8 закрывают вакуумные заслонки 25 и 30. При этом закрываютс электромагнитные вакуумные клапаны 9 и 10 и открываютс электромагнитные форвакуумные краны 22 и 24. При этом откачные посты агрегатов // и VII создают в форвакуумных шлюзовых камерах необходимое разрежение.After the vacuum shutters 26 and 29 are closed, the electromagnetic foreline vacuum valves 22 R 24 v are closed. solenoid valves 9 and / o air intake open. Then, after the air has been injected into the forelock vacuum chambers of the units // and VII, the vacuum shutters 25 and 30 are opened, the conveyors /, 2 and 7, 8 are turned on, at the same time the cassettes 31 move in one step from the supply tray of the unit / into unit II, and from the unit Vli coming out to the receiving tray of the unit VIII and, reaching the track contacts 11 and 17, respectively, disconnect the conveyors 1, 2 T 7, 8, close the vacuum flaps 25 and 30. At the same time, the electromagnetic vacuum valves 9 and 10 are closed and the electromagnetic backing taps 22 are opened and 24. In doing so, they are pumped out. The units of the units // and VII create the necessary vacuum in the backing lock chambers.

Далее цикл повтор етс от программного реле в той же последовательности .The cycle then repeats from the program relay in the same sequence.

Предмет изобретени Subject invention

Claims

1. Vacuum coating apparatus, characterized in that, in order to increase productivity and to carry out one or several coatings with one or several materials in a continuous flow, it is made of two extreme allus and one or several working vacuum chambers arranged in a line; interconnected by means of connecting crackers into a common vacuum system, in which the preparatory processes (pumping, recharging) in sluice vacuum chambers are combined in time with the coating process into working their vacuum chambers.

2. Vacuum apparatus according to claim 1, characterized in that, in order to provide vacuum sluice, the sluice chambers in it are separated from the atmosphere, between themselves and from the working chambers by vacuum sucks, and transportation of the products being processed is carried out in a continuous pulsating flow.

3. Vacuum apparatus according to paragraphs. 1 and 2, characterized in that in order to increase productivity or increase vacuum, it has on the inlet and outlet side more than one stage of sluice vacuum, gauge meters.

4. The vacuum apparatus according to PP-1-3, characterized in that, in order to periodically communicate the extreme sluice chambers with the atmosphere, air intake solenoid valves are installed in them, and to shut off the chambers during air intake to recharge them, and also in order to prevent the release of oil from the vacuum pumps to the lock and working vacuum chambers during an emergency power outage, electromagnetic vacuum valves are installed between them.

No. 117359