SU1127460A1 - Способ исследовани лазерной плазмы - Google Patents
Способ исследовани лазерной плазмы Download PDFInfo
- Publication number
- SU1127460A1 SU1127460A1 SU833601489A SU3601489A SU1127460A1 SU 1127460 A1 SU1127460 A1 SU 1127460A1 SU 833601489 A SU833601489 A SU 833601489A SU 3601489 A SU3601489 A SU 3601489A SU 1127460 A1 SU1127460 A1 SU 1127460A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ionization
- plasma
- laser plasma
- laser
- electrons
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000002386 leaching Methods 0.000 abstract 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 229920004934 Dacron® Polymers 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ, заключающийс в ударной ионизации атомов электронным пучком и регистрации образующихс ионов, отличающийс тем, что, с целью расширени возможностей анализа нейтральной компоненты за счет повьппени эффективности ионизации, пучок образуют из собственных электронов лазерной -3 плазмы концентрации 10 - 10 см путем разрыва плазмы, вьщелени и ускорени электронов до энергий ионизации. .
Description
1 Изобретение относитс к физике плазмь и может быть применено на установках на которых исследуетс взаимодействие лазерного излучени с веществом. При относительно умеренных интенсивност х лазерного излучени продукты разлета плазменного факела будут содержать большую долю нейтральных частиц. Присутствие нейтральных атомов может быть обна ружено, в частности, путем их иони зации электронным ударом и последу щего анализа на масс-спектрометре. Известен способ измерени энергетического спектра нейтральных частиц с помощью механической развертки во времени потока испаренного вещества. Поток плазмы, расшир ю цийс с поверхности JИшeни, диафрагмировалс и попадал на вращающийс лавсановый диск, что позвол ло иметь его временную разверт ку гп. Однако известный способ имеет р д недостатков. Достоверно измер ют лишь низкоэнергетическую част спектра, есть трудности в определении абсолютных значений концентраций , известный способ не позвол еТ измерить целый р д энергетических и угловых характеристик, напри мер изучить динамику формировани угловых и энергетических спектров нейтральных атомов. Наиболее близким техническим ре шением к предлагаемому вл етс способ исследовани лазерной плазмы , заключающийс в ударной иониза ции атомов электронным пучком и регистрации образовавшихс ионов Основной недостаток, такого спос ба состоит в том, что эффективност ионизации мала. Причина этого в быстром прохождении нейтральными атомами области ионизации (со скорост ми л-Ю - Ю см/с), поэтому мало врем взаимодействи с электронами (пор дка 1 мкс) и мала область ионизации. Недостатком в .л етс также то, что исследуютс нейтральные атомы,, образующиес только в режиме неразрушающегос лазерного испарени материала 41, Вт/см). Целью изобретени вл етс расширение возможности анализа нейтральной компоненты лазерной плазмы за счет повышени эффективности ионизации . Поставленна цель достигаетс тем, что в способе исследовани .лазерной плазмы, заключающемс в ударной ионизации атомов электронным пучком и регистрации образующихс ионов, пучок образуют из собственных электронов лазерной плазмы концентрации -10 - 10 см путем разрыва плазмы, вьщелени и ускорени электронов до энергии ионизации . ударной ионизации нейтральной компоненты используют собственные электроны лазерной плазмы, которые имеют большие концентрации, а ионизаци идет по пути разлета нейтральных атомов, что увеличивает врем ионизации. Даже при относительно умеренных мощност х лазерного Излучени с облучаемого п тна можно снимать большие токи (в особенности большие плотности тока). Однако известно, что энергии направленного движени электронов , в диапазоне плотностей лазерного излучени - 10 - 5-10 Вт/см составл ют -10 эВ, что вно недостаточно дл ионизации нейтральных атомов, причем плазма сохран ет квазинейтральность. Поэтому дл того, чтобы электроны приобрели необходимую дл ионизации энергию, нужно разрушить плазму и ускорить электроны. Экспериментально показано, что при работе лазера б режиме модулированной добротности с энергией Е 0,01-0,03 Дж с длительностью импульса 15 не, с фокусировкой излучени до 2-10 см, при плотности мощности на мишени c{, - 10 Вт/см образуетс плазменный факел, содеращий нейтральные атомы, которые составл ют до 90% частиц в продуктах азлета в количестве атоов , а количество электронов достигает . Вьщеленные из лазерной плазмы и ускоренные электроны риобретают энергию, необходимую л эффективной ионизации (50100 Эв), прошивают поток нейтральых атомов по пути разлета. Большие лотности нейтральной и электроной компонент, а также относительно ольшое по сравнению с прототипом врем взаимодействи обуславливают эффективную ионизацию. Принципиальным отличием предлага мого способа исследовани лазерной плазмы вл етс повьшение эффективности ионизации нейтральной компоненты , по крайней мере, на два-три пор дка по сравнению с прототипом, а также проведение анализа нейтраль ных атомов не только в режиме лазер ного испарени материала, но и в режимах образовани лазерной плазмы . Пример. Экспериментально по казано, что предлагаемый способ поз вол ет определить, например, дл V г 10 Вт/см и при Ng-IO см следующие параметры потока атомов в зависимости от материала мишени: N-.