SU1109955A1 - Device for forming photoresponse image of analyzed semiconductor structure - Google Patents
Device for forming photoresponse image of analyzed semiconductor structure Download PDFInfo
- Publication number
- SU1109955A1 SU1109955A1 SU823437998A SU3437998A SU1109955A1 SU 1109955 A1 SU1109955 A1 SU 1109955A1 SU 823437998 A SU823437998 A SU 823437998A SU 3437998 A SU3437998 A SU 3437998A SU 1109955 A1 SU1109955 A1 SU 1109955A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- input
- output
- digital
- dac
- binary counter
- Prior art date
Links
Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ФОТООТВЕТНОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ ИССЛЕДУЕМЬК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР , содержащее оптически св занные источник излучени , первый сканирую-1ЦИЙ блок с зеркалом и второй сканиРУЮИ1ИЙ блок с зеркалом, при этом второй сканирующий блок с зеркалом оптически св зан через (})окусирующл1о систему с оптическим входом исследуемой полупроводниковой структуры, электрический выход которой через видеоусилитель подключен к сигнальному входу видеоконтрольного блока, отличающеес тем, что, с целью -кеньшени искажений изображений , в него введены источник опорного напр жени , генератор тактовых импульсов, три цифровых генератора развертки, цифровой таймер , при этом выход генератора тактовых импульсов подключен к первым входам первого, второго цифровых генераторов развертки и цифрового таймера, второй вход которого подключен к первому выходу первого цифрового генератора развертки, а выход- к второму входу второго цифрового генератора развертки, первый выход которого соединен с первым входом третьего цифрового генератора развертки , при этом выход источника опорного напр жени соединен с. вторым лходом первого, с третьим входом второго и вторьг( входом третьего цифровых генераторов развертки, а второй выход первого, второй выход второго и выход третьего цифровых генераторов развертки соединены соответственно с первым сканирующим, блокомС зеркалом, с входом X видеокоитрольного блока и с входом У 1П1деоконтрольного блока, с которым также соединен второй сканирующий блок с зеркалом. - 2. Ус.тройство по п. 1, отличающеес , тем, что каждый цифровой генератор развертки содер (Л жит последовательно, соединенные двоичный счетчик и цифроаналоговый преобразователь (ЦАП), при этом в первом цифровом генераторе развертки его первым и вторым входами вл ютс соответственно счетный вход двоичного счетчика и управл ющий вход ЦАП, а первым и вторым выходами - соответственно выход импульса переноса со ;о :л :л двоичного счетчика и выход ЦАП, во втором цифровом генераторе рлзвертки его первым, вторым и третьим входами вл ютс соответственно счетный вход двоичного счетчика, вход установки в ноль двоичного счетчика и управл ющий вход ЦАП, а первым и вторым выходами - соответственно выход импульса переноса двоичного счетчика и выход ЦАП, в третьем цифровом генераторе развертки его первым и вторьм входами вл ютс соответственно счетный вход двоичного счетчика и управл ющий вход ЦАП, а выходом - выход ЦАП.1. A DEVICE FOR THE FORMATION OF A PHOTO-RESPONSIVE IMAGE OF THE RESEARCHES OF A SEMICONDUCTOR STRUCTURE containing an optically coupled radiation source, the first scanner-block with a mirror and the second scanner unit with a mirror; the input of the investigated semiconductor structure, the electrical output of which is connected via a video amplifier to the signal input of the video monitoring unit, characterized in that, in order to distort images, a voltage reference source, a clock pulse generator, three digital sweep generators, a digital timer are entered into it, while the output of the clock pulse generator is connected to the first inputs of the first, second digital sweep generators and a digital timer, the second input of which is connected to the first output of the first the digital sweep generator, and the output to the second input of the second digital sweep generator, the first output of which is connected to the first input of the third digital sweep generator, while the output of the voltage source is connected to. the second one of the first, with the third input of the second and second (the input of the third digital sweep generators, and the second output of the first, second output of the second and the output of the third digital sweep generators are connected respectively to the first scanning, block C mirror, to the input X of the video nitro unit and to the input U unit, to which the second scanner unit is also connected to a mirror. - 2. A device according to claim 1, characterized in that each digital sweep generator contains (L series, connected by a binary counter The IR and digital-to-analog converter (DAC), while in the first digital sweep generator its first and second inputs are, respectively, the counting input of the binary counter and the control input of the DAC, and the first and second outputs are respectively the output pulse of transfer co; o: l: l the binary counter and the DAC output; in the second digital oscillation generator, its first, second and third inputs are respectively the counting input of the binary counter, the input setting of the binary counter zero and the control input of the DAC, and the first and second outputs - respectively, the output of the transfer pulse of the binary counter and the output of the DAC, in the third digital sweep generator its first and third inputs are respectively the counting input of the binary counter and the control input of the DAC, and the output is the DAC output.
