SU1046209A1

SU1046209A1 - Glass

Info

Publication number: SU1046209A1
Application number: SU823487860A
Authority: SU
Inventors: Ирина Константиновна Немкович; Алексей Николаевич Шиленко; Ольга Валентиновна Невар; Дора Анисимовна Клименская; Инна Петровна Лепик; Анна Ильинична Адер
Original assignee: Белорусский Ордена Трудового Красного Знамени Политехнический Институт
Priority date: 1982-06-23
Filing date: 1982-06-23
Publication date: 1983-10-07

Abstract

СТЕКЛО, включакшее SiO, BjO ВаО, от ли ч а ю щ е е с тем, .что,-с целью улучпюии гщгезии стекла к станнатной пленке, оно дополнительно содержит SnO и &deg;СаО при следующем соотношении компонентов, мае. %: 43-45 Si0.a 15-17 B.Om 9-10 25-27 Вас 1-2 ЗпОл СаО 2-3 gGLASS, including SiO, BjO BaO, from which, with the aim of improving the glass's adhesive to stannate film, it additionally contains SnO and & CaO in the following ratio of components, May. %: 43-45 Si0.a 15-17 B.Om 9-10 25-27 You 1-2 Zpol CaO 2-3 g

Description

4 О)4 O)

toto

ОABOUT

соwith

Изобретение относитс к технол гии силикатов и предназначаетс дл использовани его в электронике .р качестве износостойкого диэлектрика в микросхемаз специального назначени , Известно стекло, содержащее, мае. %: Si02 45,5-47,5; AfjO ,3; . 6,0-7,0; ВаО .35,2-39,1 Ги. .. ;.: , Это стекло,из-за повышенных значений коэффициента тепловогорасширени и температуры.разм гчени при формировании рельефа, на подложках из стекла СТ-50 с КТР 52 не позволйет получать покрытие без трещин и деформации ситалловой подложки при обжиге- покрыти . . Наиболее близким к изобретению. вл етс стекл о, включающее, мас.%: SiOy 47 , ff-49,9; B-fiOg 9,7-13., 5; 10,,0-10,5; ВаО 28,7-29,9 I2j. Данное стекло ло основным физико-химическим свойствам удовлетвор ет требовани м дл получени соэм стимого с ситалловой по;Е1Пожкой из СТ-50 проплавленного при стеклообразного покрыти . Однако из-за .низкой адгезии этого стекл.а к станватной пленке, когора : должна наноситьс на сформи-г ованнре по ситаллу стеклЬобраэ ное окрытие, образует слабое .сцепле- . ие с указанной пленкой и вследстие этого не может быть использовано в качестве материала рельефа в пае со Sn02 припроизводстве микросхем спецназначени Цель изобретени - улучшение адгезии стекла к станнатной пленке. Поставленна цель дос-тигаетс тем, что. стекло, включающее SiO., БгОз Af-jO -, ВаО, дополнительно со- держит SnQj2 и СаО при следующем соотношении компонентов, мае. %: Введение SnO и СаО позвол ет улучшить адгезию стеклак станнатной пЛенке за счет увеличени химического сродства между оловосодергг жсмцим стеклом и пленкой из SnOj и снижени его в зкости с помощью Добавки СаО.. Конкретные составы стекол и их свойства представлены в таблице. : /The invention relates to the technology of silicates and is intended for use in electronics. P as a wear-resistant dielectric in microcircuses for special purposes. Glass containing May is known. %: Si02 45.5-47,5; AfjO, 3; . 6.0-7.0; WAO .35.2-39.1 Gi. ..;.:, This glass, due to the increased values of the heat expansion coefficient and temperature. Gcheni during the formation of the relief, on substrates of glass CT-50 with KTP 52 will not allow to obtain a coating without cracks and deformation of the sitall substrate during firing. . Closest to the invention. is glass o, comprising, in wt.%: SiOy 47, ff-49.9; B-fiOg 9.7-13., 5; 10, 0-10.5; BaO 28.7-29.9 I2j. This glass meets the basic physicochemical properties to meet the requirements of a glass-ceramic product; E1Stool from ST-50 smelted with a glassy coating. However, due to the low adhesion of this glass to the stanvate film, which: the glassy coating should be applied to the glass mold on the glass, forms a weak bond. This film cannot be used as a relief material in the package with Sn02 for the production of special purpose microcircuits. The purpose of the invention is to improve the adhesion of glass to stannit film. The goal is achieved by the fact that. glass including SiO., BgOz Af-jO -, BaO, additionally contains SnQj2 and CaO in the following ratio of components, May. %: The introduction of SnO and CaO improves the adhesion of the glass to the stannous film by increasing the chemical affinity between the tin-containing glass and the SnOj film and reducing its viscosity using CaO Additive. Specific glass compositions and their properties are presented in the table. : /

:45,0: 45.0

,0 : -ВзОз ., 0: -Which.

9,09.0

А%ОЗA% OZ

26,026.0

ВаО WAO

2,02.0

СаОCao

2,02.0

5пО«5 ° “

15001500

Температура варки, СCooking temperature, С

Тейпература выработ-.с ки,Working temperature,

13001300

Температура разм г- чени , С670ЛОDilution temperature, S670LO

Температура получени проплавленнбго покры- ти , VThe temperature of obtaining the proplavlenngo coating, V

4Г7,8-49,94G7,8-49,9

53,053.0

9,7-13,59.7-13.5

15,015.0

10,0-10,510.0-10.5

10,010.0

28,7-29,928.7-29.9

27,027.0

3,03.0

2,02.0

15001500

13001300

6.80+206.80 + 20

б7.Oil Оb7.Oil About

670flO670flO

820820

800110800110

Кристаллизационна способность, сCrystallization ability, with

Ко Ффициелт теплового рас иирени d-lO, Co. Fizielt Thermal Race d-lO,

Удельное электрическое сопротивление при .300 С, Ом-смElectrical resistivity at .300 С, Ohm-cm

Химическа устойчи-1 вость -(потери массы) по отнсшению кChemical Resistance-1 Target - (mass loss) in relation to

Продолжение таблицыTable continuation

;Не кристаллизуютс ; Do not crystallize

SOflSOFL

48tl48tl

SOflSOFL

50115011

ioio

.10.ten

1212

10ten

Claims

GLASS, including SiO _x , ®2θ3 »AB ^ Au, BaO, which is different from the fact that * in order to improve the adhesion of the glass to the stannate film, it additionally contains Sn0 ₃ and ЕаО in the following ratio components, may. %:

SiO. _a 43-45

B, Re15-17

Al _t 0> 9-10

BaO25-27

SnOg1-2

CaO2-3

I