-10 - 10 ат/см, длительност С 10-50 МКС, скорость пакетов и -(1-5) -10 см/с, V концентраци 10 - сматомов в струе г NO,Дл свинца это соответствует -1 -Ю ат/с ;м , длительность сгустка 20 МКС, скорость Voc концентраци 5-Ю см . Мак симумы энергетических спектров лежат в диапазоне нескольких дес тков эВ. Эффективность ионизации .10 На чертеже показано устройство дл реализации Предлагаемого способа . Устройство содержит лазер 1, фокусирующий объектив 2, облучаемую мишень 3, ионизатор, состо щий из двух сеточных электродов, сеточный, имеющий размер чейки меньше радиуса Деба и наход щийс под земл ным потенциалом электрод 4 и ускор ющий сеточный электрод 5, а также масс-спектрометрический тракт 6. Использование способа исследовани ла-зерной плазмы обеспечивает расширение возможности измерени различных энергетических и угловых характеристик нейтральной компоненты лазерной плазмы, позвол ет изучить динамику формировани спектров нейтральньк атомов, дает возможность проводить исследовани нейтральной компоненты не только в режимах лазерного испарени материала , но и в режимах образовани лазерной плазмы.
Claims (1)
- СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ, заключающийся в ударной ионизации атомов электронным пучком и регистрации образующихся ионов, отличающийся тем, что, с целью расширения возможностей анализа нейтральной компоненты за счет повышения эффективности ионизации, пучок образуют из собственных электронов лазерной плазмы концентрации 1О10 - 1014 см-3 путем разрыва плазмы, выделения и ускорения электронов до энергий ионизации. ..SU .„.1127460 f
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833601489A SU1127460A1 (ru) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | Способ исследовани лазерной плазмы |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833601489A SU1127460A1 (ru) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | Способ исследовани лазерной плазмы |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1127460A1 true SU1127460A1 (ru) | 1985-05-30 |
Family
ID=21067061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833601489A SU1127460A1 (ru) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | Способ исследовани лазерной плазмы |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1127460A1 (ru) |
-
1983
- 1983-05-31 SU SU833601489A patent/SU1127460A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Ахсахал н А.Д. и др. Характеристики эррозионной лазерной плазмы на стадий инерциального разлета. Журнал технической физики, т. 52, № 8, с. 1584, 1982. 2. Энергетическое распределение нейтральных компонент селенида кадми , испар емых под действием лазерного излучени . Журнал технической физи1си, т. 51, №8, с. 1690, 1981. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4775789A (en) | Method and apparatus for producing neutral atomic and molecular beams | |
US6137110A (en) | Focused ion beam source method and apparatus | |
Doria et al. | A study of the parameters of particles ejected from a laser plasma | |
US6040574A (en) | Atmospheric-particle analyzer | |
US5164592A (en) | Method and apparatus for mass spectrometric analysis | |
US6985553B2 (en) | Ultra-short ion and neutron pulse production | |
Wang et al. | Airborne nanoparticle characterization with a digital ion trap–reflectron time of flight mass spectrometer | |
SU1127460A1 (ru) | Способ исследовани лазерной плазмы | |
CN112074927B (zh) | 用于粒子的质谱分析的装置和方法 | |
JP3752259B2 (ja) | クラスターイオンビームスパッター方法 | |
JPH0542101B2 (ru) | ||
RU2096856C1 (ru) | Способ получения ионного пучка и устройство для его осуществления | |
SU695295A1 (ru) | Способ масс-спектрометрического анализа твердых тел и устройство дл его осуществлени | |
Abbas et al. | Spectroscopic studying of plasma parameters for PbS prepared by pulse Nd: YAG laser deposition | |
Crance | Electron energy spectrum after multiphoton ionisation | |
JPH0622109B2 (ja) | 二次イオン質量分析計 | |
JPH11256334A (ja) | Cn薄膜の形成方法及びcn薄膜形成装置 | |
JP3055159B2 (ja) | 中性粒子質量分析装置 | |
JPH059899B2 (ru) | ||
Pellin et al. | Focused ion beam source method and apparatus | |
SU776389A1 (ru) | Устройство дл исследовани диэлектриков ионными пучками | |
Belloni et al. | Development of an ion source via laser ablation plasma | |
CREMER | Experimental study of laser produced ions for collective ion acceleration[Ph. D. Thesis] | |
SU511752A1 (ru) | Лазерно-плазменный источник ионов | |
Apollonov | Part1. Multi Charged Ions and Mass Spectrometry |