SU1157515A1 - Photoelectric autocollimator - Google Patents

Photoelectric autocollimator Download PDF

Info

Publication number
SU1157515A1
SU1157515A1 SU833645319A SU3645319A SU1157515A1 SU 1157515 A1 SU1157515 A1 SU 1157515A1 SU 833645319 A SU833645319 A SU 833645319A SU 3645319 A SU3645319 A SU 3645319A SU 1157515 A1 SU1157515 A1 SU 1157515A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
prism
plane
lens
mirror
inclination
Prior art date
Application number
SU833645319A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Юрий Викторович Елисеев
Юрий Петрович Контиевский
Бакиш Гарифуллинович Шарипов
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4671
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4671 filed Critical Предприятие П/Я Г-4671
Priority to SU833645319A priority Critical patent/SU1157515A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1157515A1 publication Critical patent/SU1157515A1/en

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ АВТОКОЛЛИМАТОР , содержащий осветительную часть, марку, объектив, отражатель в виде пр моугольной призмы, расположенные между объективом и отражателем два пол ризатора с взаимно перпендикул рными плоскост ми пол ризации , модул тор, фотопрйемную и измерительную части, о т л и ч а юц и и с   тем, что, с целью повышени  точности измерени , в него дополнительно введено светоделительное зеркало, которое установлено между пол ризаторами и призмой с наклоном на угол к плоскости входного зрачка объектива в плоскости, перпендикул рной главному сечению призпы, при этом if определ етс  двойным неравенством 11|:. + 2пе-2в, где - удаление центра марки от оптической оси объектива в плоскости наклона зеркала, выраженное,в угловой мере; Ч - удаление оси врсщени  модул тора от оптической оси объектива в плоскости наклона зеркала, ш фаженное в угло- I вой мере; (Л cf - угловой размер марки в плоскости наклона зеркала; И - показатель преломлени  материала призмы; - пирамидальность призмы; . (Л - угол наклона гипотенузной грани призмы относительно ел плоскости входного зрачка - ел объектива в плоскости, перпендикул рной ее главному с ченпо. . . СПPHOTOELECTRIC AUTO-COLLIMATOR containing a lighting part, a mark, a lens, a reflector in the form of a rectangular prism, two polarizers between the lens and the reflector with mutually perpendicular polarization planes, a modulator, a photoprime and measuring parts, TL and PM and with the fact that, in order to improve the measurement accuracy, a beam-splitting mirror was additionally inserted in it, which is installed between the polarizers and the prism with an inclination of an angle to the plane of the lens entrance pupil in the plane, rpendikul molecular prizpy main section, wherein if it is determined 11 double inequality | :. + 2pe-2v, where - removal of the center of the mark from the optical axis of the lens in the plane of inclination of the mirror, expressed in an angular measure; H — removal of the axis of modulator installation from the optical axis of the lens in the plane of inclination of the mirror, angularly w; (L cf is the angular size of the mark in the plane of inclination of the mirror; And is the refractive index of the prism material; is the pyramid of the prism;. .Jp

Description

Изобретение относитс  к контроль но-измерительной технике и может быть использовано дл  высокоточного измерени  опгабок изготовлени  пр мых углов призм. Известен фотоэлектрический автоколлиматор , содержащий источник пол ризованного света с вращающейс  плоскостью пол ризации, марку, светоделитель , объектив, отражатель, . неподвижный анализатор, составлен (ный из двух пол ризаторов, плоскости пол ризации которых перпендикул рны фотоприемную и измерительную части D}. Однако этот автоколлиматор не поЗ вол ет измер ть пр мые углы пр моугольных призм. Известен также фотоэлектрический автоколлиматор, содержащий осветительную часть, марку, объектив, отра жатель в виде пр моугольной призмы, расположенные между объективом и отражателем два пол ризатора с взаим но перпендикул рными плоскост ми пол ризации, модул тор, фотоприемную и измерительную части 2. Недостатками известного устройства  вл ютс  невысока  точность и низ ка  производительность измерений, обусловленные соответственно однокра ным прохождением