SU1150502A2 - Device for measuring pressure - Google Patents

Device for measuring pressure

Info

Publication number
SU1150502A2
SU1150502A2 SU833672334A SU3672334A SU1150502A2 SU 1150502 A2 SU1150502 A2 SU 1150502A2 SU 833672334 A SU833672334 A SU 833672334A SU 3672334 A SU3672334 A SU 3672334A SU 1150502 A2 SU1150502 A2 SU 1150502A2
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
solid electrolyte
pressure
electrolyte cell
pumping
current source
Prior art date
Application number
SU833672334A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Василий Германович Баженов
Владимир Егорович Журавлев
Геннадий Михайлович Мурзин
Дмитрий Павлович Подругин
Владимир Васильевич Филимонов
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8855
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8855 filed Critical Предприятие П/Я В-8855
Priority to SU833672334A priority Critical patent/SU1150502A2/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1150502A2 publication Critical patent/SU1150502A2/en

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

УСГРСЛСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ по авт. св. Р 620854, СО отличающеес  тем, что, с целью повьшени  точности, в газовом тракте размещена дополнительна  откачивающа  твердоэлектролитна   чейка, причем откачивакица  твердоэлектролитна  и дозирующа  твердоэлектролитна   чейки последовательно подключены к источнику тока, при этом наружный электрод дозирующей твердоэлектролитной  чейки соединен с отрицательным полюсом источника тока, а наружный электрод откачивающей твердоэлектролитной  чейки с положительным полюсом источника тока.SERVICE FOR MEASURING THE PRESSURE by author. St. P 620854, CO is characterized in that, in order to improve accuracy, an additional pumping solid electrolyte cell is placed in the gas path, the solid electrolyte pumping unit and the solid electrolyte metering unit being pumped are sequentially connected to the current source, while the external circuit of the circuit board is connected to one another. and the outer electrode of the pumping solid electrolyte cell with the positive pole of the current source.

Description

Изобретение относитс  с измерител ной технике, в частности к датчикам давлени  в вакуумных системах.The invention relates to a measuring technique, in particular, to pressure sensors in vacuum systems.

По основному авт. св. N 620854 известно устройство, содержащее потенциометрическую твердоэлектролитную  чейку с измерителем ЭДС, рабоа  камера которой с одной стороны соединена с вакуумной системой газовым трактом, а с другой стороны - с натекателем газа, выполненным в виде дозирующей твердоэлектролитно  чейки с источником тока ij .According to the main author. St. N 620854, a device is known that contains a potentiometric solid electrolyte cell with an EMF meter, the operation of which is connected to the vacuum system by a gas path on the one hand and a gas leak inlet in the form of a dosing current source ij on the other hand.

Известное устройство характеризуетс  ограниченной областью применени  и недостаточной точностью измерени  давлени  в вакуумных системах небольших объемов, в св зи с тем что из-за сравнительного газа , (чистого кислорода), поступающего из натекател  в вакуумную систему, происходит как изменение давлени , так и изменение содержани  кислорода в вакуумной системе.The known device is characterized by a limited scope and insufficient accuracy of pressure measurement in vacuum systems of small volumes, due to the fact that due to the comparative gas (pure oxygen) coming from the inlet to the vacuum system, both the pressure change and the content change. oxygen in the vacuum system.

Цель изобретени  - повышение точностн измерени  и расширение области применени .The purpose of the invention is to improve the accuracy of measurement and the expansion of the field of application.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  измерени  давлени  в газовом тракте размещена дополнительна  откачивающа  твердоэлектролитна   чейка, причем откачивающа  твердоэлектролитна  и дози- . рующа  твердоэлектролитна   чейки последовательно подключены к тока, при этом наружный электрод дозирующей твердоэлектролитной  чейки соединен с отрицательным полюсом источника тока, а наружный электрод откачивающей твердоэлектролитной  чейки - с положительным полюсом источника тока.This goal is achieved by the fact that an additional pumping solid electrolyte cell is placed in a device for measuring pressure in the gas path, the pumping solid electrolyte and dosage pumping cell. The operating solid electrolyte cell is connected in series to the current, while the outer electrode of the metering solid electrolyte cell is connected to the negative pole of the current source, and the outer electrode to the pumping solid electrolyte cell to the positive pole of the current source.

