Изобретение относитс к вакуумной технике. По основному авт.св. № 737657 известен вертикальный турбомолекул рный насос, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на подшипнике , имеющем подвижное и неподвижное кольца, причем на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан, со стороны, противоположной подшипнику на неподвижном кольце последнего втулка , а вдоль оси внутренней полос ти ротора установлен при помощи упругих опор невращающийс стержень концы jcoToporo снабжены шаровыми опорами, образующими шарнирные соединени с втулкой неподвижного коль ца и со стаканом Л. Недостаток известного насоса про вл етс в нарушени х стабильности динамической уравновешенности ротора при внешних унарных и вибрационных нагрузках что приводит к необходимости прерьгоани технологического процесса. Отказы и аварийные состо ни турбомолекул рных насосов при воздействии внешних динамических нагрузок вызываютс нарушением контактов и необходимого трени между поверхност ми шаровых опор и втулок и по влением люфта в подшипнике ротор Цель изобретени - повышение надежности работы путем стабилизации динамической уравновешенности ротора Указанна цель достигаетс тем, что в вертикальном турбомолекул рном насосе, содержащем корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на подшипни ке, имеющем подвижное и неподвижное кольца, причем на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан, со стороны, противоположной подшипнику на неподвижном кольце последнего втулка , а вдоль оси внутренней полости ротора установлен при помощи упругих опор невращающийс стержень концы которого снабжены шарнирными опорами, образующими шарнирные соедThe invention relates to vacuum technology. According to the main auth. No. 737657 a vertical turbomolecular pump is known, comprising a housing and a rotor with an internal cavity mounted therein, mounted on a bearing having a movable and stationary ring, and a cup is fixed on the inner surface of the housing, on the side opposite to the bearing on the stationary ring of the latter, the sleeve. The inner rotor axis of the rotor is installed with the help of elastic supports. Non-rotating rod. The ends of jcoToporo are equipped with ball-bearing supports that form hinged joints with the sleeve of the fixed ring and with Takanen L. drawback of the known pump is manifested in disorders stability dynamic balance of the rotor with external unary and vibration loads which necessitates prergoani process. Failures and emergency conditions of turbomolecular pumps when exposed to external dynamic loads are caused by a breakdown in the contacts and necessary friction between the surfaces of the ball bearings and bushings and the appearance of play in the rotor bearing. The purpose of the invention is to increase the reliability of operation by stabilizing the dynamic balance of the rotor. in a vertical turbomolecular pump, comprising a housing and a rotor with an internal cavity located in it, mounted on a bearing with a movable a stationary ring, wherein the inner surface of the housing is fixed glass on the side opposite the bearing ring on the stationary sleeve latter, and along the interior of the rotor shaft is mounted by means of resilient supports nevraschayuschiys rod the ends of which are provided with hinged legs which form the hinge Ser
нени со втулкой неподвижного кольца и со стаканом, ротор снабжен дополнительным псдщипником с подвижным и неподвижным кольца ш, последнее из которых установлено на втулке с возможностью осевого перемещени .With a fixed ring bushing and a cup, the rotor is equipped with an additional ring with a movable and fixed ring w, the last of which is mounted on the sleeve with the possibility of axial movement.
щающегос стержн с втулкой и стаканом и усилий аксиального нагружени неподвижных колец подшипников относительно вращакицихс как в отсутствии внешних сил, так и при их действии . а каждое шарнирное соединение снабжено демпфирующим вкладышем. На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез. Вертикальньй турбомолекул рньй насос содержит корпус 1 и расположенный в нем ротор 2 с внутренней полостью, установленный на подшипнике , имеющем подвижное и неподвижное кольца 3 и 4. На внутренней поверхности корпуса 1 закреплен стакан 5, со стороны, противоположной подшипнику , на неподвижном кольце 4 последнего - втулка 6, а вдоль оси внутренней полости ротора 2 установлен при помощи упругих опор 7 невращающийс стержень 8, концы которого снабжены шаровыми опорами 9 и 10, образующими шарнирные соединени с втулкой 6 неподвижного кольца 4 и со стаканом 5. Ротор 2 снабжен дополнительным подшипником с подвижным и неподвижным кольцами11 и 12, последнее из которых установлено во втулке 6 с возможностью осевого перемещени , а каждое шарнирное соединение снабжено демпфирующим вкладьшхем 13. Дл вьйорки осевых люфтов в подшипниках и создани контактных усилий в шарнирном соединении втулки 6 с невращаюпщмис стержнем 8 ме аду шарнирным соединением и втулкой 6 устанавливаетс пружина 14. Насос работает следующим образом. При вращении ротора 2 стержень 8 позвол ет зан ть ему устойчивое положение . Введение в подвеску ротора 2 дополнительного подшипника, неподвижное 12 которого опираетс на шаровую опору 9, и снабжение шарнирных соединений демпфирующими вкладьш1ами 13 позвол ет сохранить плотность контактов как в подшипниках ротора 2, так и в шарнирном соединении невращающегос стержн 8 со втулкой 6. Таким образом, предлагаема конструкци насоса позвол ет обеспечить посто нство контактных усилий и трени шарнирных соединений невраspider rod with sleeve and cup and axial loading forces the fixed bearing rings relative to the rotation, both in the absence of external forces and in their action. and each swivel is provided with a damping liner. The drawing shows the proposed pump, a longitudinal section. The vertical turbomolecular pump contains a housing 1 and a rotor 2 with an internal cavity mounted on a bearing having a movable and stationary ring 3 and 4 located on it. On the inner surface of the housing 1 is fixed a cup 5, on the side opposite to the bearing, on a fixed ring 4 of the latter - sleeve 6, and along the axis of the inner cavity of the rotor 2 is installed with the help of elastic supports 7 non-rotating rod 8, the ends of which are equipped with ball bearings 9 and 10, forming hinge joints with sleeve 6 of the fixed ring 4 and with takan 5. The rotor 2 is equipped with an additional bearing with moving and stationary rings 11 and 12, the latter of which is mounted in the sleeve 6 with the possibility of axial movement, and each swivel joint is equipped with a damping insert 13. For axial play in the bearings and create contact forces in the hinge joint sleeve 6 with a non-rotating shaft 8 between the hinge and sleeve 6 is installed spring 14. The pump operates as follows. When the rotor 2 rotates, the rod 8 allows it to occupy a stable position. An introduction to the suspension of the rotor 2 of an additional bearing, the fixed 12 of which rests on the ball bearing 9, and supplying the hinge joints with damping bushings 13 allows maintaining contact density both in the rotor bearings 2 and in the hinge joint of the non-rotating rod 8 with the hub 6. Thus The proposed pump design allows for a constant contact force and friction of the articular joints of the neurus.