Description
Изобретение относитс к электронной технике и может быть использова дл контрол и диагностики полупро водниковых структур.The invention relates to electronic engineering and can be used to monitor and diagnose semiconductor structures.
Известно устройство дл формировани фотоответного изображени исследуемых полупроводниковых структур , содержащее источник излучени , оптически св занный с зеркальными дефлекторами, синхрогенератор, два выхода которого подключены соответственно к управл ющим входам телевизионной трубки изеркальных дефлекторов С1 .A device for forming a photoresponse image of the semiconductor structures under investigation is known, which contains a radiation source optically coupled to mirror deflectors, a synchronous generator, two outputs of which are connected respectively to control inputs of a television tube of mirrored deflectors C1.
Недостатком устройства вл етс необходимость работы на повышенной строчной частоте, так как дл получени фотоответного изображени с высоким разрешением необходимо использование видеоусилител с расширенной полосой усиливаемых частот, что в конечном итоге приводит к снижению чувствительности устройства.The drawback of the device is the need to work at a higher line frequency, since to obtain a photoresponse image with high resolution, it is necessary to use a video amplifier with an extended band of amplified frequencies, which ultimately leads to a decrease in the sensitivity of the device.
Кроме того, при высокой строчной частоте затрудн етс исследование низкочастотных полупроводниковыхIn addition, at high horizontal frequency, it is difficult to study low-frequency semiconductor
структур,structures that
Наиболее близким к изобретению по технической сущности вл етс устройство дл формировани фотоответного изображени исследуемых полупроводниковых структур, содержащее оптически св занные источник излучени , первый сканирующий блок с зеркалом и второй сканирующий блок с зеркалом, при этом второй сканирующий блок с зеркалом оптически св зан через юкусирующую систему с оптическим входом исследуемой полупроводниковой структуры электрический выход которой через видеоусилитель подключен к сигнальному входу видеоконтрольного блока 2.The closest to the invention to the technical essence is a device for forming a photoresponse image of the investigated semiconductor structures containing an optically coupled radiation source, a first scanning unit with a mirror and a second scanning unit with a mirror, while the second scanning unit with a mirror is optically connected through a biting system with an optical input of the investigated semiconductor structure, the electrical output of which is connected via a video amplifier to the signal input of the video monitor ka 2.
Целью изобретени вл етс уменьшение искажений -изображени .The aim of the invention is to reduce image distortion.
