SU1118968A1

SU1118968A1 - Device for adjusting gas flow rate

Info

Publication number: SU1118968A1
Application number: SU823514174A
Authority: SU
Inventors: Алексей Александрович Агеев; Борис Иосифович Синчук; Анатолий Борисович Скитин
Priority date: 1982-11-19
Filing date: 1982-11-19
Publication date: 1984-10-15

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ РАСХОДА ГАЗА, содержащее последовательно установленные в газовой магистрали стабилизатор давлени , дроссель и регулирующий орган, задатчики давлени , выходы которых соединены с входами соответствуюдих первых ключевых элементов, к управл ющим входам которых подключены соответствуницие первые выходы программа гора , датчик перепада давлени на регулирующем органе, регул тор и электропневмопреобразователь, причем второй выход программатора св зан с управл ющим входом второго ключевого элемента, подключенного . первым входом к выходам первых ключевых элементов, третий выход программатора св зан с управл ющим вхо .дом третьего ключевого элемента, а четвертый выход программатора св зан с управл к цим входом четвертого ключевого элемента, о т л и ч а ю щ е е с тем, что, с целью повышени точности и упрощени устройства, оно содержит дополнительный задатчик давлени и переключёисхцее рэле, управл ющий вход которого подключен к выходу четвертого ключевого элемента и к выключающему входу регул тора,первый вход - к выходу третьего ключевого , элемента, второй вход - к выхо-§ 3 ду второго .ключевого .элемента, к ,. первому входу регул тора и к первому входу третьего ключевого элемента , а выход - к входу регулирующего органа, п тый выход программатора св зан с входом электропневмопреобразовател , подключенного выходом., к второму входу третьего.ключевого элемента, выход датчика.перепада . давлени соединен с вторым входом регул тора, выход которого св зан с вторым входом третьего ключевого .элемента , выход дополнительного задатСХ ) чика давлени подключен к.входу четСО вертого ключевого элемента. а 00 A DEVICE FOR REGULATING GAS FLOWS, containing a pressure stabilizer, a choke and a regulator installed in a gas line, pressure gauges, the outputs of which are connected to the inputs of the corresponding first key elements, to the control inputs of which are connected the first outputs of the program mount, the pressure differential sensor to the regulating a regulator and an electropneumatic transducer, the second output of the programmer being connected to the control input of the second key element, connected the first input to the outputs of the first key elements, the third output of the programmer is associated with the control input of the third key element, and the fourth output of the programmer is connected with the control input of the fourth key element, which is that, in order to increase the accuracy and simplify the device, it contains an additional pressure setting device and switching center relay, the control input of which is connected to the output of the fourth key element and to the shutdown input of the regulator, the first input to the output of the third key, electric element, the second input - to the output-§ 3 of the second key switch, k,. the first input of the regulator and to the first input of the third key element, and the output to the regulator input, the fifth output of the programmer is connected to the input of the electropneumatic converter connected by the output to the second input of the third key element, the output of the differential sensor. pressure is connected to the second input of the regulator, the output of which is connected to the second input of the third key element, the output of the additional preset pressure sensor is connected to the input of even the true key element. a 00