Работа устройства основана на создании в рабочей камере потенциометрическо твердоэлектролитной  чейки сравнительной среды - чистого кислорода, получаемого из натекател , причем давление в рабочей камере поддерживаетс  равным давлению в вакуумной системе, Откачивающа  твердоэлектролитна   чейка служит дл  полной откачки кислорода, поступающего по газовому тракту из натекател , причем откачиваетс  кислорода столько же, сколько накачиваетс  с помощью натекател , в св зи с тем что натекатель и откачивающа  твердоэлектролитна   чейка подключены последовательно к источнику тока.The operation of the device is based on the creation in the working chamber of a potentiometric solid electrolyte cell of a comparative medium — pure oxygen obtained from the accumulator, while the pressure in the working chamber is maintained equal to the pressure in the vacuum system. The pumping solid electrolyte cell serves to fully pump oxygen through the gas path from the accumulator oxygen is pumped out as much as it is pumped with the aid of a leak, due to the fact that the leak and pumping solid electrolyte cheyk and connected in series to the current source.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства дл  измерени  давлени .The drawing shows the scheme of the proposed device for measuring pressure.

Натекатель, выполненный в виде дозирующей твердоэлектролитной  чейки 1 с источником 2 тока, сообщен с входом рабочей камеры потенциометрической твердоэлектролитной  чейки 3, выход рабочей камеры которой сообщаетс  через газовый тракт 4 .с вакуумной системой 5. К электродам потенциометрической твердоэлектрической  чейки 3 подключен измеритель 6 ЭДС. В газовом тракте 4 размщена откачивающа  твердоэлектролитна   чейка 7. Дозирующа  твердоэлектролитна   чейка 1 и откачивающа  твердоэлектролитна   чейка 7 подключены последовательно к источнику 2 тока, причем наружный электрод твердоэлектролитной  чейки 1 подключен к отрицательному полюсу источника 2 тока, а наружньш электрод твердоэлектролитной  чейки 7 к положительному полюсу.The leak, made in the form of a metering solid electrolyte cell 1 with a current source 2, is connected to the input chamber of a potentiometric solid electrolyte cell 3, the output of which chamber communicates via the gas path 4 with a vacuum system 5. An electromotive voltage meter 6 is connected to the electrodes of the potentiometric solid electrolyte cell 3. In the gas path 4, a pumping solid electrolyte cell 7 is expanded.

Измерение -давлени  осутцествл етс следующим образом.The measurement of pressure is measured as follows.

Натекатель, выполненньй в виде твердоэлектролитной  чейки 1, под действием тока от источника 2 тока дозирует кислород, который поступае в потейциометрическую твердоэлектролитную  чейку 3, давление в которой поддерживаетс  равным давлению в вакуумной системе.The leak, made in the form of a solid electrolyte cell 1, under the action of a current from a current source 2, dispenses oxygen, which enters the potentiometric solid electrolyte cell 3, the pressure of which is maintained equal to the pressure in the vacuum system.

На электродах твердоэлектролитной  чейки 3 возникает ЭДС, измер ема  измерителем 6 ЭДС. Давление в вакуумной системе равноAt the electrodes of the solid electrolyte cell 3, an emf occurs, as measured by a 6 emf meter. The pressure in the vacuum system is

Р 0,207. . ,P 0.207. . ,

где Е - ЭДС по измерителю 6; Р - атмосферное давление.where E - EMF meter 6; P - atmospheric pressure.

В известном устройстве в вакуумную систему посто нно поступает сранительный газ - кислород. Давление и содержание кислорода в вакуумной системе увеличиваютс  тем быстрее, чем меньше измер емое давление газа в вакуумной системе и чем меньше объем вакуумной системы.In the known device, the transporting gas — oxygen — is continuously supplied to the vacuum system. The pressure and oxygen content in the vacuum system increases the faster, the lower the measured gas pressure in the vacuum system and the smaller the volume of the vacuum system.

