SU1118852A1 - Interferometer for measuring linear displacements - Google Patents

Interferometer for measuring linear displacements Download PDF

Info

Publication number
SU1118852A1
SU1118852A1 SU823396210A SU3396210A SU1118852A1 SU 1118852 A1 SU1118852 A1 SU 1118852A1 SU 823396210 A SU823396210 A SU 823396210A SU 3396210 A SU3396210 A SU 3396210A SU 1118852 A1 SU1118852 A1 SU 1118852A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
interferometer
light
beam splitter
rigidly connected
measuring linear
Prior art date
Application number
SU823396210A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Василий Сергеевич Садов
Александр Вячеславович Романов
Константин Михайлович Шестаков
Original Assignee
Институт электроники АН БССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт электроники АН БССР filed Critical Институт электроники АН БССР
Priority to SU823396210A priority Critical patent/SU1118852A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1118852A1 publication Critical patent/SU1118852A1/en

Links

Abstract

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащий источник когерентного света, светоделитель и неподвижные отражатели, установленные в каждом плече интерферометра , светосоединитель, диафрагму и фотоприемник, жестко св зываемые с перемещаемым объектом, и счетчик импульсов, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерени , источник света и светоделитель жестко св заны со светосоединителем , а каждый из неподвижных отражателей выполнен в виде пентапризмы и зеркала . /4 (/) / , 00 00 ел ю СТINTERFEROMETER FOR MEASURING LINEAR DISPLACEMENTS, containing a coherent light source, a beam splitter and fixed reflectors installed in each arm of the interferometer, a light sensor, a diaphragm and a photodetector rigidly connected to the object being moved, and a pulse counter, which is intended to be a target, a design that is intended to be connected to the object being moved, and a pulse counter, which is intended to be a target with the aim of a design; the light source and the beam splitter are rigidly connected to the light connector, and each of the fixed reflectors is made in the form of a pentaprism and a mirror. / 4 (/) /, 00 00 el ST

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  линейных перемещений в системах .станков с программным .управлением. Известен интерферометр, в котором светосоединитель и фотоприемник жестко св заны с перемещаемым объектом 1. Недостаток известного интерферометра обусловлен невысокой точностью измерени  из-за изменени  контрастности интерференционных полос при перемещении объекта. Известен также интерферометр, содержащий- источник когерентного света, светоделитель , неподвижные отражатели, счетчик импульсов и жестко св занные с перемещаемым объектом светосоединитель, диафрагму и фотоприемник 2. Недостаток данного интерферометра обусловлен изменением контрастности интерференционной картины при поперечном смещении объекта. Цель изобретени  - повыщение точности измерени  линейных перемещений путем стабилизации контрастности интерференционной картины. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в интерферометре дл  измерени  линейных перемещений, содержащем источник когерентного света, светоделитель и неподвижные отражатели, установленные в каждом плече интерферометра, светосоединитель, диафрагму-и фотоприемник, жестко св зываемые с перемещаемым объектом, и счетчик импульсов, источник света и светоделитель также жестко св заны со светосоединителем, а каждый из неподвижных отражателей выполнен в виде пентапризмы и зеркала. На чертеже дана схема предложенного интерферометра. Интерферометр содержит источник 1 когерентного света, линзы 2-4 со светоделителем 5, неподвижные пентапризмы 6, 7 и зеркала 8, 9 в каждом плече интерферометра , светосоединитель 10, диафрагму 11, фотоприемник 12, счетчик 13 импульсов. Светосоединитель 10, диафрагма 11 и фотоприемник 12 жестко св зываютс  с перемещаемым объектом 14, а источник 1 света и светоделитель 5 - со светосоединителем 10. Устройство работает следующим образом. Выход щий из источника 1 световой поток проходит линзу 2, делитс  в светоделителе 5 на два плеча, а затем проходит линзы 3 и 4. Далее в каждом плече световой поток проходит пентапризму 6 (или 7) и, отража сь от зеркала 8 (или 9), попадает на светосоединитель 10. В результате совмещени  обоих пучков светосоединителем 10 образуютс  интерференционные полосы. При продольном перемещении объекта 14 интерференционные полосы смещаютс  из-за изменени  разности оптических путей, и это смещение регистрируетс  счетчиком 13 импульсов при помощи диафрагмы 11 и фотоприемника 12. При поперечном же смещении объекта интерференционные полосы остаютс  неподвижными и их контрастность не ухудщаетс , что определ етс  жесткой св зью источника 1 света и светоделител  5 со светосоединителем 10, а также выполнением в каждом плече неподвижных отражателей в виде пентапризмы 6 (или 7) и зеркала 8 (или 9). Это позвол ет повысить точность из.мерений не менее чем в 1,5 раза.The invention relates to a measurement technique and can be used to measure linear displacements in systems of software-controlled machines. An interferometer is known in which the light-coupler and the photodetector are rigidly connected to the object being moved 1. The disadvantage of the known interferometer is due to the low measurement accuracy due to a change in the contrast of the interference fringes as the object moves. Also known is an interferometer containing a coherent light source, a beam splitter, fixed reflectors, a pulse counter and a light connector, a diaphragm, and a photodetector 2 that are rigidly connected to the object being moved. The interferometer's contrast ratio changes when the object is laterally displaced. The purpose of the invention is to increase the accuracy of measuring linear displacements by stabilizing the contrast of the interference pattern. The goal is achieved by interferometer for measuring linear displacements containing a source of coherent light, a beam splitter and fixed reflectors installed in each arm of the interferometer, a light connector, a diaphragm and a photodetector rigidly connected to a moving object, and a pulse counter, a light source and the beam splitter is also rigidly connected to the light connector, and each of the fixed reflectors is made in the form of a pentaprism and a mirror. The drawing is a diagram of the proposed interferometer. The interferometer contains a source of coherent light 1, lenses 2-4 with a beam splitter 5, fixed pentaprisms 6, 7 and mirrors 8, 9 in each arm of the interferometer, light connector 10, aperture 11, a photodetector 12, a counter 13 pulses. The light connector 10, the diaphragm 11 and the photodetector 12 are rigidly connected with the moving object 14, and the source 1 of the light and the beam splitter 5 are connected with the light connector 10. The device operates as follows. The luminous flux leaving the source 1 passes the lens 2, is divided into two arms in the beam splitter 5, and then passes the lenses 3 and 4. Then, in each arm, the light flux passes the pentaprism 6 (or 7) and is reflected from the mirror 8 (or 9 ), falls on the light coupler 10. As a result of combining both beams by the light coupler 10, interference fringes are formed. With the longitudinal movement of the object 14, the interference fringes are shifted due to the change in the difference of the optical paths, and this displacement is recorded by a pulse counter 13 pulses using the diaphragm 11 and the photodetector 12. At the same lateral displacement of the object, the interference fringes remain fixed and their contrast does not deteriorate, which is determined to be hard the connection of the light source 1 and the beam splitter 5 with the light connector 10, as well as the implementation of fixed reflectors in the form of a pentaprism 6 (or 7) and a mirror 8 (or 9) in each arm. This makes it possible to increase the accuracy of measurements by at least 1.5 times.

