1 Изобретение относитс к физике плазмь и может быть применено на установках на которых исследуетс взаимодействие лазерного излучени с веществом. При относительно умеренных интенсивност х лазерного излучени продукты разлета плазменного факела будут содержать большую долю нейтральных частиц. Присутствие нейтральных атомов может быть обна ружено, в частности, путем их иони зации электронным ударом и последу щего анализа на масс-спектрометре. Известен способ измерени энергетического спектра нейтральных частиц с помощью механической развертки во времени потока испаренного вещества. Поток плазмы, расшир ю цийс с поверхности JИшeни, диафрагмировалс и попадал на вращающийс лавсановый диск, что позвол ло иметь его временную разверт ку гп. Однако известный способ имеет р д недостатков. Достоверно измер ют лишь низкоэнергетическую част спектра, есть трудности в определении абсолютных значений концентраций , известный способ не позвол еТ измерить целый р д энергетических и угловых характеристик, напри мер изучить динамику формировани угловых и энергетических спектров нейтральных атомов. Наиболее близким техническим ре шением к предлагаемому вл етс способ исследовани лазерной плазмы , заключающийс в ударной иониза ции атомов электронным пучком и регистрации образовавшихс ионов Основной недостаток, такого спос ба состоит в том, что эффективност ионизации мала. Причина этого в быстром прохождении нейтральными атомами области ионизации (со скорост ми л-Ю - Ю см/с), поэтому мало врем взаимодействи с электронами (пор дка 1 мкс) и мала область ионизации. Недостатком в .л етс также то, что исследуютс нейтральные атомы,, образующиес только в режиме неразрушающегос лазерного испарени материала 41, Вт/см). Целью изобретени вл етс расширение возможности анализа нейтральной компоненты лазерной плазмы за счет повышени эффективности ионизации . Поставленна цель достигаетс тем, что в способе исследовани .лазерной плазмы, заключающемс в ударной ионизации атомов электронным пучком и регистрации образующихс ионов, пучок образуют из собственных электронов лазерной плазмы концентрации -10 - 10 см путем разрыва плазмы, вьщелени и ускорени электронов до энергии ионизации . ударной ионизации нейтральной компоненты используют собственные электроны лазерной плазмы, которые имеют большие концентрации, а ионизаци идет по пути разлета нейтральных атомов, что увеличивает врем ионизации. Даже при относительно умеренных мощност х лазерного Излучени с облучаемого п тна можно снимать большие токи (в особенности большие плотности тока). Однако известно, что энергии направленного движени электронов , в диапазоне плотностей лазерного излучени - 10 - 5-10 Вт/см составл ют -10 эВ, что вно недостаточно дл ионизации нейтральных атомов, причем плазма сохран ет квазинейтральность. Поэтому дл того, чтобы электроны приобрели необходимую дл ионизации энергию, нужно разрушить плазму и ускорить электроны. Экспериментально показано, что при работе лазера б режиме модулированной добротности с энергией Е 0,01-0,03 Дж с длительностью импульса 15 не, с фокусировкой излучени до 2-10 см, при плотности мощности на мишени c{, - 10 Вт/см образуетс плазменный факел, содеращий нейтральные атомы, которые составл ют до 90% частиц в продуктах азлета в количестве атоов , а количество электронов достигает . Вьщеленные из лазерной плазмы и ускоренные электроны риобретают энергию, необходимую л эффективной ионизации (50100 Эв), прошивают поток нейтральых атомов по пути разлета. Большие лотности нейтральной и электроной компонент, а также относительно ольшое по сравнению с прототипом врем взаимодействи обуславливают эффективную ионизацию. Принципиальным отличием предлага мого способа исследовани лазерной плазмы вл етс повьшение эффективности ионизации нейтральной компоненты , по крайней мере, на два-три пор дка по сравнению с прототипом, а также проведение анализа нейтраль ных атомов не только в режиме лазер ного испарени материала, но и в режимах образовани лазерной плазмы . Пример. Экспериментально по казано, что предлагаемый способ поз вол ет определить, например, дл V г 10 Вт/см и при Ng-IO см следующие параметры потока атомов в зависимости от материала мишени: N-.-10 - 10 ат/см, длительност С 10-50 МКС, скорость пакетов и -(1-5) -10 см/с, V концентраци 10 - сматомов в струе г NO,Дл свинца это соответствует -1 -Ю ат/с ;м , длительность сгустка 20 МКС, скорость Voc концентраци 5-Ю см . Мак симумы энергетических спектров лежат в диапазоне нескольких дес тков эВ. Эффективность ионизации .10 На чертеже показано устройство дл реализации Предлагаемого способа . Устройство содержит лазер 1, фокусирующий объектив 2, облучаемую мишень 3, ионизатор, состо щий из двух сеточных электродов, сеточный, имеющий размер чейки меньше радиуса Деба и наход щийс под земл ным потенциалом электрод 4 и ускор ющий сеточный электрод 5, а также масс-спектрометрический тракт 6. Использование способа исследовани ла-зерной плазмы обеспечивает расширение возможности измерени различных энергетических и угловых характеристик нейтральной компоненты лазерной плазмы, позвол ет изучить динамику формировани спектров нейтральньк атомов, дает возможность проводить исследовани нейтральной компоненты не только в режимах лазерного испарени материала , но и в режимах образовани лазерной плазмы.