Цель достигаетс тем, что в устройство дл формировани фотоответного изображени исследуемых полупроводниковых структур, содержащее оптически св занные источник излучени , первый сканирующий блок с зеркалом и второй сканирующий блок с зеркалом, при этом второй сканирующий блок с зеркалом оптически св зан через фокусирующую систему с оптическим входом исследуемой полпроводниковой структуры, электрический выход которой через видеоусилитель подключен к сигнальному вход видеоконтрольного блока, введены источник опорного напр жени , генератор тактовьк импульсов, три идентичных цифровых генератора развертки , цифровой таймер, при этом выход генератора тактовых импульсов подключен к первым входам первого, .второго цифровых генераторов развертки и цифрового таймера,- второй вход которого подклочен к первому выходу первого цифрового генератора развертки, а выход - к второму входу второго цифрового генератора развертки, первый выход которого соединен с первым входом третьего цифрового генератора развертки, при этом выход источника опорного напр жени соединен с вторым входом первого, с третьим входом второго и вторым входрм третьего цифровых генераторов развертки, а второй выход первого, второй выход второго и выход третьего цифровых генераторов развертки сое инены соответственно с первьм сканирующим блоком с зеркалом, с входом X видеоконтролного блока и с входом У видеоконтрольного блокэ, с которьм также соедине второй сканирующий блок с зеркалом.The goal is achieved in that the device for forming a photoresponse image of the investigated semiconductor structures containing optically coupled radiation source, the first scanning unit with a mirror and the second scanning unit with a mirror, while the second scanning unit with a mirror is optically connected through the focusing system with an optical input the investigated semiconductor structure, the electrical output of which through the video amplifier is connected to the signal input of the video monitoring unit, the source of the reference voltage is entered nor, pulse generator, three identical digital sweep generator, digital timer, the clock pulse output connected to the first inputs of the first, second digital sweep generator and digital timer, the second input of which is connected to the first output of the first digital sweep generator, and the output is to the second input of the second digital sweep generator, the first output of which is connected to the first input of the third digital sweep generator, while the output of the reference voltage source is connected to the first input, the third input of the second and the second input of the third digital sweep generators, and the second output of the first, second output of the second and output of the third digital sweepers are connected to the first scanning unit with a mirror, with input X of the video monitoring unit and with input U of the video monitoring unit block, with which the second scanning block with the mirror is also connected.
I . I.
При этом каждый цифровой генератор развертки содержит последовательно соединенные двоичный счетчик и цифроаналоговый преобразователь (ЦАП) , при этом в первом цифровом генераторе развертки его первьй и вторым входами вл ютс соответственно счетный вход двоичного счетчика и, управл ющий вход ЦАП, а первым и вторьм выходами - соответственно выход импульса переноса двоичного счетчика и выход ЦАП, во втором цифровом генераторе развертки его первым, вторым и третьим входами вл ютс соответственно счетный вход двоичного счетчика, вх установки в ноль двоичного счетчика и управл ющий вход ЦАП, а первьи и вторым выходами - соответственно выход импульса переноса двоичного счетчика и выход ЦАП, в третьем цифровом генераторе развертки его первым и вторьм выходами вл ютс соответственно счетный вход двоичного счетчика и управл ющий вход ЦАП, а выходом - выход.,ЦАП.In addition, each digital sweep generator contains a serially connected binary counter and a digital-analog converter (D / A converter), while in the first digital scan generator its first and second inputs are a binary counter and a control input of the digital-to-analog converter, respectively, and the first and second outputs are Respectively, the output of the transfer pulse of the binary counter and the output of the DAC, in the second digital sweep generator, its first, second and third inputs are, respectively, the counting input of the binary counter, in The settings of the binary counter and the control input of the DAC are zero, and the first and second outputs, respectively, of the output transfer pulse of the binary counter and the output of the DAC, in the third digital sweep generator, its first and third outputs are the counting input of the binary counter and the control input of the DAC, and exit - exit., DAC.
На чертеже представлена структурна электрическа схема устройства дл формировани фотоответного изображени исследуемых полупроводниковых структур.The drawing shows the structural electrical circuit of the device for forming a photoresponse image of the semiconductor structures under study.
Устройство содержит источник 1 излучени , первый сканирующий блок 2 с зеркалом, второй сканирующий блок 3 с зеркалсм, предназначенные дл развертки луча по направлени м X и У соответственно, фокусирующую систему 4, исследуемую полупроводниковую структуру 5, видеоусилитель 6, видеоконтрольный блок 7, генератор 8 тактовых импульсов (ГТИ цифровой таймер 9, источник 10 опорного напр жени , первый цифровой генератор 11 развертки, состо щий из двоичного счетчика 12 и 13, второй цифровой генератор 14 разверки , состо щий из двоичного счетчика 15 и ЦАП 16, третий цифровой генератор 17 разве-ртки, состо щий из двоичного счетчика 18 н ЦАП 19.The device contains a radiation source 1, a first scanning unit 2 with a mirror, a second scanning unit 3 with mirrors, designed to sweep the beam in the X and Y directions, respectively, focusing system 4, the semiconductor structure 5 under study, video amplifier 6, video monitoring unit 7, generator 8 clock pulses (GTI digital timer 9, reference voltage source 10, first digital sweep generator 11 consisting of binary counter 12 and 13, second digital sweep generator 14 consisting of binary counter 15 and DAC 16, t ety digital-generator 17 except rtki consisting of N binary counter 18, the DAC 19.