светового пучка через контролируемую призму и последовательным измерением (в два приема положени  каждого из двух автоколлимационных изображений. Целью изобретени   вл етс  повывение точности измерени . . Указанна  цель достигаетс  тем, что в фотоэлектрический автоколлиматор , содержапщй осветительную часть марку, объектив, отражатель в виде пр моугольной призмы, расположенные между объективом и отражателем два пол ризатора с взаимно перпендику  рными плоскост ми пол ризации, мо дул тор , фотоприемную и измерительную части, дополнительно введено светоделительное зеркало, которое установлено между пол ризаторами и призмой с наклоном на угол Tf к плоскости входного зрачка объектива в плоскости, перпендикул рной главному сечению призмы, при этом f определ е с  двойным неравенством И +4 -Л (5 2 -2ti& i- -j- - 2 E-2d, где - удаление центра марки о-г оптической оси объектива в плоскости наклона зеркала, выраженное в угловой мере; Ч - удаление оси вращени  модул тора от оптической оси объектива в плоскости наклона зеркала , выраженное в угловой мере; , f - угловой размер марки в плоскости наклона зеркала; М - показатель преломлени  материала призмы; - пирамидальность призмы; е - угол наклона гипотенузной грани призмы относительно плоскости входного зрачка объектива в плоскости, перпендикул рной ее главному сечению. На фиг. 1 показана схема фотоэлектрического автоколлиматора в плоскости наклона светоделительного зерала; на фиг.2 - то же, в плоскости главного сечени  призмы-отражател ; на фиг.З - ход осевых лучей в элементах автоколлиматора, установленньйс перед его объективом, в плоскости наклона светоделительного зеркала; на фиг.4 - ход осевь х лучей в тех же элементах в пл(скости главного сечени  призмы. Автоколлиматор включает осветигёль ую часть, состо щую из источника 1 света, конденсора 2 и отклон ющей призмы 3, и внеосевую марку 4, установленную между конденсором 2 и призмой 3 в фокальной плоскости объектива 5 и выполненную, например, в виде круглого отверсти . Удаление центра марки 4 от оптической оси объектива 5, выраженное в угловой мере, обозначим , а угловой размер марки - tf .Перед объективом 5 размещены два пол ризатора 6 и 7 с взаимно перпендикул рными плоскост ми пол ризации, светоделительное зеркало 8 и контролируема  пр моугольна  призма 9 с отражающими гран ми 10 и 11. Плоскость пол ризации одного из пол ризаторов (пол ризатора 7) параллельна плоскости, проход щей через центр марки 4 и ребро пр мого угла призмы 9, которое наклон .но к плоскости входного зрачка объектива за счет установки призмы 9 на специальном поддерживающем мостике (не показан) перед автоколлиматором. 3 В фокальной плоскости объектива расположен модул тор 12, составленный из двух пол ризаторов 13 и 14, плоскости пол ризации которых перпе дикул рны. Лини  раздела пол риза .торов 13 и 14 пересекаетс  с осью вращени  модул тора, угловое положе ние Ср которой относительно оптичес кой оси объектива определ етс  из услови  исключени  взаимного наложе ни  марки и ее автоколлимационного изображени  и возможного смещени  последнего относительно линии разде ла пол ризаторов 13 и 14 в пределах его углового размера S , т.е. f - 1,5б и f в Э-1,55 . При Ч О ос вращени  модул тора 12 совмещена с оптической осью объектива 5. Плоскости пол ризации пол ризато ров 13 и 14 модул тора 12 параллель ны плоскост м пол ризации пол ризаторов 6 и 7 при параллельности их линий раздела. Светоделительное зеркало 8 установлено между пол ризаторами 6 и 7 и призмой 9 с наклоном под углом к плоскости входного зрачка объекти ва 5 в плоскости, перпендикул рной главному сечению призмы, или в плос кости ребра пр мого угла призмы. Дл  контрол  призм с различными характеристиками светоделительное зеркало 8 снабжаетс  механизмом дл  изменени  его углового положени  в плоскости, перпендикул рной главному сечению призмы. Фотоприемна  и измерительна  част автоколлиматора включают конденсор 15, фотоприемник 16, усилитель 17 рабочих сигналов, опорную ветвь, сос то щую из источника 18 света неподвижного пол ризатора 19с плоскостью пол ризации, параллельной плоскости пол ризации одного из пол ризаторов 6(7), установленных перед объективом фотоприемника 20 и усилител  21 опорных сигналов. Выходы усилителей 17 и 21 соединены с синхронным детек тором 22, к которому подключен индикатор 23. Дл  настройки и проверки положени  автокрллимационных изображений относительно линии.