SU1164679A1 - Гибридно-пленочный микротермостат - Google Patents

Гибридно-пленочный микротермостат Download PDF

Info

Publication number
SU1164679A1
SU1164679A1 SU833592766A SU3592766A SU1164679A1 SU 1164679 A1 SU1164679 A1 SU 1164679A1 SU 833592766 A SU833592766 A SU 833592766A SU 3592766 A SU3592766 A SU 3592766A SU 1164679 A1 SU1164679 A1 SU 1164679A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
substrate
temperature
microthermostat
hybrid
thermally stabilized
Prior art date
Application number
SU833592766A
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Владимирович Панин
Владимир Владимирович Панин
Original Assignee
Томский Институт Автоматизированных Систем Управления И Радиоэлектроники
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Томский Институт Автоматизированных Систем Управления И Радиоэлектроники filed Critical Томский Институт Автоматизированных Систем Управления И Радиоэлектроники
Priority to SU833592766A priority Critical patent/SU1164679A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1164679A1 publication Critical patent/SU1164679A1/ru

Links

Abstract

1. ГИБРИДНО-ПЛЕНОЧНЫЙ МИКРОТЕРМОСТАТ , содержащий корпус, на основании которого через теплоизол ционную подставку установлена перва  термостабилизируема  подложка, о т личающийс  тем, что, с целью повышени  точности, он содержит вторую термостабилизируемую подложку , установленную на первой термостабилизируемой подложке через теплоизолирующий элемент, причем термоста- -ируемые элементы размещены между первой и второй термостабилизируемыми подложками. 2. Микротермостат по п.1, о т лич ающийс   тем, что выводы с второй термостабштизируемой подложки на выходы в корпусе микротермостата осуществлены через распайку на первой термостабилизируемой подложке.

Description

Изфбретение относитс  к радиоэлек тронике и может быть использовано в устройствах с жесткими требовани ми по температурной стабильности, например в источниках опорного посто н ного напр жени , задающих генератора измерительных усилител х посто нного тока. Известно устройство дл  стабилиза ции температуры подложки микрюсхемы Q . Недостатками данного устройства  вл ютс  низка  технологичность и относительно высока  потребл ема  мощность. Наиболее близким к предлаг-аемому  вл етс  гибридно-пленочный микротермостат , содержащий корпус с размещенной в нем на теплоизол ционной подставке термостабилизируемой подложкой , на которой расположен нагреватель , датчик температуры и термостатируемые элементы 21. Данный микротермостат потребл ет малую мощность и обладает высокой технологичностью, так как полностью выполнен по широко распространенной гибридно-пленочной технологии. Недостатком микротермостата  вл етс  сравнительно низка  точность поддержани  температуры термостатируемьтх элементов. Действительно погрешность поддержани  температуры статировани  складываетс  из погрешности регул тора ti погрешности, обус лавливаемой конструкцией микротермостата . Точность поддержани  температуры в точке расположени  датчика температуры в основном определ етс  точностью регул тора и даже при использовании простейшего пропорционал него регул тора составл ет 0.05 К и меньше. Цель изобретени  - повьшение точности поддержани  температуры термостатируемых элементов. Поставленна  цель достигаетс  тем что в гнбрвдно-пленочный микротермостат , содержащий корпус, на основаНИИ которого через теплоизол ционную подставку установлена перва  термост билизируема  подложка, введена втора термостабилизируема  подложка, установленна  на первой термостабилизируемой подложке через теплоизолирующий элемент, причем термостатируемые элементы размещены между первой и второй термрстабилизируемыми подложками . Кроме того, вьгеоды с второй термостабилизируемой подложки на вьшоды в корпусе микротермостата осуществлены через распайку на первой термостабилизируемой подложке. На. чертеже схематически представлен гибридно-пленочный микротермостат . Микротермостат содержит корпус 1, первую термостабилизируемую подложку 2, установленную на основание 3 корпуса 1 через теплоизол ционную подставку 4, вторую термостабилизируемую .подложку 5, установленную на первую через теплоизол ционньш элемент 6, термостатируемые элементы 7, :установленные на поверхности второй термостабилизируемой подложки 5, обращенной к подложке 2, при этом выводы с подложки 5 распа ны на подложку 2. Микротермостат работает следующим образом. Значение температуры статировани  второй подложки 5 задаетс  на несколько градусов больше, чем температура статировани  подложки 2. Таким образом, после включени  микротермостата и выхода его на режим установ тс  следующие температуры {,2 const; i conts. Следовательно, и ut 2 const. . При этом величина мощности потерь через вьшоды с подложки 5 составл ет Р R вывода а ее изменение при изменении температуры окружающей среды определ етс  величиной погрешности поддержани  разности д-t, т.е. iP.i. 6. Аналогичным выражением описьтаютс  потери непосредственно через термостатируемый элемент. Различие состоит в том, что вместо R- „ . сле ,иыводсл дует подставить значение теплового сопротивлени  участка между подложками 2 и 5. Таким образом, изменение температуры в зоне присоединени  вывода к подложке 5 составл ет
bUi)
R.
p
ВЫвоДс(
rfleRo - тепловое сопротивление участка-подложки между точкой расположени  датчика температуры схемы регулировани  и точкой присоединени  вывода. Изменение температуры в зоне р- П перехода термостатируемого элемента при изменении температуры окружающей среды вследствие потерь ; непосредственно через термостатируемь злемент составл ет
&(t.i)
«.-2
n-n у
гдеК
тепловое сопротивление
Р-п между термостабилизированной подложкой и р-п переходом термостатируемого элемента.
Следовательно, при прочих равных услови х точность поддержани  температуры термостатируемых элементов определ етс  величиной & (ut) а Не
изменением температуры среды itее
ор
как у прототипа. Изменение температуры среды превышает 1ООК (например, от -60 до ), а величина A(utl определ етс  погрешност ми статировани  подложек и составл ет А(.
Таким образом, (&i) (более чем в 100 раз) и во .столько же раз повышаетс  точность поддержани  .температуры термостатируемых элементов.
Предлагаемое устройство имеет малую потребл емую мощность, работает с простейшими регул торами пропорционального типа, что обуславливает высокую надежность, изготавливаетс ,
на основе гибрццно-пленочной технологии , получившей широкое распрост- . ранение. При этом вследствие введени  второй термостабилизированной подложки точность поддержани .температуры
термостатируемых элементов возростает с 0,8 до 0,1К.
Использование предлагаемого гибридно-пленочного микротермостата в разjrjH4Hbix устройствах радиоэлектроники,
например в источниках опорного посто нного напр жени , задающих генераторах и т.д., позвол ет повысить точность работы и другие техникоэкономические показатели этих устройств .