Description

Изобретение относитс к регулиро ванию расхода газа в потоке текучей среды и может быть использовано в системах автоматического регулировани и управлени газовыми потокам в частности при .получении сложных. полупроводниковых. структур с разли ным профилем и: составом примесей ле гирующих компонентов. ... . Известно устройство дл регулиро вни расхода газа, содержащее измери тел, расхода газа, стабилизатор дав лени , программное устройство.с реверсивным двигателем, запорные элементы , посто нный дроссель, установ ленный между стабилизатором давлени и измерителем расхода, сопротивлени которого значительно превышает комм никационное сопротивление, а задатчик стабилизатора давлени соединен муфтой с реверсивным электродвигате лем, подключенным к пневмоэлектрическому преобразователю, управл емо му пневматическим генератором импул сов с регулируемой скважностью импульсов l .. К недостаткам известного устройства относ тс сложность настройки, невозможность получени ступенчатой характеристики по расходу, высока погрешность регулировани , достигаю ща 5% при изменении давлени в выходной линии на 0,005 МПа, наличие люфтов и затираний в движущихс час т х, увеличивает погрешность регулировани до 10%. Наиболее близким к предлагаемому вл етс устройство дл регулировани расхода газа, содержащее последовательно установленные в газовой магистрали стабилизатор давлени , дроссель, регулирующий орган и измеритель pacxoJDia, выход которого подключен к одному входу регул тора, к другому входу которого подключен первый выход программатора, выход регул тора через преобразователь соединен с первым входом первого элемента ИЛИ, второй вход которого подключен к второму выходу программатора , выходы задатчиков давлени соединены с первыми входами соответствующих вторых элементов ИЛИ, вторые входы которых св заны с соответствующими третьими выходами программатора, выход датчика перепада давлени соединен через первый элемент пам ти с первым входом блока суммировани , выходы вторых элементов ИЛИ через второй элемент пац ти подключены к второму входу блока суммировани и через третий элемент ИЛИ - к входу третьего элемента пам ти, к выходу первого элемента ИЛИ и к выходу четвертого элемента ИЛИ, первый вход которого св зан с выходом блока суммировани , а второй вход - с четвертым выходом программатора, п тый выход которого соединен с вторым входом третьего элемента ИЛИ, а выход третьего эле мента пам ти подключен к регулирующему органу Н недостатками данного устройства вл ютс сложность .конструктивного исполнени ,.обусловленна двум .Самосто тельными узлами .регулировани расхода газа на плавном и ступенчатом участках программы, а также ошибки в регулировании расхода газа (33 ,5%) .при изменении давлени в выходной линии на 0,005 МПа, св занные с особенност ми схемы. Цель изобретени - повышение точности и упрощение устройства. Указанна цель достигаетс тем, что устройство дл регулировани расхода газа, содержащее последовательно установленные в газовой магистрали стабилизатор давлени , дроссель и регулирующий орган, задатчики давлени , выходы которых соединены с входами соответствующих первых ключевых элементов, к управл кнцим входам которых подключены соответствук цие первые выходы программатора, датчик перепада давлени на регулирукицем органе, регул тор и электропневмопреобразователь , причем второй выход программатора св зан с управл ющим входом второго ключевого элемента , подключенного первым входом к выходам первых ключевых элементов, третий выход программатора св зан с управл ющим входом третьего ключевого элемента,а четвертый выход программатора св зан с управл ющим входом четвертого ключевого элемента, содержит дополнительный задатчик давлени и переключающее реле, управл ющий вход которого подключен к выходу четвертого ключевого элемента и к выключакхцему входу регул тора, первый вход - к выходу третьего ключевого элемента, второй вход - к выходу второго ключевого элемента, к первому входу регул тора и к первому входу третьего ключевого элемента, а выход - к входу регулирующего органа , .