раздела пол ризаторов 13 и 14 модул тора автоколлима тор имеет откидное зеркало 24 и окул р 25. Устройство работает следуюпщм обр зом. 15 Контролируемую призму 9 устанавливают на мостик. Включают источник 1 света и ввод т.в ход лучей откидное зеркало 24,- наблюда  в окул р 25. Свет от источника 1 с помощью конденсора 2 освещает внеосевую марку 4. Главный луч, исход щий из центра марки 4, пройд  отклон ющую призму. 3, образует с оптической осью объектива 5 угол (фиг.З). Пройд  далее объектив 5, пол ризаторы 6 и 7, светоделительное зеркало 8, луч падает на гипотенузную грань призмы 9 под углом +«(, а на ребро ее пр мого угла - под углом (Pfnf ), если призма правильно установлена перед автоколлиматором, т.е. вершина пирамиды призмы расположена по другую сторону оптической оси относительно внеосевой марки 4. Свет, прошедший через пол ризаторы 6 и 7, -соответственно пол ризуетс , и часть его, отраженна  от наклонного светоделителы ого зеркала 8, не попадает в фотоприемную часть автоколлиматора . Часть света, отраженна  от гипотенузной грани призмы 9, при неправильной ее установке может попасть в фотоприемную часть. В этом случае, враща  мостик с призмой, наблюдают в окул р 25 за бликами в поле зрени  и устанавливают призму в правильное положение. . Осевой луч света, прошедший призму 9 в первьй раз, выходит из нее под , углом 2о( -2п к оптической оси объектива. Встретив и отразившись от светоделительного зеркала 8, луч повторно проходит призму и выходит из нее в направлении линии раздела пол ризаторов 13 и 14 модул тора 12, когда та расположена в плоскости, параллельной плоскости главного сечени  призмы 9. Если автоколлимационное изображение марки непопадает на указанную линию раздела пол ризаторов 13 и 14, наклон светоделительного зеркала измен ют, навод  автоколлимаионное изображение на эту линию. В этом случае угол, образованный падаюим на зеркало лучом после прохождени  призмы первый раз и отраженным т него лучом,равен р.ь( , зеркало о отношению к входному зрачку объг ктива занимает положение, опреде емое углом ( ) 2. В плоскости главного сечени  ы 9 (фиг.4) осевые лучи 1 и II та, пройд  пол ризаторы 6 и 7 и светодвлитепьное зеркало 8, проход т призму 9 в противоположньк направлени х , отража сь от катетных граней 10 и 11 в пр мой и обратной поспедовательности . Пройд  призму 9 с ошибкой U/пр мого угла первый раз, кажды луч отклон етс  от своего первоначального направлени  на угол 2исОсо5(р+о()У 1- }Встретив и отрази 1 шись от светоделительного зеркала 8 под так же углом, каждый луч снова падает на призму 9. Часть света от лучей и П проходит светоделительное зеркало 8 и гаситс , поскольку плоскости пол ризации этих лучей перпендикул рны плоскост м пол ризаций встретившихс  на их пути пол ризаторов б и 7. V. Каждый отраженный зеркалом 8 луч f и lj, npoJ призму второй раз, дополнительно отклон етс  на угол 2па cost{ f- nyn.e,a угол между расход щимис  лучами J и II, прошедшими призму дважды и идущими в автоколлиматор , в общем виде равен .).СО.(Н) В фокальной плоскости объектива автоколлиматора, где находитс  модул тор t2, эти лучи образуют два автоколлимационные изображени  марки 3) линейное рассто ние t между которыми равно t{j П .cos(-).eos(a.)f, где f - фокусное расстЬ ние объектива . При f О приведенные ранее выражени  упрощаютс . После настройки автоколлиматора откидное зеркало 24 вьгаод т из хода . лучей и включают в работу модул тор 12 и фотоприемную и измерительную чести. Конденсор 15 концентрирует свет, от обоих автоколлимационных изображений марки, на фотоприемнике 16. 1 5 При отсутствии ошибки о) пр мого угла призмы оба изображени  совмещены и расположены на линии раздела |пол ризаторов 13 и 14 модул тора 12, когда та расположена в плоскости, перпендикул рной главному сечению призмы 9. В этом случае при вращении модул тора 12 в любом его положении на фотоприемник 16 проходит равное количество света и на-выходе фотоприемника нет переменного сигнала. При наличии ошибки to пр мого угла призмы автоколлимационные изображени  марки взаимно смещены на величину t, В зтом случае через модул тор 12 в различных его положени х при вращении от каждого автоколлимационного изображени  марки 3 на фотоприемник 16 проходит разное количество света и на выходе фотоприемника образуетс  переменный сигнал. Поскольку плоскости пол ризации автоколлимационных изображений марки, как и плоскости пол ризации пол ризаторов 13 и 14 модул тора 12, взаимно перпендикул рны , то переменные.