SU1170404A1 - Проекционный объектив с увеличением - 1/30 @ - Google Patents
Проекционный объектив с увеличением - 1/30 @ Download PDFInfo
- Publication number
- SU1170404A1 SU1170404A1 SU833703164A SU3703164A SU1170404A1 SU 1170404 A1 SU1170404 A1 SU 1170404A1 SU 833703164 A SU833703164 A SU 833703164A SU 3703164 A SU3703164 A SU 3703164A SU 1170404 A1 SU1170404 A1 SU 1170404A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lens
- glued
- positive
- components
- negative
- Prior art date
Links
Landscapes
- Lenses (AREA)
Abstract
ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ - I/ЗО, содержащий четьфе компонента, третий из которых - положительна двухсклеенна линза, четвертый - положительна линза, отл-и чающий.с тем, что, с целью расширени спектрального диапазона и увеличени пол зрени , первьш компонент вьтолнен положительным склеенным из отрицательного мениска и дво ковыпуклой линзы, второй - отрицательным, С1слеенный из дво ковыпуклой и дво ковогнутой линз, а четвертый - в виде дво ковыпуклой линзы, при этом рассто ние между первым и вторым компонентом составл ет 0,46 фокусного рассто ни объектива. /fffCftOcmb предметов
Description
Изобретение относится к оптическим системам и может быть применено в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования.
, Известен объектив для ультра- 5 фиолетовой и видимой области спектра с увеличением -1/25х, апертурой 0,35. Он состоит из трех компонентов: первый компонент - плосковыпуклая линза,а второй и третий - трех- эд линзовые несклеенные компоненты . .. Однако этот объектив предназна- 1 чен для .микроскопов, характеризуется малым рабочим отрезком и недостаточной коррекцией аберрации и поэтому эд не может быть иапользован в проекционных системах экспонирования.
Известен также проекционный объектив с увеличением - 1/30 , содержащий четыре компонента, третий из 20 которых положительная двухсклеенная линза, четвертый - положительная линза. Объектив рассчитан для длины волны. = 337,1 нм, имеет апертуру 0,3 и поле зрения 25 2 ij = 7 мм [2J .
Недостатком объектива является узкий спектральный диапазон, который обуславливает невозможность использования его для экспонирования 3θ в видимой области спектра из-за неисправленных аберраций в этой области спектрё. Кроме того, объектив характеризуется недостаточно большим полем .зрения.
Цель изобретения - расширение спектрального диапазона и увеличение поля зрения.
Поставленная цель достигается тем, что в проекционном объективе . _ у чи с увеличением </ 30 ? содержащем четыре компонента, третий из которых - положительная двухсклеенная линза, четвертый - положительная линза, первый компонент выполнен положительным, склеенным из отрицательного мениска и двояковыпуклой линзы, второй - отрицательным, склеенным из двояковыпуклой и двояко вогнутой линз, а четвертый - в виде двояковыпуклой линзы, при этом расстояние между первым и вторым компонентом составляет 0,46 фокусного расстояния объектива.
На чертеже приведена оптическая схема объектива.
Объектив состоит из четырех компонентов.
Первый компонент - положительная линза, склеенная из отрицательной 1 и положительной 2 линз, выполненных из кварца и флюорита, разность показателей «преломления которых составляет 0,0312.
Второй компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и склеенный из положительной 3 и отрицательной 4 линз, выполненных из флюорита и кварца.
Третий компонент - положительная линза, склеенная из положительной 5 и отрицательной 6 линз, выполненных из флюорита и кварца.
Четвертый компонент - двояковы- . пуклая положительная линза 7, выполненная из флюорита с соотношением радиусов 1:1,476. Объектив имеет высокую степень коррекции аберраций для длин волн А =33 7, 1 нм и Ά = 546 нм. Предлагаемый объектив имеет увеличение-1/зо’, апертуру А = 0,3, поле зрения 2у = 15 мм, фокусное расстояние F = 16,26 мм, рассчитан для видимой и ультрафиолетовой областей спектра при высокой степени коррекции аберраций, поле зрения увеличено до 2у = 15 мм.