Claims (2)

  1. . 1. ГИБРИДНО-ПЛЕНОЧНЫЙ МИКРОТЕРМОСТАТ, содержащий корпус, на основании которого через теплоизоляционную подставку установлена первая термостабилизируемая подложка, о т лич ающийс я тем, что, с целью повышения точности, чон содержит вторую термостабилизируемую подложку, установленную на первой термостабилизируемой подложке через теплоизолирующий элемент, причем термостаТируемые элементы размещены между первой и второй термостабилизируемьгми подложками.
  2. 2. Микротермостат по п.1, о т лич ающийс я тем, что выводы с второй термостабилизируемой подложки на выходы в корпусе микротермостата осуществлены через распайку на первой термостабилизируемой подложке.
SU833592766A 1983-05-19 1983-05-19 Гибридно-пленочный микротермостат SU1164679A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833592766A SU1164679A1 (ru) 1983-05-19 1983-05-19 Гибридно-пленочный микротермостат

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833592766A SU1164679A1 (ru) 1983-05-19 1983-05-19 Гибридно-пленочный микротермостат

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1164679A1 true SU1164679A1 (ru) 1985-06-30

Family

ID=21063970

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833592766A SU1164679A1 (ru) 1983-05-19 1983-05-19 Гибридно-пленочный микротермостат

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1164679A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2461047C1 (ru) * 2011-07-05 2012-09-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) Устройство для стабилизации температуры элементов микросхем и микросборок

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Орехов А.П. Микросхема на термостатируемой подложке, Микроэлектроника, т. 5, вьт. 2, 1976. 2. Алексеев В.П., Вибе П.Ф. К вопросу об оптимизации конструкции микротермостата дл гибрвдных пленочных схем. Извести ВУЗов, Приб ростроение ,т1 ХХШ, № 3, 1980 (прототип). *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2461047C1 (ru) * 2011-07-05 2012-09-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) Устройство для стабилизации температуры элементов микросхем и микросборок

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3308271A (en) Constant temperature environment for semiconductor circuit elements
US4812733A (en) Computer element performance enhancer
US4639883A (en) Thermoelectric cooling system and method
US3921453A (en) Thermocouple system having a PN junction for cold junction compensation
US4189093A (en) Apparatus for regulating the temperature of a compartment or space
US6173619B1 (en) Method and device for effecting temperature compensation in load cell type load detector
US5837884A (en) Humidity sensor using temperature sensing resistor controlled to be at constant temperature of more than 150° C.
JPH0476412B2 (ru)
US2967924A (en) Stable temperature reference for instrument use
US5440924A (en) Heating resistor type air flow meter with separate/processing unit
SU1164679A1 (ru) Гибридно-пленочный микротермостат
JP3272633B2 (ja) 恒温槽型圧電発振器
US6384385B1 (en) Process and device for the thermal conditioning of electronic components
JPS6148206A (ja) 小型の温度制御された位相検出器
KR20010021678A (ko) 시한 회로
JPS57188894A (en) Semiconductor laser device
SU1322242A2 (ru) Термоэлектрический термостат
JPH10122932A (ja) 液位検知装置
US3454743A (en) Oven temperature control system
US3369750A (en) Electrical control network
SU1589079A1 (ru) Устройство дл измерени температуры
SU1312350A1 (ru) Блок питани термобатареи
JP3764800B2 (ja) 加熱制御回路
SU1337676A1 (ru) Устройство дл измерени температуры
GB2082774A (en) Thermocouple Cold Junction Compensation