Изобретение относитс к электронно-оптическим системам электроннозондовых приборов и может быть использовано дл просвечивающих и .растровых электронных микроскопов, рентгеновских микроанализаторов и других устройств. . Известна электронно-оптическа система дл формировани и фокусировки электронного пучка,содержаща электромагнитные линзыJ в которых внутренний магнитопровод снабжен Специальными полюсными наконечниками , требующими тщательной под-гонки при установке 1 . Така конструкци электронно оптическойсистемы трудоемка в изготовлении и не обеспечивает точной к)стировки. Наличие большого числа резиновых уплотнителей усложн ет Конструкцию и не обеспечивает высокой степени разр жени в системе. Наиболее близким к предлагаемой по технической сущности вл етс электронно-оптическа система co-i держаща электромагнитные линзы, включающие обмотку, внешний и внутренний магнитопроводы -и полюса Ез. В известном устройстве имеет мес то большое число посадок,- что не по звол ет обеспечить соосность элект-ронно-оптической системы, а большое число резиновых вакуумных уплотнений и полных вакуумных соединений затрудн ет получение необходимого разр жени в системе. Цель изобретени - упрощение кон струкции электронно-оптической сист мы„. Поставленна цель достигаетс те Что электронно-оптическа система Снабжена общим дл электромагнитных Линз внутренним магнитопроводом, вы полненным в виде толстостенной труб , с кольцевыми канавками на ее внешне поверхности в количестве, соответст аующем числу линз в системе. На чертеже 1представлена конструкци трехлинзовой электронно-оптической CHCTeN5J. Электронно-оптическа системасодержит внутренний магнитопровод 1, выполненный в виде толстостенной трубы с кольцевыми канавками 2, расположенными на внешней поверхности трубы, одну или несколько обмоток 3 линз, внешний магнитопровод 4, боковые фланцы 5 магнитопровода , которые в совокупности со стыковочными элементами образуют вакуумные уплотнени 6 по цилиндрической поверхности внутреннего магнитопровода на его концах. Электронно-оптическа система ра:ботает следующим образом. Электронный пучок подает в магнитное , поле первой линзы (перва по ходу пучка канавка),магнитное поле которой формирует изображение кроссовера электронной пушки, ниже средней плоскости первой канавки. Это. изображение вл етс предметом дл второй линзы (район второй канавки), котора формирует второе промежуточное изображение источника электронно-оптической системы, позвол ет существенно упростить юсти-. ровку системы, так как внутренний магнитопровод всех вход щих в систе .му линз выполн етс из цельного куска материала, и коаксиальность внутренних отверстий магнитопровода ограничиваетс только точностью изготовлени .. Применение вакуумного уплотнени по цилиндрической поверхности внутрен .него .магнитопровода на его концах упрощает конструкцию электронно-оптической системы и позвол ет более точно состыковать электронно-оптическую систему с электронной пушкой, последующей электромагнитной линзой или рабочей камерой. .The invention relates to electron-optical systems of electron-probe devices and can be used for transmission and scanning electron microscopes, x-ray microanalyzers and other devices. . A known electro-optical system for forming and focusing an electron beam, which contains electromagnetic lenses in which the inner magnetic core is provided with special pole tips that require careful fit during installation 1. Such an electron-optical system design is laborious to manufacture and does not provide accurate alignment. The presence of a large number of rubber seals complicates the design and does not provide a high degree of discharge in the system. Closest to the proposed technical entity is an electron-optical system co-i holding electromagnetic lenses, including a winding, external and internal magnetic cores, and poles Ez. In the known device, there is a large number of landings, which does not allow for coaxiality of the electron-optical system, and a large number of rubber vacuum seals and complete vacuum joints make it difficult to obtain the necessary discharge in the system. The purpose of the invention is to simplify the design of the electron-optical system. The goal is achieved: Electro-optical system Equipped with an internal magnetic core common to electromagnetic Lens, made in the form of thick-walled pipes, with annular grooves on its external surface in an amount corresponding to the number of lenses in the system. In drawing 1, a three-lens electro-optical CHCTeN5J design is shown. Electron-optical system contains an inner magnetic core 1, made in the form of a thick-walled tube with annular grooves 2 located on the outer surface of the tube, one or more windings 3 lenses, an outer magnetic circuit 4, side flanges 5 of the magnetic circuit, which together with the connecting elements form vacuum seals 6 along the cylindrical surface of the internal magnetic circuit at its ends. The optoelectronic system works as follows. The electron beam feeds into the magnetic field of the first lens (the groove along the beam), the magnetic field of which forms an image of the electron gun crossover, below the mid-plane of the first groove. It. the image is the subject of the second lens (the area of the second groove), which forms the second intermediate image of the source of the electron-optical system, which allows to significantly simplify the justice. The system, since the inner magnetic core of all lenses entering the system is made of a single piece of material, and the coaxiality of the inner holes of the magnetic circuit is limited only by the manufacturing accuracy. The use of vacuum sealing on the cylindrical surface of the inner magnetic circuit simplifies the design of the electronic circuit. optical system and allows you to more accurately interface the electron-optical system with an electron gun, a subsequent electromagnetic lens or a working chamber. .