При использовании объектива в установках ретуши фотошаблонов за счет совмещения плоскостей изображений в видимой и ультрафиолетовой области спектра отпадает необходимость в процессе перефокусировки луча лазера, что в конечном счете позволяет увеличить производительность труда приблизительно в 1,8 раза .
Claims (1)
- ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВС УВЕЛИЧЕНИЕМ - 1/30*, содержащий четыре компонента, третий из которых - положительная двухсклеенная линза, четвертый - положительная линза, отлич ающий.с я тем, что, с целью расширения спектрального диапазона и увеличения поля зрения, первый компонент выполнен положительным^ склеенным из отрицательного мениска и двояковыпуклой линзы, второй - отрицательным, склеенный из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, а четвертый - в виде двояковыпуклой линзы, при этом расстояние между первым и вторым компонентом составляет 0,46 фокусного расстояния объектива. §SU .„,11704041 1170404 2
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU833703164A SU1170404A1 (ru) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | Проекционный объектив с увеличением - 1/30 @ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU833703164A SU1170404A1 (ru) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | Проекционный объектив с увеличением - 1/30 @ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1170404A1 true SU1170404A1 (ru) | 1985-07-30 |
Family
ID=21104461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU833703164A SU1170404A1 (ru) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | Проекционный объектив с увеличением - 1/30 @ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1170404A1 (ru) |
-
1983
- 1983-12-27 SU SU833703164A patent/SU1170404A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 1. Панков В,А., Андреев Л.Н. Оптика микроскопов. Л.: Машино-, строение, 1976, с. 127. . 2. Авторское свидетельство СССР № 991346, кл. G 02 В 13/14, 19.02.81 (прототип). * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5089913A (en) | High resolution reduction catadioptric relay lens | |
| US5241423A (en) | High resolution reduction catadioptric relay lens | |
| US5052763A (en) | Optical system with two subsystems separately correcting odd aberrations and together correcting even aberrations | |
| TW451076B (en) | Optical projection lens system | |
| KR960018769A (ko) | 투영 광학 시스템 및 투영 노광장치 | |
| TW417168B (en) | Projection optical system, exposure device provided therewith and method of using such system for manufacturing devices | |
| US7274517B2 (en) | Micromirror array lens with focal length gradient | |
| KR960029910A (ko) | 반사굴절 축소 투영 광학계 및 그를 사용하는 노광 장치 | |
| JPH08171054A (ja) | 反射屈折光学系 | |
| JPH1048526A (ja) | 高分解能高光度対物レンズ | |
| JP2002156582A (ja) | 光学系及びそれを用いた光学機器 | |
| EP1980890A4 (en) | CATADIOPTRIC IMAGING SYSTEM, EXPOSURE DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD | |
| SU1170404A1 (ru) | Проекционный объектив с увеличением - 1/30 @ | |
| RU2333518C2 (ru) | Зеркально-линзовый объектив | |
| JP2005504337A5 (ru) | ||
| SU1539716A1 (ru) | Проекционный объектив с увеличением - 1/30 @ | |
| JPH06242381A (ja) | 紫外線顕微鏡乾式対物レンズの製造方法及びこの方法で製造される対物レンズ | |
| SU991346A1 (ru) | Проекционный объектив с увеличением -1/30 @ | |
| US6342967B1 (en) | Photolithography lens | |
| SU1247812A1 (ru) | Проекционный объектив с увеличением-1/30 @ | |
| SU873195A1 (ru) | Проекционный объектив с увеличением 0,1х | |
| TWI798802B (zh) | 投影鏡頭及投影裝置 | |
| JPH05249379A (ja) | 広フィールド露光光学系 | |
| RU2328022C2 (ru) | Объектив с вынесенным входным зрачком | |
| RU2160915C1 (ru) | Зеркально-линзовая уменьшающая оптическая система (варианты) |