п тый выход программатора св зан с входом электропневмопреобразовател , подключенного выходом к второму входу третьего ключевого элемента выход датчика перепада давлени соединен с вторым входом регул тора , выход которого св зан с вторым входом третьего ключевого элемента, выход дополнительного задатчика давлени подключен к входу четвертого ключевого элемента. На чертеже представлена функциональна схема устройства. Устройство содержит стабилизатор 1 давлени , дроссель 2, регулируюий орган 3, датчик 4 перепада давени , регул тор 5, второй ключевойThe invention relates to the control of gas flow in a fluid flow and can be used in systems for automatic control and control of gas flows, in particular, for obtaining complex flows. semiconductor. structures with different profiles and: composition of impurities of doping components. ... A device for controlling gas flow is known, comprising measuring bodies, gas flow, a pressure stabilizer, a software device with a reversing engine, locking elements, a constant choke, installed between the pressure stabilizer and a flow meter, the resistance of which is much higher than the commutation resistance, and the setpoint regulator of pressure is connected by a coupling to a reversible electric motor connected to a pneumatic electric converter controlled by a pneumatic pulse generator. with adjustable duty cycle l. The disadvantages of the known device are the complexity of adjustment, the inability to obtain a stepwise flow characteristic, high control error, reaching 5% with a pressure change in the output line of 0.005 MPa, the presence of backlashes and rubbing in moving parts. , increases the control error to 10%. The closest to the present invention is a device for controlling gas flow, containing a pressure stabilizer, a regulator, a regulator and a pacxoJDia meter, the output of which is connected to one regulator input, to the other input of which the first programmer output is connected, the regulator output through the converter connected to the first input of the first OR element, the second input of which is connected to the second output of the programmer, the outputs of the pressure setting devices are connected to the first input The corresponding second OR elements, the second inputs of which are connected to the corresponding third outputs of the programmer, the output of the differential pressure sensor is connected via the first memory element to the first input of the summation unit, the outputs of the second OR elements are connected to the second input of the summation unit and through the third element OR to the input of the third memory element, to the output of the first element OR, and to the output of the fourth element OR, the first input of which is connected to the output of the summation unit, and the second input - from the fourth output of the programmer, the fifth output of which is connected to the second input of the third element OR, and the output of the third memory element is connected to the regulator H. The disadvantages of this device are the design complexity, caused by two .States of the gas flow control on smooth and stepped sections of the program, as well as errors in the regulation of gas flow (33.5%). when the pressure in the output line changes by 0.005 MPa, associated with the features of the circuit. The purpose of the invention is to improve the accuracy and simplify the device. This goal is achieved by the fact that a device for controlling gas flow, containing a pressure stabilizer, a choke and a regulator installed in a gas line, pressure controllers, the outputs of which are connected to the inputs of the corresponding first key elements, and the corresponding outputs of the programmer are connected to the control inputs. , a differential pressure sensor on the regulator organ, a regulator and an electropneumatic transducer, the second output of the programmer being connected to the control input The second key element connected by the first input to the outputs of the first key elements, the third output of the programmer is connected to the control input of the third key element, and the fourth output of the programmer is connected to the control input of the fourth key element, contains an additional pressure setter and a switching relay, the input of which is connected to the output of the fourth key element and to the off input of the regulator, the first input to the output of the third key element, the second input to the output of the second key element to the first input of the regulator and to the first input of the third key element, and the output to the input of the regulator. The programmer output is connected to the input of an electropneumatic transducer connected to the second input of the third key element by the output of the differential pressure sensor connected to the second the regulator input, the output of which is connected with the second input of the third key element, the output of the additional pressure setting device is connected to the input of the fourth key element. The drawing shows the functional diagram of the device. The device contains pressure stabilizer 1, throttle 2, regulator 3, differential pressure sensor 4, regulator 5, second key

