SU1163161A1 - Устройство дл измерени сдвига фазы световой волны при многократно нарушенном полном внутреннем отражении - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СДВИГА ФАЗЫ СВЕТОЮЙ ВОЛНЫ ПРИ ШОГОКРАТНО НАРУШЕННОМ ПОЛНОМ ВНУТРЕННЕМ ОТРАЖЕНИИ, состо щее из осветител . пол ризатора, элемента многократно нарушенного полного внутреннего отражени  в виде пр мой призмы, в основании которой лежит параллелограмм, а боковые грани, предназначенные дл  нанесени  исследуемого объекта, попарно параллельны, отличающеес  тем, что, с целью осуществлени  раздельных измерений сдвигов фазы дл  параллельной и перпендикул рной составл ющих линейно пол ризованного -света, элемент многократно нарушенного полного внутреннего отражени  размещен внутри двухлучевого интерферометра Жамена на пути проход щих через него обоих пучков интерферометра , а участки, предназначен (Л ные длл нанесени  исследуемого объекта и свободные, чередуютс .

Description

t1 Изобретение относитс  к устройствам дл  измерени  величин, характери зунщих оптические свойства вещества. Известно устройство дп  измерени  разности сдвигов фаз перпендикул рной и параллельной компоненты пол ризованного света П. Недостатком устройства  вл етс  невозможность получени  абсолютных значений сдвига фазы при отражении каждой из компонент перпендикул рно и параллельно пол ризованного света. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемому  вл етс  устройство дл измерени  сдвигов фазы световой волны при многократно нарушенном полном внутреннем отражении (МНПВО), состо  щее из осветител , пол ризатора,элемента МНПВО в виде пр мой призмь, в основании которой лежит параллелограмм , а боковые грани, предназначенные дл  нанесени  объекта, попарно параллельны 2 . Недостатком известного устройства  вл етс  невозможность осуществлени  раздельных измерений сдвигов фазы дл  параллельной и перпендикул рной составл ющих линейно пол ризованного света. Цель изобретени  - осуществление раздельных измерений сдвигов фазы дл  параллельной и перпендикул рной составл ющих линейно пол ризованного света. Эта цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  измерени  сдвигов фазы световой волны при многократно на . рушенном полном внутреннем отражении , состо щем из осветител , пол ризатора , элемента многократно нарушенного полного внутреннего отражени  в виде пр мой призмы,, в основа нии которой лежит параллелограмм, а боковые грани, предназначенные дл  нанесени  объекта, попарно параллель HЫJ элемент многократно нарушенного полного внутреннего отражени  размещен внутри двухлучевого ин терферомет ра Жамена на пути проход щих через него обоих пучков интерферометра, а участки, предназначенные дл  нанесени  исследуемого объекта и свободные чередуютс . На чертеже изображено устройство дл  измерени  сдвига фазы световой волны при МНПВО. 1 Между пластинами 1 и 2 интерферометра Жамена введен элемент МНПВО в виде пр мой призмы 3, в основании которой лежит параллелограмм, боковые грани которого попарно параллельны. Исследуемые слои 4 нанос тс  на боковые грани призмы. Пол ризатор 5 . позвол ет устанавливать либо перпендикул рную , либо параллельную пол ризацию линейно пол ризованного света . Пол ризатор 5 формирует нужное направление линейной пол ризации световой волны, идущей от источника света. С помощью пластины 1 интерферометра линейной пол ризованное излучение расщепл етс  на два луча, которые попадают в элемент МНПВО 3. Один из лучей отражаетс  от границы призма - воздуха, а другой - от границы призма - объект - воздух. Сначала фиксируетс  интерференционна  картина, когда в интерферометр помещен элемент МНПВО без измер емого объекта, а затем тот же элемент МНПВО с нанесенным объектом измерений. Вычисление искомого сдвига фаз ведут по формуле сдвиг фазы при отражении от объекта дл  перпендикул рной и параллельной компоненты света; сдвиг фазы при отражении на границе элемент МНПВО - возсмещение интерференционной картины от элемента МНПВО с объектом измерени  и без . объекта измерени ; Н - ширина полосы. Эффективность предлагаемого устройства по сравнению с известным определ етс  тем, что.оно дает возможность измер ть величины сдвига фаз при отражении от тонкой пленки, нанесенной на прозрачную подложку, в отдельности дл  перпендикул рной 6, и параллельной 9ц пол ризаций. Это дает большую информацию об оптических свойствах тонких пленок, в частности об их анизотропии. Расшир ютс  возможностй применени  методов контрол  технологии нанесений пленок на различные подложки.

Фмг.2

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СДВИГА ФАЗЫ СВЕТОВОЙ ВОЛНЫ ПРИ МНОГОКРАТНО НАРУШЕННОМ ПОЛНОМ ВНУТРЕННЕМ ОТРАЖЕНИИ, состоящее из осветителя, поляризатора, элемента многократно нарушенного полного внутреннего отражения в виде прямой призмы, в основании которой лежит параллелограмм, а боковые грани, предназначенные для нанесения исследуемого объекта, попарно параллельны, отличающ е е с я тем, что, с целью осуществления раздельных измерений сдвигов фазы для параллельной и перпендикулярной составляющих линейно поляризованного -света, элемент многократно нарушенного полного внутреннего отражения размещен внутри двухлучевого интерферометра Жамена на пути проходящих через него обоих пучков интерферометра, а участки, предназначенные для нанесения исследуемого объекта и свободные, чередуются.

   (•9) S.U ₍₁„1163161

   А