Claims (1)

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащий источник когерентного света, светоделитель и неподвижные отражатели, установленные в каждом плече интерферометра, светосоединитель, диафрагму и фотоприемник, жестко связываемые с перемещаемым объектом, и счетчик импульсов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, источник света и светоделитель жестко связаны со светосоединителем, а каждый из неподвижных отражателей выполнен в виде пентапризмы и зеркала.INTERFEROMETER FOR MEASURING LINEAR MOVEMENTS, containing a coherent light source, a beam splitter and fixed reflectors installed in each arm of the interferometer, a light coupler, aperture and photodetector rigidly connected to the moving object, and a pulse counter, characterized in that, in order to increase the measurement accuracy, the light and the beam splitter are rigidly connected to the light coupler, and each of the stationary reflectors is made in the form of a pentaprism and a mirror.
SU823396210A 1982-02-15 1982-02-15 Interferometer for measuring linear displacements SU1118852A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823396210A SU1118852A1 (en) 1982-02-15 1982-02-15 Interferometer for measuring linear displacements

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823396210A SU1118852A1 (en) 1982-02-15 1982-02-15 Interferometer for measuring linear displacements

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1118852A1 true SU1118852A1 (en) 1984-10-15

Family

ID=20997307

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823396210A SU1118852A1 (en) 1982-02-15 1982-02-15 Interferometer for measuring linear displacements

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1118852A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство СССР № 364838, кл. G 01 В 11/02, 1972. 2. Авторское свидетельство СССР № 838325, кл. G 01 В 11/00, 1979. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3483191D1 (en) LENGTH MEASURING DEVICE ACCORDING TO THE TWO-BEAM LASER INTERFEROMETER PRINCIPLE.
SU1118852A1 (en) Interferometer for measuring linear displacements
RU1770739C (en) Device for measuring angular displacements of objects
SU1138642A1 (en) Interference device for remote measuring of small displacements
SU1471065A1 (en) Spectrointerferometer
SU1506269A1 (en) Interferometer for measuring angular and linear position of object
SU1413415A1 (en) Method of determining diameter of holes
SU1397718A1 (en) Interferometer for measuring linear quantities and index of refraction
SU1397719A1 (en) Interferometric method of measuring linear displacements of objects
SU1518663A1 (en) Interferometer for measuring transverse displacements
SU1416860A1 (en) Interferometer for measuring displacement of objects
RU2228516C2 (en) Interference method measuring distance (length) and device for its realization
SU1435935A1 (en) Method of measuring geometric dimensions of reflecting objects
SU838325A1 (en) Interference cage of object linear displacement
SU1130736A1 (en) Device for measuring displacement
SU1401268A1 (en) Two-coordinate measuring device
SU756194A1 (en) Device for measuring object motion parameters
SU1288498A1 (en) Interferometer
SU450077A1 (en) Device for controlling the shape of a parabolic surface
SU712654A1 (en) Interferometer
SU1173177A1 (en) Device for measuring object displacement and index of transparent media refraction
SU1534298A1 (en) Device for measuring displacement of object
SU410243A1 (en)
SU1499113A1 (en) Apparatus for measuring displacements of an object
SU1730531A1 (en) Two-axis displacement meter