элемент б, электропневмопреобраэователь 7, программатор 8, первые ключевые элементы 9-11, задатчики давлени 12-14, стабилизатор 15 давлени и дополнительный задатчик 16 давлени , четвертый 17 и третий 18 ключевые элементы, переключающее реле 19 и исполнительный механизм 20element b, electropneumatic converter 7, programmer 8, first key elements 9-11, pressure adjusters 12-14, pressure stabilizer 15 and additional pressure adjuster 16, fourth 17 and third 18 key elements switching relay 19 and actuator 20

Стабилизатор 15 давлени обеспечивает .питание сжатым воздухом (или азотом) .задатчики .давлени 12-14 и 16. Второй вход у первых ключевых элементов.9-11 заглушен, а у четвертого 17 ключевого элемента соединен с атмосферой. . .Pressure stabilizer 15 provides. Compressed air (or nitrogen) supply. Pressure sensors 12-14 and 16. The second input at the first key elements 9-11 is muffled, and at the fourth key element 17 is connected to the atmosphere. . .

Устройство позвол ет осуществить плавное, ступенчатое или комбинированное регулирование расхода газа.The device allows smooth, stepwise or combined control of the gas flow.

Дл получени резких переходов в полупроводниковых структурах примен етс ступенчатое изменение расхода газа-носител , подаваемого в источник легировани . В зависимости от числа переходов используетс различное количество ступеней расхода гаэа-носител . Набор любого вида программ осуществл етс последовательностью включени ключевых элементовTo obtain abrupt transitions in semiconductor structures, a step change in the flow rate of the carrier gas supplied to the doping source is used. Depending on the number of transitions, a different number of flow rates of the gaea carrier is used. The recruitment of any kind of programs is carried out by the sequence of inclusion of key elements.

6,9, 10, 11, 17, 18 и переключающего реле 19.6.9, 10, 11, 17, 18 and switching relay 19.

Регулирование расхода газа осуществл етс следующим образом.The gas flow rate is controlled as follows.

Технологический газ (например Н подводитс к стабилизатору 1 давлени , с помощью которого задаетс ра бочее давление в пределах 0,01 0 ,05 МПа. Затем газ через дроссель и регулирующий орган 3 подаетс k источнику легировани (не показан). С помощью дроссел 2 задаетс верхний предел регулировани , а расход газа измер етс датчиком 4 перепада давлени .The process gas (for example, H is supplied to a pressure stabilizer 1. By means of which the operating pressure is set within 0.01-0.05 MPa. Then the gas is supplied through the throttle and regulator 3 to the k doping source (not shown). the upper control limit and the gas flow are measured by the differential pressure sensor 4.

При плавном изменении расхода газа управл ющие команды с выходов программатора В на ключевые элемент 6,9,10,11,17 и 18 не подаютс и первые входы у них закрыты.With a smooth change in the gas flow rate, control commands from the outputs of the programmer B to the key elements 6.9, 10, 11, 17 and 18 are not given and their first inputs are closed.

С выхода датчика 4 перепс1да давлени пйевмосигнал (0,02-1 МПа) поступает на второй вход регул тора 5 (в камеры Д и Г элементов сравнени 21 22 соответственно). На первый вход регул тора 5 (в камеры Н и В элементов сравнени 21 и 22) через второй вход второго ключевого элемента 6 подаетс выходной пневматический сигнал (0,02-1 МПа) от аналогового электропневмопреобразовател From the output of sensor 4, pressure signal pressure signal (0.02-1 MPa) is fed to the second input of controller 5 (into cells D and D of comparison elements 21–22, respectively). A pneumatic output signal (0.02-1 MPa) from an analog electropneumatic transducer is supplied to the first input of the regulator 5 (chambers H and B of comparison elements 21 and 22) through the second input of the second key element 6

7,вход которого св зан с п тым аналоговым выходом (0-5 МА). программатора 8, который выдает задание регу л тору 5.7, whose input is connected to a fifth analog output (0-5 MA). The programmer 8, which gives the task to the controller 5.

Сигнал на выходе регул тора 5 измен етс пропорционально отклонению действительного значени расхода от значени , определ емого программатором 8. Выходной сигнал.регул тора 5., усиленный усилителем мощности 23, поступает через нижнее сопло выключакадего реле 24 в камеру .В и далее .на выход третьего 1В . ключевого элемента, второй вход которого соединен с первым входом переключающего реле 19. С выхода переключающего реле 19 сигнал регул тора 5 подаетс на вход регулирующего органа 3 - в исполнительный механизм 20, который мен ет расход газа в соответствии .с наклонным.участком програм1«з1 легировани .. . .The signal at the output of the regulator 5 varies in proportion to the deviation of the actual flow rate from the value determined by the programmer 8. The output of the regulator 5., amplified by the power amplifier 23, flows through the lower nozzle of the relay 24 to the camera. B and further. third 1B. the key element, the second input of which is connected to the first input of the switching relay 19. From the output of the switching relay 19, the signal of the regulator 5 is fed to the input of the regulator 3 - to the actuator 20, which changes the gas flow in accordance with the inclined section of the program doping ... .

