SU1121319A1 - Устройство дл нанесени покрытий в вакууме - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее рабочую камеру, шлюзовую загрузочно-разгрузочную камеру, механизм транспортировани  обрабатываемых изделий, выполненный в виде поворотной плиты, установленной между рабочей и шлюзовой загрузочно-разгрузочной камерами с возможностью вращени  вокруг оси, совпадающей с ее осью симметрии, герметичное уплотнение и привод возвратно-поступательного перемещени , о тличающеес  тем, что, с целью повышени  надежности устройства и упрощени  его конструкции, поворотна  плита соединена с приводом воз-, вратно-поступательного перемещени  с возможностью попеременного взаимодействи  одной из своих .плоскостей с корпусом шлюзовой загрузочно-разгрузочной камеры через герметизирующее уплотнение. (Л

Description

д : ;о 11 Изобретение относитс  к вакуумным установкам со шлюзовыми системами загрузки-выгрузки изделий в производстве электронной техники, радиотехники и др. Известно устройство дл  нанесени  покрытий в вакууме, содержащее рабочую камеру, шлюзовую загрузочно-разгрузочную камеру, соединенную с рабочей камерой через герметичный затвор, механизм транспортировани  изделий из шлюзовой камеры в рабочую и обратно 1. Шлюзова  загрузочно-разгрузочна  камера в таком устройстве отдел етс  от рабочей камеры вакуумноплотно затвором с приводом. Дл  транспортировани  изделий из шлюзовой загрузочно-разгрузочной камеры используютс  транспортирующие механизмы, направл ющие в рабочей и шлюзовой камере, элементы фиксации держателей изделий в рабочей и шлюзовой камерах. Однако так как направл ющие системы транспортировани  держателей издеЛИЙ имеют разрыв в месте размещени  затвора, то это снижает надежность перемещени  держателей издели . Усложн етс  внутрикамерна  оснастка рабочей камеры из-за наличи  в ней элементов транспортировани  изделий и их фиксации. Кроме того, вакуумна  установка с одной шлюзовой камерой имеет недостаточную производительность так как во врем  ведени  камера остаетс  пустой в ожидании выгрузки обработанных изделий. Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  устройство дл  нанесени  покрытий в вакууме, содержащее рабочую камеру шлюзовую загрузочную камеру, соединенную с рабочей камерой -через герме тичный затвор, и механизм транспортировани  обрабатываемых изделий, в которой механизм транспортировани  обрабатываемых изделий выполнен в ви де поворотной плиты, установленной на оси вращени , совпадающей с ее осью симметрии между рабочей и шлюзо вой загрузочно-разгрузочной камерами на плоскост х которой закреплены дер жатели обрабатываемых изделий, а герметичный затвор выполнен в виде, герметизирующей шайбы, установленной с возможностью возвратно-поступатель ного перемещени  и взаимодействи  ее с поворотной плитой и корпусом загру 92 зочно-разгрузочной камеры через концентричПые уплотнени  2j . Загрузка - выгрузка изделий в этой установке осуществл етс  с помощью поворотной плиты, ось вращени  которой неподвижно установлена между рабочей и шлюзовой камерами; Герметизаци  рабочей камеры от шлюзовой осуществл етс  с помощью герметизирующей шайбы, котора  выполн ет роль затвора. Однако при напуске воздуха в шлюзовую загрузочно-разгрузочную камеру поворотна  плита выдерживает дваление атмосферы. Так как поворотна  плита установлена на оси вращени , то вс  нагрузка атмосферы .через поворотную плиту передаетс  на ее ось вращени  и происходит деформаци  прогиб поворотной плиты по ее краю относительно неподвижной оси вращени . А поскольку герметизирующа  шайба (затвор) через внешнее уплотнение взаимодействует с корпусом камеры и потому неподвижна, то сдеформированные плоскостиплиты отход т от внутреннего уплотнени  шайбы. В результате нарушаетс  герметичность рабочей камеры, и в нее попадает воздух, что снижает надежность герметизации рабочей ка:меры. Кроме того, при нанесении покрыти  на издели  в рабочей камере пленки распыл емого материала осаждаетс  на всю плоскость поворотной плиты, обращенную в объем рабочей камеры. В процессе эксплуатации, т.е. после многократных напылений пленка трескаетс , шелушитс  и отслаиваетс . После поворота плиты на 180 под внутренним уплотнением герметизирующей шайбы оказываетс  поверхность поворотной плиты с такой напыленной пленкой, в результате чего надежность герметизации камеры относительно друг друга снижаетс , а порой и совсем не достигаетс . Указанное устройство имеет также достаточно сложную конструкцию герметизирующей шайбы с приводом, котора  должна повторить профиль наружного контура поворотной плиты и содержать на своей поверхности два концентричных уплотнени . Между приводом и герметизирующей шайбой находитс  cijcTeма рычагов, котора  загромождает объем шлюзовой камеры, затрудн ет доступ и загрузку - выгрузку держателей изделий.

Цель изобретени  - повышение надежности устройства и упрощение его конструкции.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  йанесени  покрыти  в вакууме, содержащем рабочую камеру, шлюзовую загрузочно-разгрузочную камеру, механизм транспортировани  обрабатываемых изделий, выполненный в виде поворотной плиты, установленной между рабочей и шлюзовой загрузочно-разгрузочной камерами с возможностью вращени  вокруг оси, совпадающей с ее осью симметрии, герметичное уплотнение и привод возвратно-поступательного перемещени , поворотна  плита соединена с приводом возвратно-поступательного перемещени  с возможностью попеременного взаимодействи  одной из своих плоскоетей с корпусом шлюзовой загрузочноразгрузочной камеры через герметизи-. рующее уплотнение.

