SU1171360A1

SU1171360A1 - Устройство для склеивания

Info

Publication number: SU1171360A1
Application number: SU833663529A
Authority: SU
Inventors: Leonid S Cheshenko; Boris N Trefilov; Yurij P Seleznev
Original assignee: Leonid S Cheshenko; Boris N Trefilov; Yurij P Seleznev
Priority date: 1983-09-26
Filing date: 1983-09-26
Publication date: 1985-08-07

Description

Изобретение относится к области склеивания материалов, в частности, к устройствам для приклеивания полупроводниковых пластин к эластичной пленке с клеющимся поверхностным слоем, т. е. адгезионному носителю и может быть использовано в различных областях техники при склеивании деталей с плоской поверхностью соединения.

Цель изобретения — повышение качества изделий путем обеспечения удаления воздушных пузырей по плоскости склеивания заготовок.

На чертеже схематично изображено устройство, продольный разрез.

Устройство содержит корпус 1, в верхней части которого закреплен опрессовочный элемент, выполненный в виде эластичной мембраны 2, укрепленной на камере 3, связанной через отверстие в ее стенке с системой подачи Воздуха под давлением (не показана). Мембрана имеет выпуклую сферическую форму за счет избыточного давления воздуха, находящегося в камере 3. В нижней части корпуса установлен цилиндр 4 с плунжером 5, на котором закреплена опорная пластина 6 с пазами для размещения заготовки (полупроводниковой пластины). По периферии пластины 6 в кольцевом пазу установлен дополнительный опорный элемент, выполненный в виде

кольцевого держателя 7, причем высота кольцевого держателя превышает толщину размещаемой на опорной пластине заготовки.

Устройство работает следующим образом. ₅ В пазы опорной пластины 6 укладывают одну заготовку — полупроводниковую пластину 8 и кольцевой держатель 7 с закрепленной на нем второй заготовкой — адгезионным носителем 9. При подъеме плунжера 5 опорная пластина 6 с кольцевым ¹⁰ держателем 7 с адгезионным носителем 9, обращенным липкой стороной к пластине 8, соприкасается с эластичной мембраной 2, имеющей сферическую форму за счет избыточного давления воздуха, находящегося в камере 3. В свою очередь адгезионный носитель 9 соприкасается с центром полупроводниковой пластины 8. При дальнейшем подъеме плунжера 5 происходит упругая деформация эластичной мембраны 2 по плоскости, чем обеспечивается склеивание адгези20 онного носителя 9 с пластиной 8 в направлении от центра к периферии, в результате чего воздух удаляется из зоны склеивания по плоскости соединения

заготовок.

Предлагаемая конструкция устройства ²⁵ создает эффект прикатывания при опрессовке склеиваемых заготовок, что обеспечивает удаление воздушных пузырей между склеиваемыми поверхностями.

Claims

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ СКЛЕИВАНИЯ, содержащее корпус с установленным в нем цилиндром с плунжером, на котором закреплена опорная пластина с центрирующим гнездом для заготовки, и эластичный опрессовочный элемент, отличающееся тем, что, с целью повышения качества изделий путем удаления пузырей по плоскости склеивания заготовок, оно снабжено дополнительным опорным элементом для второй заготовки, выполненным в виде установленного по периферии пластины кольцевого держателя, а эластичный опрессовочный элемент выполнен в виде закрепленной на корпусе напротив опорной пластины мембраны, имеющей выпуклую сферическую форму,

2. Устройство по π. 1, отличающееся тем, что радиус сферической поверхности мембраны равен 0,1—0,3 диаметра ее основания.

Р К

5Ц ...1171360

>

4

1

1171360

2