Дл ступенчатого изменени расхода .газа и последуквдего. поддержани . его на заданном уровне, .с соответствующего .первого выхода прогрги мато- . ра 8 подаетс команда на управл ющий вход одного из первых ключевых элементов, например 9, вход которого соединен с выходом задатчика давлени 12. При настройке устройства на выходе задатчика 12 устанавливаетс величина давлени , соответствующа данной ступени расхода газа.For a stepwise change in gas flow and subsequent flow. maintain it is at a given level, .c corresponding to the first output of the program mat. At station 8, a command is sent to the control input of one of the first key elements, for example, 9, the input of which is connected to the output of the pressure setting device 12. When the device is configured, the pressure at the output of the setting device 12 corresponds to this gas flow rate.

С второго, третьего и четвертого выходов программатора 8 подаютс команды на управл ющие входы второго 6, третьего 18 и четвертого 17 ключевых элементов и сэни включаютс .From the second, third, and fourth outputs of the programmer 8, commands are sent to the control inputs of the second 6, third 18, and fourth 17 key elements and the senes are turned on.

Пневмосигнал от задатчика 12 давлени через ключевые элементы 9 и 6 подаетс на первый вход регул тора 5 (в камеры В и Б элементов сравнени 21 и 22), а также на первый вход третьего 18 ключевого элемента и второй вход переключающего реле 19.The pneumatic signal from the pressure setting device 12 is supplied through the key elements 9 and 6 to the first input of the regulator 5 (to chambers B and B of the comparison elements 21 and 22), as well as to the first input of the third 18 key element and the second input of the switching relay 19.

Одновременно пневмосигнал от дополнительного задатчика 16 давлени , подключенного к первому входу четвертого ключевого элемента 17, подаетс на управл ющий вход переключающего реле 19 и выключающий вход регул тора 5 (переключающие реле 25-24).At the same time, the pneumatic signal from the additional pressure setting device 16 connected to the first input of the fourth key element 17 is fed to the control input of the switching relay 19 and the switching off input of the regulator 5 (switching relays 25-24).

При этом выход усилител мощности 23 отключитс от камеры В переключающего реле 24 и от исполнительного механизма 20. После включени ключевых элементов 17 и 18 пневмосигнал задатчика 12 давлени с первого входа третьего 18 ключевого элемента подаетс на его выход и далее через камеру В и верхнее сопло переключающего реле 24 и в камеру В элемента сравнени 21 и камеру Д элементов сравнени 22 и 26, а с вто рого входа переключающего реле 19 на его выход, соединенный с исполнительным механизмом 20, который установит регулирующий орган 3 в положение, соответствующее расходу гаэа дл данной ступени.The output of the power amplifier 23 is disconnected from the camera B of the switching relay 24 and from the actuator 20. After switching on the key elements 17 and 18, the pneumatic signal of the pressure regulator 12 from the first input of the third 18 key element is fed to its output and then through the camera B and the upper switch nozzle the relay 24 and the chamber B of the comparison element 21 and the chamber D of the comparison elements 22 and 26, and from the second input of the switching relay 19 to its output connected to the actuator 20, which sets the regulator 3 to the position gaea for a given stage.