Така  вакуумна  установка не требуещ дополнительного устройства герметизации рабочей камеры от шлюзовой загрузочно-разгрузочной камеры, выполненного в виде отдельного вакуумного затвора. Поворотна  плита в данном случае,  вл  сь механизмом транспортировани  издели , одновременно выполн ет функции вакуумного затвора. При этом дл  герметизации рабочей камеры от шлюзовой достаточно только одно уплотнение, закрепленное на корпусе шлюзовой камеры. Так как в данной установке по сравнению с прототипом исключен отдельный механизм вакуумный затвор - и одно из двух уплотнений герметизирующих камеры относительно друг друга, то достигаетс  упрощение конструкции установки, Поскольку ось вращени  поворотной плиты не несет нагрузки от давлени  атмосферного воздуха из шлюзовой камеры , то требовани  к жесткости и прочности оси значительно меньше.

Надежность герметизации рабочей камеры повышаетс  ввиду того, что поверхность плиты в Месте соприкосновени  с уплотнением не запыл етс  пленкой, так как эта зона заэкранирована стенной рабочей камеры.

Надежность герметизации повышаетс  также за счет того, что усилие, созда ваемое атмосферой при напуске в шлюзовую камеру, передаетс  непосредственно через поворотную плиту на уплотнение и затем на корпус камеры. Это усилие не деформирует плиту в месте контакта ее с уплотнением, а способствует еще большему прижиму плиты к уплотнению. При этом усилие передаетс  на уплотнение равномерно по всему его контуру, а ось вращени  поворотной плиты нагрузки не несет. С увеличением диаметра поворотной плиты возрастает усилие атмосферного давлени . Герметизаци  при этом не нарушаетс , а только улучшаетс .

На фиг. 1 и 2 показана конструкци предложенного устройства дл  нанесени  покрытий в вакууме.

Устройство состоит из рабочей камеры 1, шлюзовой загрузочно-разгрузочной камеры 2, механизма транспортировани  в виде поворотной плиты 3 с держател ми 4 изделий по обеим ее сторонам. Поворотна  плита 3 установлена на оси 5 вращени , совпадающей с ее осью симметрии, и соединена через рычаг 6 с пневматическим приводом 7 возвратно-поступательного перемещени . На корпусе шлюзовой загрузочно-разгрузочной камеры 2 закреплено герметизирующее уплотнение 8. Шлюзова  камера содержит нагреватель 9 и ионный источник 10 дл  предварительного нагрева и очистки изделий. В рабочей камере расположены магнетронные устройства 11,

Устройство дл  нанесени  покрытий в вакууме работает следунщим образом

В положении, когда поворотна  плита 3 прижата к уплотнению 8, напускаетс  воздух в шлюзовую камеру 2 и осуществл етс  загрузка необработаных изделий, закрепленных на держател х 4. Затем шлюзова  камера 2 откачиваетс  до 1 еобходимого давлени , включаетс  нагреватель 9 и ионный источник 10 и осуществл етс  предварительна  обработка изделий. В то же врем  в.рабочей камере 1 поддерживаетс  рабочее давление, и наноситс  пленка на издели  из магнетронных устройств 11.

После окончани  нанесени  пленок в рабочей камере 1 и предварительной обработки изделий в шлюзовой камере 2 включаетс  пневматический привод 7 возвратно-поступательного перемещени , и поворотна  плита отводитс  от уплотнени  (фиг. 2). Затем поворотна  плита 3 поворачиваетс  на 180°. Оп ть с помощью привода 7 пово5 . 1

ротна  плита 3 прижимаетс  к уплотнению 8. Таким образом происход т перемещение изделий с нанесенной-пленкой из рабочей камеры 1 и загрузка изделий без пленки из шлюзовой камеры 2 в рабочую 1. SareNi в рабочей камере 1 устанавливаетс  рабочее давление , и осуществл етс  выход на режим магнетронных устройств 11. В шлю зовую камеру 2 напускаетс  воздух, и повтор етс  процесс смены держателей 4 изделий и предварительна  их обработка. Процеес нанесени  пленок в рабочей камере 1 начинаетс  сразу после начала откачки шлюзовой каме21319

ры 2. Таким образом совмещаюте  в установке операции нанесени  пленок с предварительной обработкой изделий.

5 Использование изобретени  позвол ет улучшить качество изделий электронной техники и радиотехники за счет уменьшени  натекани  воздуха в процессе нанесени  покрытий при одновременном понижении их себестоимости благодар  упрощению конструкции устройства. Кроме того, улучшаютс  услови  труда обслуживающего персонала за счет повьшени  степени автома5 тизации и упрощени  обслуживани .

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее рабочую камеру, шлюзовую загрузочно-разгрузочную камеру, механизм транспортирования обрабатываемых изделий, вы вратно-поступательного перемещения с возможностью попеременного взаимодействия одной из своих плоскостей с корпусом шлюзовой загрузочно-разгрузочной камеры йерез герметизирующее уплотнение.

   1 1121319