Дл  устранени  указанных недостатков предлагаемое устройство содержит дополнительную откачивающую твердоэлектролитную  чейку 7, расположеннузо в газовом тракте 4 между потенциометрической твердоэлектро .3 1To eliminate these drawbacks, the proposed device contains an additional pumping solid electrolyte cell 7 located in the gas path 4 between the potentiometric solid-electric one. 3 1

литной  чейкой 3 и вакузтной системой 5. Откачивающа  твердоэлектролитна   чейка 7 необходима дл  полной откачки сравнительного газа (кислорода), поступающего от натекател  1 через потенциометрическую твердоэлектролитную 3  чейку, газовый тракт 4, причем откачиваетс  кислорода столько же, сколько накачиваетс  натекателем 1, в св зи с тем что натекатель 1 и откачивакща  твердоэлектролнтна   чейка 7 последовательно подключены к источнику 2 тока , причем наружный электрод твердоэлектролитной  чейки 1 присоединен к отрицательному полюсу источникаcell 3 and a vacuum system 5. Pumping solid electrolyte cell 7 is necessary for full pumping of the comparative gas (oxygen) coming from the effluent 1 through the potentiometric solid electrolyte 3 cell, gas path 4, and oxygen is pumped out as much as oxygen pumped by leakage 1, in connection with so that the leaker 1 and pump-out of the solid-electron cell 7 are connected in series to the current source 2, and the outer electrode of the solid-electrolyte cell 1 is connected to the negative pole of regular enrollment

505024505024

тока, а наружный электрод твердоэлектролитной  чейки 7 - к положительному полюсу источника тока.current, and the outer electrode of the solid electrolyte cell 7 - to the positive pole of the current source.

Введение в устройство дополнительной откачивакщей твердоэлектролитной  чейки 7 позвол ет расширить область применени  устройства (производить измерени  давлени  газа в малых объемах) и повысить точность измерени  давлени  (погрешность измерени  ±2 относ.% против i5 относ.% из вестного устройства) благодар  тому, что сравнительный газ (чистый кислород ) не поступает в вакуумную систеf5 му и не измен ет содержани  кислорода и давлени  в вакуумной системе.The introduction of an additional pumping solid electrolyte cell 7 into the device allows the device to be used (to measure gas pressure in small volumes) and to increase the pressure measurement accuracy (measurement error ± 2 relative% against i5 relative% of the known device) due to the fact that the gas (pure oxygen) does not enter the vacuum system and does not change the oxygen content and pressure in the vacuum system.

SU833672334A 1983-12-05 1983-12-05 Device for measuring pressure SU1150502A2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833672334A SU1150502A2 (en) 1983-12-05 1983-12-05 Device for measuring pressure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833672334A SU1150502A2 (en) 1983-12-05 1983-12-05 Device for measuring pressure

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU620854A Addition SU141217A1 (en) 1959-03-04 1959-03-04 Device for signaling a decrease in the insulation resistance of a cable and determining a section with a reduced value of insulation resistance

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1150502A2 true SU1150502A2 (en) 1985-04-15

Family

ID=21092767

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833672334A SU1150502A2 (en) 1983-12-05 1983-12-05 Device for measuring pressure

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1150502A2 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство С В 620в54, кл. G 01 L 11/00, 1978 (прототип). *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB1472423A (en) Gas analysis apparatus
US5413683A (en) Oxygen sensing apparatus and method using electrochemical oxygen pumping action to provide reference gas
JP6058153B2 (en) Method for operating a solid electrolyte sensor element including a pump cell
EP0082372A3 (en) System for detection of air/fuel ratio in ic engine by using oxygen sensor operated with supply of current
EP0974834A3 (en) Gas sensor with solid and liquid electrolytes connected in series between first and second electrodes
US6842705B2 (en) Gas flow rate measuring device and gas flow rate measuring method
GB1073099A (en) Improvements in or relating to electro-chemical gas measuring system
SU1150502A2 (en) Device for measuring pressure
JP2880273B2 (en) Oxygen concentration detector
US20090038941A1 (en) Device for Determining the Concentration of a Component in a Gas Mixture
US9557291B2 (en) Sensor control device
CN107764885B (en) Apparatus and method for measuring gas concentration
US5580440A (en) Air fuel ratio sensory
KR910004222B1 (en) Air-fuel ratio detecting device
JPH09297119A (en) Nitrogen oxides detecting device
JP3110848B2 (en) Air-fuel ratio detector
JP3487990B2 (en) Self-calibration type oxygen analysis method and device
JPH02128155A (en) Oxygen sensor
SU1138711A1 (en) Material for gas permeability determination method
SU1453301A1 (en) Method of analyzing gas composition
DE59712916D1 (en) ELECTROCHEMICAL MEASURING PROBE
RU2094793C1 (en) Hydrogen fluoride generator
SU446822A1 (en) Device for determining the concentration of oxygen
JPS60192250A (en) Oxygen sensor
RU1784907C (en) Oxygen partial pressure metering method