На второй BxoJEi регул тора 5 (камеры Д и Г элементов сравнени 21 и 22) поступит сигнал от датчика 4 перепада давлени , и на выходе усилител мрщносги 23 сформируетс снгнал , пропорциональный заданной величине расхода. Поскольку пневмоснгнал от задатчика 12 давлени попадает в камеры положительной .обратной св зи элементов сравнени 21, 22 и 26,.в них установитс давление,равное давлению на исполнительном механизме 20.Это позволит предохранить линию исполните ль ногЬ механизма 20 от скачка давлени при подключении к нему регул тора 5 и переходе на автоматическое управление, так как .регул тор. 5 отра батышает з.это врем давление, отлиг чакадеес от давлени на исполнитель-: ном механизме .2.0, . ... ... Через .1-:2 с (врем задержки) посл . включени ключевых элементов 17 и.18 на выходе регул тора 5 сформщ)уетс пневмосигнал, близкий к пневмосигналу от задатчика 12 давлени на испол нительном механизме 20, определ емый перепадом давлени на регулирующем органе 3. Программатор 8 отключит ключевые элементы 17 и 18. Давление с управл к цего входа переключакицего реле 19 и выключающего входа регул тора 5 через второй вход четвертого ключевого элемента 17, соединенного с атмосферой, сбрасываетс . Выход регул тора 5 через второй вход третьего .18 ключевого элемента и первый вход переключающего реле 19 соедин етс с исполнительным механизмом 20, и на- горизонтальном участке программы регул тор 5 поддерживает расход газа, определ емый задатчиком 12 дав лени . Так как выход на заданный уровень расхода газа осуществл етс без учас ти регул тора 5 и его настройка не оказывает вли ние на переходный процесс , то это позвол ет повысить точность выхода на заданную программой ступень расхода газа. При переходе на новую ступень расхода газа-носител подаетс команда от программатора 8 на ключевые элементы 17 и 18 и, например, 10. Второй ключевой элемент 6 остаетс включенным. Ключевой элемент 9 выключаетс . Выход дополнительного задатчика 16 давлени через четвертый 17 ключе вой элемент подключаетс к управл ющему входу переключающего реле 19 и выключающему входу регул тора 5 (переключающие реле 25. и 24). При этом выход регул тора 5 отключаетс от исполнительного механизма 20. Выход задатчика 13 давлени через ключевые элементы 10 и 6 подключаетс к первому входу регул тора 5,через выход третьего ключевого элемента 18 и переключающее реле 24 - к камерам положительной обратной св зи элементов 21, 22 л 26 сравнени , а через второй вход переключающего реле 19 - к входу регулирующего органа 3 (исполнительному механизму 20). . Регулирующий орган 3 устанавливаетс в положение, соответствующее данной ступени расхода .газа. Через 1т2 .с на выходе .усилител 23 мощности регул тора 5 образуетс сигнал, близкий к пневмосигналу на исполнительном .механизме 20. Программатор 8 .выключает .ключевые элементы 17 и. 18, а регул тор 5 поддерживает значение расхода газа, определ емое задатчиком 13 давлени . Последующий пор док включени ключевых элементов 6, 9, 10, 11, 17, 18 и переключени реле 19.определ етс программой технологического процесса . ... .... ... При изменении давлени в технологической .линии регул тор 5 обеспечит вает поддержание расхода газа на заданном уровне .с точностью до 1% на всех участках программы, чхо позвол ет упростить схему регулировани . Таким образом, данное изобретение по сравнению с известными позвол ет повысить точность регулировани расхода технологического газа с 3-3,5 до 1% и упростить схему устройства. Изобретение может быть использоВано дл автоматического и програмного управлени расходом газов в различных технологических процессах, где требуетс осуществление сложной программы изменени расхода газа в роцессе производства.The second BxoJEi of the controller 5 (cameras D and D of the elements of comparison 21 and 22) receives a signal from the pressure differential sensor 4, and the output of the amplifier 23 will generate a signal proportional to the given flow rate. Since the pneumosignal from the pressure setting device 12 enters the positive feedback cells of the elements of comparison 21, 22 and 26, a pressure equal to the pressure on the actuator 20 will be established in them. This will protect the line performed by the mechanism 20 from the pressure jump when connected to controller 5 and the transition to automatic control, as .regulator. 5 refreshes the pressure. This is the time pressure from the chakadees to the pressure on the executive mechanism. 