Устройство работает следующим образом.The device works as follows.
Световой луч от источника 1 излучени , проход через первый сканирующий блок 2 и второй сканирующий блок 3, с помощью фокусирующей системы 4 фокусируетс на поверхности- исследуемой полупроводниковой структуры 5. Электрические пилообразные сигналы развертки, поступающие на первый и второй сканируюп91е ,блоки 2 и 3 от первого и третьего цифровых генераторов 11 и iV, вынуждают их колебатьс во взГО1НО перпендикул рных направлени х, образу тем самым на поверхности исследуемой полупроводниковой структуры 5 световой растр.На экране видеоконтрольного блока 7 аналогичными сигналами развертки создаетс телевизионный растр. Фазоответное изображение на экране видеоконтрольного блока 7 формируетс путем модул ции ркости телевизионного растра фотрответным сигналом исследуемой полупроводниковой структуры 5, усиленным с помощью видеоусилител 6.The light beam from the radiation source 1, the passage through the first scanning unit 2 and the second scanning unit 3, with the help of the focusing system 4 is focused on the surface of the investigated semiconductor structure 5. The electrical sawtooth signals of the sweep coming to the first and second scans, blocks 2 and 3 from the first and third digital generators 11 and iV, forcing them to oscillate in VNO perpendicular directions, thereby forming a light raster 5 on the surface of the semiconductor structure under study. ol unit 7 similar signals is generated television raster scan. A phase response image on the screen of the video monitor unit 7 is formed by modulating the brightness of a television raster with a phototream signal of the semiconductor structure 5 under study, amplified with a video amplifier 6.
Неискаженное фотоответное изображение исследуемой полупроводниковой структуры 5 может быть получено только при условии полного совпадени фозрмы одноименных сигналов развертки обоих растров и синхронности передвижени светового и телевизионного лучей.An undistorted photoresponse image of the semiconductor structure 5 under study can be obtained only under the condition that the same signals of the same scan signal of both rasters completely coincide and that the light and television rays move in sync.
Дл этого ГТИ 8 .вырабатывает импульсы пр моугольной формы, поступающие на счетные входы первого и второго двоичных счетчиков 12 и 15, а также на первый (счетный) вход цифрового таймера 9. Первый и второй двоичные счетчики 12 и 15 посто нно наход тс в режиме счета импульсов и при этом на выходах соответствующих ЦАП 13 и 16 генерируютс аналоговые fсигналы развертки пилообразной формы, в то врем как цифровой таймер 9 работает в счетном режиме только в интервале времени от начала синхроимпульса первого цифрового генератора 11 развертки, поступающего на второй (запускающий) вход цифрового таймера 9, до по влени на его выходе короткого выходного импульса (длительность выходного импульса цифрового таймера 9 меньше периода повторени импульсов ГТИ 8). Интервал времени , в течение которого цифровой таймер 9 работает в счетном режиме, определ етс следующим выражениемFor this, the GTI 8. Develops square-shaped pulses at the counting inputs of the first and second binary counters 12 and 15, as well as at the first (counting) input of the digital timer 9. The first and second binary counters 12 and 15 are constantly in pulse counts and at the same time analog outputs of the sawtooth sweep are generated at the outputs of the corresponding D / A converters 13 and 16, while digital timer 9 operates in the counting mode only in the time interval from the beginning of the sync pulse of the first digital sweep generator 11 A digital timer 9 that triggers to the second (triggering) input, before a short output pulse appears at its output (the digital pulse 9's output pulse duration is shorter than the GTI 8 pulse repetition period). The time interval during which digital timer 9 operates in the counting mode is determined by the following expression
Т N i О « T N i O “
30thirty
t интервал времени, в течение которого цифровой таймер 9 работает в счетном режиме (врем задержки срабатывани цифрового таймера 9); т период повторени импульсов ГТИ 8;t is the time interval during which digital timer 9 operates in counting mode (delay time of operation of digital timer 9); t is the pulse repetition period of the GTI 8;
уставка цифрового тайN мера 9, т.е. необходимое The digital setting is set to measure 9, i.e. necessary
0 дл его срабатывани (по влени выходного импульса) количество тактовых импульсов , поступивших на счетный вход после запуска. 0 to trigger it (occurrence of the output pulse) the number of clock pulses received at the counting input after the start.