сигналы от обоих изображений марки 3 имеют одинако ую фазу ив фотоприемнике 16 суммируютс ,/ шлитуда общего переменного сигнала пропдрщ1оналвна величине взаимного линейного смещени  1 автоколлимационных изображений или величине ошибки О пр мого угла призмы, а фаза по отношению к опорному сигналу указывает направлени  смещени  изображений марки 3 или знак опшбки о) пр мого угла призмы. Рабочий сигнал с фотоприемника 16 и сигнал с фотоприемника 20 опорной ветви после усилени  соответственно в усилител х 17 и 21 подаютс  на синхронный детектор 22, а с него - на индикатор 23, которилй указывает величину и знак взаимного линейного смещени  1 автрколлимационных изображений марки или величину и знак ошибки tt) пр мого угла призмы. Ошибка {О пр мого угла призмы при этом определ етс  из выражени  (:f-)cos( )f Таким образом, предлагаемый фотолектрический автоколлиматор позво ет измер ть ошибку пр мого углаИризы с большей точностью,чем известный. .The invention relates to instrumentation and measurement technology and can be used for the high-precision measurement of the error prongs for making right angles of prisms. A photoelectric autocollimator is known, containing a source of polarized light with a rotating plane of polarization, brand, beam splitter, lens, reflector,. The fixed analyzer is composed of two polarizers whose polarization planes are perpendicular to the photodetector and measuring parts D}. However, this autocollimator cannot measure the right angles of rectangular prisms. A photoelectric autocollimator containing the lighting part and the mark are also known , lens, reflector in the form of a rectangular prism, two polarizers between the lens and the reflector with mutually perpendicular polarization planes, modulator, photodetector and measuring parts 2. Ned The stats of the known device are low accuracy and low measurement performance due to respectively single-cut light passing through a controlled prism and sequential measurement (in two steps the positions of each of the two autocollimation images. The aim of the invention is to improve the accuracy of the measurement. that the photoelectric autocollimator, the content of the lighting part of the brand, lens, reflector in the form of a rectangular prism, located between the lens and the reflector are two polarizers with mutually perpendicular polarization planes, a modulator, a photoreceiver and a measuring part, a beam splitting mirror is additionally inserted, which is installed between polarizers and a prism with a slope of Tf to the plane of the entrance pupil of the lens in the plane, perpendicular to the main section of the prism, where f is defined with the double inequality AND + 4 -L (5 2 -2ti & i- -j- - 2 E-2d, where is the removal of the center of the mark o-g of the optical axis of the lens in the plane of the mirror tilt, expressed in angular measure H - removal of the axis of rotation of the modulator from the optical axis of the lens in the plane of inclination of the mirror, expressed in angular measure; , f is the angular size of the mark in the plane of inclination of the mirror; M is the refractive index of the prism material; - pyramidal prism; e is the angle of inclination of the hypotenuse face of the prism relative to the plane of the entrance pupil of the lens in a plane perpendicular to its main section. FIG. 1 shows a diagram of a photoelectric autocollimator in the plane of inclination of the beam-splitting mirror; Fig. 2 shows the same, in the plane of the main section of the prism-reflector; on fig.Z - the course of axial rays in the elements of the autocollimator, installed in front of his lens, in the plane of the beam-splitting mirror; Fig. 4 shows the stroke of the axial rays in the same elements in the PL (the main section cross section of the prism. The autocollimator includes the lighting part consisting of light source 1, condenser 2 and deflecting prism 3, and off-axis mark 4 installed between the condenser 