Изобретение относитс к способам металлизации диэлектрических материалов и может быть иЪпользовано в различных отрасл х промьишенности, например электронной, электротехнической . Дл изготовлени корпуса полупро водниковых приборов используютс миниатюрные керамические (сапфировые , кварцевые и T.flO кольца (втул хи)f имеющие следуктие размеры: 1,2-0,8 VIM; 9Щ 0,6-0,4 высюта h « 0,4-0,2 мм. . Металлизаци торцовых поверхностей -тахцх втулок известными споообаки представл ет значительные труд . ности. . Известен способ нанесени метгтлич ской пасты на торцовую поверхность втулки с помс цью иглы или тон кой кисточкой под лупой или микроскопом М . Однако этот способ не производительный , требует от исполнителе юве лирных способностей и не гарантирует получени регламентированной тол щины, ширины и состава металлизацио ного покрыти . Известен способ нанесени металл эационного сло из мёталлизационндй пленки путем одновременной.вырубки кольца металлизации керамической дет;алью и приклейки его к ней способ термоклеевого переноса металлизационной пл«нк 2 . Известен способ металлизации по средством окунани в слой пасты щ. Однако он практически неприменим вследствие двух причин: при окунани металпи:3йрук)тс полностью цилиндрические поверхности, кроме того, очень трудно осуществить перенос деталей при окунании в пасту. Не суще ствует миниатюрных захватов, которы при окунании деталей не смачивались бы пастой и не за1Т зн ли бы цилинд рические поверхности. Известен также способ металлизации , согласно которому методами вакуумного напылени металлизируют кварцевые, керамические пластины с толщиной, равной высоте втулки, затем с помощью многсместного концентратора ультразвуком вырезают из них втулки 4} . : Однако несмотр на кажущуюс про тоту и высокую производительность этот способ имеет низкий процент выхода годных деталр в результате истирани Металлиэещионного сло абразивным материалом в процессе ультразвуковой вырезки, высокую трудоемкость изготовлени многоместного концентратора и довольно быстрый износ при ультразвуковой вырезке деталей. Наиболее близким техническим решением к предлагаемому вл етс способ металлизации торцовых поверх ностей миниатюрных диэлектрических деталей, который заключаетс в следующем: втулки из лейкосапфира металлизируютс вакуумными методами с исполь8ованием многоместных оправок дл экранировки цилиндрических поверхностей от ,подпылени с последующем гальваническим наращиванием сло золота И Недостаток зтого способа - вследствие неплотного прилегани экранируемых поверхностей деталей к поверхностн оправок (за счет естественного разброса размеров деталей) нзбежать напылени металла на боко-. вые поверхности деталей не удаетс . Напыленный на боковые поверхности металл приходитс удал ть механичес КИМ путем (зачистка на специальных приспособлени х алмазными постами). В р де случаев, когда втулки изготавливаютс из хрупких материалов (например кварца), механическа зачистка лривода1т к их разрушению. Цель и зобретени - устранение подпылени металла на цилиндаические поверхности и повьвиение процента выхода годных деталей при одновременном упрощении процесса. Поставленна цель дос игаетс тем, что согласно способу металлизаш и торцовых поверхностей миниатюрных диэЛектриЧеоких деталей, включгиощёму нанесение сло мета лизагши методом вакуумноххэ распылени и последующего гальванического нанесени золота, диэлектрические детали предварительно размещают на пЛастине Из полисхиррлг, толщина которой равна высоте деталей нагревают до на воздухе и црикладывгиот давление 8-10 кгс/см В течение 1 мин. Выса:живание золотого покрыти поверх напыленных слоев проводитс на втулки, запрессованные в полистироловую пластину Сущность предлагаемого способа состоит в том, что (5оковые Поверхности деталей экранируютс от подпылени с помощью запрессовки, их в разм гченный орга ический материал . (полистирол), в результате запресоовки и охлаждени Полистиро овой пластины с втулками остаетс незаэкранированной верхн торцова поверхность втулок, на которую песле химической очистки методом иоНно-плазменного иЛи терсдаческого испарени производитс напыление сло металла, например Мо, , Cf- Л, необходимой ТОЛЩИНЫ. Нанехтение золотого покрыти поверх напыленных слоев производитс на втулки, запрессованные в полистирол, в гальванической ванне. Двухсторонн металлизаци по предлагаемому способу иллюстрируетс следующим примером. В форме из фторогг аста готовитс пластинка из полистирола толщиной равной высоте диэлектрической детали. Детали из керамики или других диэлектри ков накладываютс Hft эту пластинку и : при нагревании до leotS C и подаче давI лени 8-10 кгс/см они с помощью груза запрессовываютс в разм гченный полистирол . Меньшее давление нeдoctaтoчн дл запрессовки деталей на всю их высоту, а более высокое давление приводит к разрушению деталей. Врем подачи давлени составл ет Ч 1 Мин Из-за хорошей текучести и смачивающей способности нагретого полисти .рола легко достигаетс плотна экр нировка боковых поверхностей. Толщина пластииы полистирола и деталей должна быть одинаковой, что достигаетс с помощью фор|у|ы-шаблон а из фторопласта . После запрессовки и охлаждени полистироловс и пластины с втулкако производитс химическа очистка, затем ппа :тина с втулками пометаетс в установку ион о-плазменного Или термического напылени и производит с напыление сло металла, например МО, Cr-Cu, Сг- f« и т.