2.0,. ... ... Through .1-: 2 s (delay time) last. switching on the key elements 17 and 18 at the output of the regulator 5, forming a pneumatic signal close to the pneumatic signal from the pressure setting device 12 on the actuator 20, determined by the pressure differential on the regulator 3. The programmer 8 will switch off the key elements 17 and 18. The pressure from controlling the input of the switching relay 19 and the switching input of the regulator 5 through the second input of the fourth key element 17, connected to the atmosphere, is reset. The output of regulator 5 through the second input of the third .18 key element and the first input of the switching relay 19 is connected to the actuator 20, and in a horizontal section of the program, the regulator 5 maintains the gas flow determined by the setting unit 12 of the pressure. Since the exit to a predetermined level of gas flow is carried out without the participation of the controller 5 and its adjustment does not affect the transition process, this makes it possible to increase the accuracy of the output to the gas flow rate specified by the program. When switching to the new carrier gas flow rate, a command is sent from the programmer 8 to the key elements 17 and 18 and, for example, 10. The second key element 6 remains on. Key member 9 is turned off. The output of the additional pressure setting device 16 is connected via the fourth 17 key element to the control input of the switching relay 19 and the switching input of the regulator 5 (switching relays 25. and 24). In this case, the output of the regulator 5 is disconnected from the actuator 20. The output of the pressure setting device 13 is connected via key elements 10 and 6 to the first input of regulator 5, via the output of the third key element 18 and the switching relay 24 to positive feedback cameras of elements 21, 22 liters 26 of comparison, and through the second input of the switching relay 19 - to the input of the regulator 3 (to the executive mechanism 20). . The regulator 3 is set to the position corresponding to this gas flow rate. After 1t2 .c, at the output of the amplifier 23 of the power of the regulator 5, a signal is formed that is close to the pneumatic signal on the executive mechanism 20. The programmer 8 turns off the key elements 17 and. 18, and the controller 5 maintains the gas flow rate determined by the pressure setting device 13. The subsequent order of switching on the key elements 6, 9, 10, 11, 17, 18 and switching the relay 19. is determined by the program of the technological process. ... .... ... When the pressure in the process line changes, the regulator 5 maintains the gas flow at a given level with an accuracy of 1% in all parts of the program, which allows to simplify the control scheme. Thus, the present invention, in comparison with the known ones, makes it possible to improve the accuracy of controlling the flow rate of the process gas from 3-3.5 to 1% and simplify the design of the device. The invention can be used to automatically and programmatically control the flow of gases in various technological processes, where a complicated program of changing the flow rate of gas in the production process is required.

Claims

DEVICE FOR REGULATING A GAS FLOW, containing a pressure stabilizer sequentially installed in the gas line, a throttle and a regulating body, pressure regulators, the outputs of which are connected to the inputs of the corresponding first key elements, to the control inputs of which the corresponding first outputs of the programmer are connected, the differential pressure sensor on the regulatory body, a controller and an electro-pneumatic converter, the second output of the programmer being connected to the control input of the second key element, connected th. the first input to the outputs of the first key elements, the third programmer output is connected to the control input of the third key element, and the fourth programmer output is connected to the control input of the fourth key element, characterized in that, in order to increase accuracy and simplify the device, it contains an additional pressure adjuster and a switching relay, the control input of which is connected to the output of the fourth key element and to the off input of the controller, the first input to the output of the third key. element, the second input - to the output of the second. key element, to ... the first input of the controller and to the first input of the third key element, and the output to the input of the regulatory body, the fifth output of the programmer is connected to the input of the electropneumatic converter g connected to the output .. to the second input of the third key element, the output of the differential sensor. pressure is connected to the second input of the regulator, the output of which is connected to the second input of the third key element. The output of the additional pressure regulator is connected to the input of the fourth key element. . '.

111896>