2 and a prism 3 in the focal plane of the lens 5 and made, for example, in the form of a round hole. Denote the center of the mark 4 from the optical axis of the lens 5, expressed in angular measure, and the angular size of the mark is tf. 6 and 7 with mutually perpendicular p a polarization plane, a beam-splitting mirror 8 and a controlled rectangular prism 9 with reflective faces 10 and 11. The polarization plane of one of the polarizers (polarizer 7) is parallel to the plane passing through the center of the mark 4 and the edge of the right angle of the prism 9 which is tilted to the plane of the entrance pupil of the lens by installing a prism 9 on a special supporting bridge (not shown) in front of the autocollimator 3 In the focal plane of the lens there is a modulator 12 made up of two polarizers 13 and 14, the polar plane ation which perpe Dikulja rny. The polarization section 13 lines and 14 intersects with the axis of rotation of the modulator, the angular position Cp of which relative to the optical axis of the lens is determined from the condition of excluding the mutual imposition of the mark and its autocollimation image and the possible displacement of the latter relative to the line of polarizer 13 and 14 within its angular size S, i.e. f - 1.5b and f in e-1.55. At H o, the rotation of the modulator 12 is aligned with the optical axis of lens 5. The polarization planes of polarizers 13 and 14 of the modulator 12 are parallel to the polarization planes of polarizers 6 and 7 while their division lines are parallel. A beam-splitting mirror 8 is installed between polarizers 6 and 7 and the prism 9 with an inclination at an angle to the plane of the entrance pupil of object 5 in a plane perpendicular to the main section of the prism, or in the plane of the edge of the right angle of the prism. To control prisms with different characteristics, the beam-splitting mirror 8 is provided with a mechanism for changing its angular position in a plane perpendicular to the main section of the prism. The photoreceiver and measuring part of the autocollimator include a condenser 15, a photodetector 16, an amplifier 17 of operating signals, a reference branch, which comes from the source 18 of the light of a stationary polarizer 19c with a polarization plane parallel to the polarization plane of one of the polarizers 6 (7) installed in front of the lens of the photodetector 20 and the amplifier 21 of the reference signals. The outputs of amplifiers 17 and 21 are connected to a synchronous detector 22, to which an indicator 23 is connected. To adjust and check the position of the autoclimation images relative to the line of the polarizers 13 and 14 section of the autocollima tor modulator, there is a flip mirror 24 and an eye 25. obz zom 15 Controlled prism 9 is installed on the bridge. The light source 1 is switched on and a folding mirror 24 is inputted into the ray path, observed in an eye 25. The light from source 1 by means of condenser 2 illuminates off-axis mark 4. The main beam emanating from the center of mark 4 passes a deflecting prism. 3, forms an angle with the optical axis of the lens 5 (FIG. 3). Then go through lens 5, polarizers 6 and 7, beam-splitting mirror 8, the beam falls on the hypotenuse face of prism 9 at an angle + «(and on the edge of its right angle - at an angle (Pfnf), if the prism is correctly installed in front of the autocollimator, t ... the apex of the prism pyramid is located on the other side of the optical axis relative to off-axis mark 4. Light passing through polarizers 6 and 7, respectively, is polarized, and part of it, reflected from the inclined beam splitter 8, does not fall into the photo-receiver part of the autocollimator Part of the world reflected from the hypotenuse edge of the prism 9, if it is installed incorrectly, it can get into the photodetector part.In this case, rotating the bridge with the prism is observed in the eye 25 for glare in the field of view and the prism is set in the correct position .. Axial ray of light that passed the prism 9 For the first time, it comes out from it at an angle of 2 ° (-2p to the optical axis of the lens. Having met and reflected from the beam-splitting mirror 8, the beam again passes the prism and leaves