п. необходимой толщины. Затем детали в полистироловой пластине передаютс на операцию гальванического золочени , после чего извлекаютс из полистирола с помощью его растворени в ацетоне или другим,способом. Дл покрыти второго торца втулки вновь проход т все указанные операции. Покрыти , получаемые таким образом, характеризуютс четкостью рисунка, повтор ющего контур металлизируемой поверхности без подпылени На поверхности , смежные с металлизируемой, что отличает их от прототипаг Полученные на основе этих покрытий соединени с металлами, например медью, вакуумплотные , имеют механическую прочность 4,5-5 кгс/мм при испытании на отрыв. Эти данные не хуже, чем у прототипа. Крсмие того, предлагаемый способ не требует ювелирной работы исполнителей и очень высокой квалификации, производительность груда при металлизации малогабаритных втулок этим сйособом повышаетс в 2-3 раза, выход годных составл ет 70%.The invention relates to methods for the metallization of dielectric materials and may be used in various industries, such as electronic, electrical. For the manufacture of the case of semiconductor devices, miniature ceramic (sapphire, quartz, and T.flO rings (hub chi) f having the following dimensions: 1.2-0.8 VIM; 9SH 0.6-0.4 height h 0,4 0.4 -0.2 mm. Metallization of the end surfaces of the -bach sleeves with known spoobs is considerable difficulty. There is a known method of applying a mettlite paste onto the end surface of the sleeve with a needle or a thin brush under a magnifying glass or microscope M. However, this method not productive, requires artist to be able to play It does not guarantee obtaining a specified thickness, width and composition of the metallization coating. There is a known method of applying a metal from a metal film to a metal layer by simultaneous cutting of the metal ring into the ceramic part; gluing the adhesive film to the metal bonding plc nc 2. method of metallization by means of dipping into the paste layer u.However, it is practically inapplicable due to two reasons: when dipping metal: 3yruk) completely cylindrical surfaces, moreover, about It is difficult to transfer parts when dipping into a paste. There are no miniature grips that, when dipping parts, would not be wetted with paste and would not know cylindrical surfaces. There is also known a method of metallization, according to which methods of vacuum spraying metallize quartz, ceramic plates with a thickness equal to the height of the sleeve, then using a multi-core concentrator, ultrasound is cut out of them sleeve 4}. : However, despite the seemingly high performance and this performance, this method has a low yield of parts due to the abrasion of the metal layer with an abrasive material in the process of ultrasonic cutting, a high labor intensity for manufacturing a multi-seat concentrator, and a rather fast wear with ultrasonic cutting of parts. The closest technical solution to the present invention is a method of metallization of the end surfaces of miniature dielectric parts, which is as follows: leukosapphire sleeves are metallized by vacuum methods using multi-mounted mandrels for screening the cylindrical surfaces from, podplyed, followed by galvanic build-up of gold and the disadvantage of this method due to the loose fit of the shielded surfaces of the parts to the surface of the mandrels (due to the natural azbrosa dimensions of parts) nzbezhat sputtering metal on the lateral. The surface areas of the parts fail. The metal deposited on the side surfaces must be removed by mechanical KIM by (grinding on special devices with diamond posts). In a number of cases where the sleeves are made of fragile materials (for example quartz), mechanical stripping of the drive leads to their destruction. The goal and the invention is to eliminate metal spraying on cylindrical surfaces and increase the percentage of usable parts while simplifying the process. This aim dos igaets fact that according to the method metallizash and end surfaces miniature dieLektriCheokih parts vklyuchgioschomu applying a layer of meta lizagshi method vakuumnohhe spraying and subsequent galvanic deposition of gold, dielectric parts previously placed on plates of poliskhirrlg whose thickness is equal to the height of parts warmed to air and cyclic pressure from 8-10 kgf / cm for 1 min. Vyssa: live gold coating on top of sprayed layers is carried out on bushings pressed into a polystyrene plate. The essence of the proposed method is that (5-Surfaces of the parts are shielded from spraying by pressing, they are softened organic material. (Polystyrene), as a result of pressing. and cooling a polystyrene plate with sleeves remains the unshielded upper end surface of the sleeves, onto which a chemical cleaning method using ion-plasma or thermodynamic evaporation The metal layer is deposited, for example, Mo, Cf-L, the required THICKNESS. The gold coating over the sprayed layers is applied to the sleeves pressed into polystyrene in an electroplating bath. A two-sided metallization of the proposed method is illustrated by the following example. polystyrene with a thickness equal to the height of the dielectric part. Parts made of ceramics or other dielectrics impose Hft this plate and: when heated to LeotS C and supplied with a pressure of 8-10 kgf / cm, they are with the weight of the load, pressurized into the softened polystyrene. Lower pressure is too low to press the parts to their full height, and higher pressure leads to the destruction of the parts. The time for applying the pressure is 1 min. Due to the good flowability and wetting ability of the heated sheet of a roll, tight screening of the side surfaces is easily achieved. The thickness of the polystyrene plastiy and details should be the same, which is achieved with the help of the form | y | s-template and of fluoroplastic. After pressing in and cooling the polystyrene and the plate with the sleeve, chemical cleaning is performed, then the pp: tin with sleeves is poured into the ion ion of the o-plasma or thermal spray and produces a metal layer with sputtering, for example MO, Cr-Cu, Cr-f and so on. P. required thickness. The parts in the polystyrene plate are then transferred to an electroplating gilding operation, after which they are removed from the polystyrene by dissolving it in acetone or other means. To cover the second end of the sleeve, all the above operations are performed again. The coatings obtained in this way are characterized by the clarity of the pattern that repeats the contour of the metallized surface without sub-dusting. On the surface adjacent to the metallized, which distinguishes them from the prototype. Compounds obtained from these coatings with metals, such as copper, vacuum-tight, have a mechanical strength of 4.5- 5 kgf / mm in the pull test. These data are not worse than the prototype. Moreover, the proposed method does not require jewelry work of performers and very high qualifications, the performance of the pile during the metallization of compact sleeves with this method increases by 2-3 times, the yield is 70%.