5 Все остальное врем цифровой таймер 9 находитс в ждущем режиме. Дл определенности рассмотрим работу Х-канала.блока развертки с момента переполнени двоичного счет0 чика 12. На выходе импульса переноса двоичного счетчика 12 по вл етс импульс переноса, запускаиощий цифровой таймер 9 (перевод щий его из ждущего режима в режим счета). Двоич5 нвй счетчик 12 после переполнени обнул етс и следующие импульсы цифровой таймер 9 начинает считать одновременно с двоичным счетчиком 12. Через врем задержки t , определ е мое уставкой N цифрового таймера 9, на выходе его по нл етс импульс, о нул ющий двоичный счетчик 15. Начина с этого момента на выходах пе вого и второго цифровых генераторов развертки 11 и 14 (выходы цифроаналогового преобразователей 13 и 16) генерируютс пилообразные сигналы ра вертки с одинаковым периодом повторени (поскольку разр дность двоичных счетчиков 12 и 15 одинакова), но сдвинутые друг относительно друга по фазе, определ емой временем задержки срабатывани i цифрового таймера 9. Оба пилообразных сигнала идентичны по форме (равны их амплитудам , длительности пр мого хода и т.д), поскольку оба ЦАП 13 и 16 идентичны и питаютс от одного источника 10 опорного напр жени . Изменением уставки N цифрового таймера 9 можно регулировать разность фаз между электрическими сигналами Х-развертки первого сканирую щего блока 2 и Х-развертки видеоконтрольного блока 7 в интервале от О до 2h (при изменении N от О до , где гл - разр дность двоичных счетчиков 12 и 15). Следовательно, можно полностью компенсировать разность фаз светового и телевизионног растров на любой частбте сканировани . Поскольку частота развертки и фазовый сдвиг между сигналами развертки определ етс толыа частотой ГТИ 8, обеспечение стабильности которой легко осуществимо (например, использованием кварцевого генератора пр моугольных импульсов), то, как частота развертки, так и компенсирующий фазовый сдвиг в предлагаемом устройстве имеют высокую стабильность. Идентичность форм обоих электрических СН.ГНШ1ОВ развертки обеспечивает отсутствие нелинейных искажений фотоответного изображени , а его фазовые искажени устран ют установкой требуёмрго фазового сдвига между этими электрическими сигналами Х-развертки. Благодар использованию общего дл всех цифровых генераторов 11, 14 и 17 развертки источника 10 опорного напр жени , амплитуды всех трех пилообразных сигналов развертки равны между собой, и коэффициент линейного увеличени устройства остаетс посто нным и не зависит от абсолютной величины амплитуды, а следовательно, и от абсолютной веичины выходного напр жени источника 10 опорного напр жени . Таким образом, предложенное устройство обеспечивает, получение неискаженного и стабильного фазоответного изображени ,. что позволит более эффективно использовать его дл исследовани полупроводниковых структур.5 The rest of the time, digital timer 9 is in standby mode. For definiteness, consider the operation of the X channel of the sweep unit from the moment the binary counter 12 overflows. At the output of the transfer pulse of binary counter 12, a transfer pulse appears, starting digital timer 9 (transferring it from sleep to counting). After the overflow, the binary counter 5 of the counter 12 starts to zero and the digital timer 9 starts counting the following pulses simultaneously with the binary counter 12. After the delay time t, determined by the setting N of the digital timer 9, a pulse is generated at the output, the zero binary counter 15 From this moment on, the outputs of the first and second digital sweep generators 11 and 14 (outputs of the digital-to-analogue converters 13 and 16) generate raster-like signals with the same repetition period (since the binary counters are 12 and 15 o dinak), but shifted relative to each other in phase, determined by the delay time of operation of digital timer 9. Both sawtooth signals are identical in shape (equal to their amplitudes, forward stroke duration, etc.), since both DACs 13 and 16 are identical and powered from a single voltage source 10. By changing the setpoint N of digital timer 9, you can adjust the phase difference between the electrical X-sweep signals of the first scanner unit 2 and the X-sweep mode of the video monitor unit 7 in the interval from O to 2h (when N is changed from O to where hl is the binary counter value 12 and 15). Consequently, it is possible to fully compensate for the phase difference between the light and television rasters on any frequency of scanning. Since the sweep frequency and the phase shift between the sweep signals is determined by the frequency of the GTI 8, the stability of which is easily achievable (for example, using a quartz oscillator of rectangular pulses), both the sweep frequency and the compensating phase shift in the proposed device are highly stable. The identity of the shapes of both electrical SN.GNSH1OV sweep ensures the absence of non-linear distortions of the photoresponse image, and its phase distortions are eliminated by setting the required phase shift between these electrical X-sweep signals. By using the common for all digital generators 11, 14, and 17 of the sweep of the source 10 of the reference voltage, the amplitudes of all three sawtooth sweep signals are equal to each other, and the device’s linear magnification remains constant and does not depend on the absolute magnitude of the amplitude, and therefore on the absolute value of the output voltage of the source 10 of the reference voltage. Thus, the proposed device provides an undistorted and stable phase response image,. which will allow more efficient use of it for the study of semiconductor structures.
z ж уz well
SS
fr i «fr i "
-1L-1L
uu
rr
ISIS
-№-№
IjIj
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU823437998A SU1109955A1 (en) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | Device for forming photoresponse image of analyzed semiconductor structure |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU823437998A SU1109955A1 (en) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | Device for forming photoresponse image of analyzed semiconductor structure |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1109955A1 true SU1109955A1 (en) | 1984-08-23 |
Family
ID=21011710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU823437998A SU1109955A1 (en) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | Device for forming photoresponse image of analyzed semiconductor structure |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1109955A1 (en) |
-
1982
- 1982-03-17 SU SU823437998A patent/SU1109955A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Электронна промышленность, выи. 1 * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4340888A (en) | Scan linerization method and device | |
US4188642A (en) | CCD Imager operable in single frame and repetitive frame modes | |
US4567527A (en) | Image reading apparatus | |
EP0458460A2 (en) | Photoelectric conversion apparatus | |
SU1109955A1 (en) | Device for forming photoresponse image of analyzed semiconductor structure | |
US4330793A (en) | Electronic scanning of super-8 films for reproduction on a T.V. viewing unit | |
GB1471191A (en) | Electronically imaging apparatus and method | |
GB1295646A (en) | ||
JPH0454777A (en) | Ccd image pickup device | |
US3389294A (en) | Imaging system in which the size and centering of the raster are kept constant | |
US5216336A (en) | Generator for sawtooth signal with selectable retrace slope for a deflection apparatus | |
US4745480A (en) | Solid-state image pick-up device having an arrangement to avoid adverse effects on the waveform of picture elements signal by the read-out start pulse | |
US4401995A (en) | Chart recorder recording method and apparatus | |
GB1216548A (en) | Improvements in or relating to infra-red thermal imaging systems | |
SU1538278A1 (en) | Line frequency signal enerator | |
RU2011305C1 (en) | Deflection voltage generator | |
SU1378085A1 (en) | Apparatus for recording vide signal on moving photosensitive carrier | |
SU653766A1 (en) | Television signal shaper | |
SU1454735A1 (en) | Apparatus for raster synthesis of image photocopies | |
SU603146A1 (en) | Pulse signal time scale converter | |
SU944156A1 (en) | Device for recording television signals onto cine film | |
JPH0437788A (en) | Laser plotting device | |
SU598269A1 (en) | Device for correction for raster geometrical distortions | |
SU649168A1 (en) | Facsimile signal apparatus | |
SU736136A1 (en) | Codogram readout device |