it in the direction of the dividing line of polarizers 13 and 14 of the modulator 12, when located in a plane parallel hydrochloric main sectional plane of the prism 9. If autocollimating image on said mark nepopadaet section line polarizers 13 and 14, the beam-splitting mirror tilt varied suggestive avtokollimaionnoe image on this line. In this case, the angle formed by the beam incident on the mirror after passing the prism for the first time and reflected by the beam is equal to p. (The mirror with respect to the entrance pupil of the object occupies a position defined by the angle () 2. In the plane of the main section The 9 (Fig. 4) axial rays 1 and II and the polarizers 6 and 7 and the light mirror 8 pass through the prism 9 in opposite directions, reflecting from the side faces 10 and 11 to the forward and inverse direction. 9 with the U / right angle error for the first time, each beam deviates from its of the initial direction to the angle 2сОсо5 (р + о () У 1-} Having met and reflected 1 from the beam-splitting mirror 8 at the same angle, each beam falls again on the prism 9. A part of the light from the rays and P passes the beam-splitting mirror 8 and extinguishes, Since the polarization planes of these rays are perpendicular to the polarization planes of the polarizers b and 7 encountered on their way. V. Each second beam reflected by the mirror 8 and fj, npoJ prism a second time, is additionally deflected by an angle of 2p cost {fnyn. e, a is the angle between the divergent J and II rays that have passed the prism twice and reaching in an autocollimator, is generally equal to.). CO. (H) In the focal plane of the autocollimator lens, where the modulator t2 is located, these rays form two autocollimation images of the mark 3) linear distance t between which is equal to t {j P. cos ( -). eos (a.) f, where f is the focal length of the lens. At f o, the expressions given earlier are simplified. After setting up the autocollimator, the flip mirror is 24 seconds out of turn. rays and include the modulator 12 and the photodetector and measuring honor. Condenser 15 concentrates light from both autocollimating images of the mark on the photodetector 16. 1 5 If there is no error on the right angle of the prism, both images are aligned and located on the dividing line of polarizers 13 and 14 of the modulator 12, when it is located in the plane perpendicular to the main section of the prism 9. In this case, when the modulator 12 rotates in any position, an equal amount of light passes to the photodetector 16 and there is no alternating signal on the photoreceiver's output. If there is an error to the straight angle of the prism, the autocollimation images of the mark are mutually displaced by the value of t. In this case, a different amount of light passes through the modulator 12 at different positions of the brand 3 to the photodetector 16 and a variable light is produced at the photoreceiver output. signal. Since the polarization planes of the autocollimation brand images, as well as the polarization planes of polarizers 13 and 14 of modulator 12, are mutually perpendicular, the variable signals from both brand 3 images have the same phase and in the photodetector 16 are summed up, and the total alternating signal is transmitted the magnitude of the mutual linear displacement of 1 autocollimation images or the magnitude of the error O of the right angle of the prism, and the phase with respect to the reference signal indicates the direction of displacement of the images of mark 3 or the sign of the ) right angle of the prism. The working signal from the photodetector 16 and the signal from the photodetector 20 of the reference branch, after amplification, respectively, in amplifiers 17 and 21 are fed to a synchronous detector 22, and from there to an indicator 23, which indicates the magnitude and sign of the mutual linear offset 1 of the brand’s autocollimation images or the value and error sign tt) right angle of the prism. The error {О of the straight angle of the prism is then determined from the expression (: f-) cos () f Thus, the proposed photo-electric autocollimator makes it possible to measure the error of the right angle of the iris with greater accuracy than the known one. .

Claims (2)

ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ АВТОКОЛЛИМАТОР, содержащий осветительную часть, марку, объектив, отражатель в виде прямоугольной призмы, расположенные между объективом и отражателем два поляризатора с взаимно перпендикулярными плоскостями поляризации, модулятор, фотопрйемную и измерительную части, о т л и ч а ю- щ ий с я тем, что, с целью повышения точности измерения, в него дополнительно введено светоделительное зеркало, которое установлено между поляризаторами и призмой с наклоном на угол / к плоскости входного зрачка объектива в плоскости, перпендикулярной главному сечению призмы, при этом $ определяется двойным неравенствомA PHOTOELECTRIC AUTOCOLIMATOR containing a lighting part, a brand, a lens, a reflector in the form of a rectangular prism, two polarizers located between the lens and the reflector with mutually perpendicular planes of polarization, a modulator, a photo-prism and measuring parts, as a result of which that, in order to increase the measurement accuracy, a beam splitting mirror is additionally introduced into it, which is installed between the polarizers and the prism with an inclination at an angle / to the plane of the entrance pupil of the lens in the plane, perpendi the main cross section of the prism, and $ is determined by the double inequality 2d + 2ηε-2β(> ' где β - удаление центра марки от оптической оси объектива в плоскости наклона зеркала, выраженное,в угловой мере;2d + 2ηε-2β ( > 'where β is the distance from the center of the mark from the optical axis of the lens in the plane of inclination of the mirror, expressed in angular measure; Ч - удаление оси вращения модулятора от оптической оси объектива в плоскости наклона зеркала, выраженное в угло- I * вой мере;H - removal of the axis of rotation of the modulator from the optical axis of the lens in the plane of inclination of the mirror, expressed in angular I * vey measure; сУ - угловой размер марки в плоскости наклона зеркала;SU - the angular size of the brand in the plane of the tilt of the mirror; И - показатель преломления материала призмы;And is the refractive index of the prism material; Е - пирамидальность призмы; .E is the pyramidality of the prism; . М. - угол наклона гипотенузной грани призмы относительно плоскости входного зрачка объектива в плоскости, перпендикулярной ее главному сдченио.M. - the angle of inclination of the hypotenuse face of the prism relative to the plane of the entrance pupil of the lens in a plane perpendicular to its main section. >>
SU833645319A 1983-09-22 1983-09-22 Photoelectric autocollimator SU1157515A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833645319A SU1157515A1 (en) 1983-09-22 1983-09-22 Photoelectric autocollimator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833645319A SU1157515A1 (en) 1983-09-22 1983-09-22 Photoelectric autocollimator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1157515A1 true SU1157515A1 (en) 1985-05-23

Family

ID=21082909

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833645319A SU1157515A1 (en) 1983-09-22 1983-09-22 Photoelectric autocollimator

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1157515A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Патент US 3.031.919, кл. 356-115, опублик. 1962, 2. Авторское свидетельство СССР В« 561925, кл. G 02 В 27/30, 1977, *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0666975B1 (en) Coincidence sensor for optical rangefinders
JP2913984B2 (en) Tilt angle measuring device
KR960035057A (en) Optical measuring method and device of inter-surface distance
JPH01284715A (en) Encoder
SU1157515A1 (en) Photoelectric autocollimator
US4641961A (en) Apparatus for measuring the optical characteristics of an optical system to be examined
US4033696A (en) Lens meter
US4395123A (en) Interferometric angle monitor
US4105335A (en) Interferometric optical phase discrimination apparatus
US6219146B1 (en) Laser reflector alignment
US3161715A (en) Autocollimator and automatic control means therefor
SU968606A1 (en) Photoelectric angle sensor
SU1633277A1 (en) Method of checking the right-angle error of mirror/prism members
US4516854A (en) Interferometric angular measurement system
SU587325A1 (en) Polarization device for measuring the twisting angles of objects
SU457958A1 (en) Two-coordinate photoelectric autocollimator
SU610045A1 (en) Light slitting autocollimator unit
SU380946A1 (en) INTERFEROMETER FOR QUALITY CONTROL OF THE FLAT OPTICAL SURFACE DETAILS
SU528532A1 (en) Photoelectric autocollimator
SU1024707A1 (en) Device for measuring angular displacements
SU1530962A1 (en) Device for inspecting the centering of optical parts
SU706694A1 (en) Photoelectronic automatic collimator
SU693109A1 (en) Device for checking prism angle
SU1753444A1 (en) Optical photoelectric device
SU1582039A1 (en) Device for determining position of focal plane of lens