SU1035016A1 - Method for making inorganic viterous films - Google Patents

Method for making inorganic viterous films Download PDF

Info

Publication number
SU1035016A1
SU1035016A1 SU813320145A SU3320145A SU1035016A1 SU 1035016 A1 SU1035016 A1 SU 1035016A1 SU 813320145 A SU813320145 A SU 813320145A SU 3320145 A SU3320145 A SU 3320145A SU 1035016 A1 SU1035016 A1 SU 1035016A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
films
film
thermal expansion
substrate
temperature
Prior art date
Application number
SU813320145A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Олег Семенович Сироткин
Михаил Юрьевич Хитров
Евгений Васильевич Кузнецов
Original Assignee
Казанский Химико-Технологический Институт Им.С.М.Кирова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Казанский Химико-Технологический Институт Им.С.М.Кирова filed Critical Казанский Химико-Технологический Институт Им.С.М.Кирова
Priority to SU813320145A priority Critical patent/SU1035016A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1035016A1 publication Critical patent/SU1035016A1/en

Links

Landscapes

  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕОРГАНИтЧЕСКИХ СТЕКЛООБРАЗНЫХ ПЛЕНОК из газовой фазы оксида фосфора в присутствии паров воды с последунмцим отделением пленок, отличающийс  7ем, что, с целью получени  пленок, давеющих различные коэффициенты термического расширени  ограничивающих поверхностей, процесс ведут на поверхности твердой подложки, полученной пребсованием смеси оксидов, при атмосферном давлении и температуре не менее и не более температуры спекани  или плавлени  компонентов подложки, а отделение пленки осуществл ют охлаждением со скоростью не менее 2СО С/мин.A method for producing inorganic glazed films from the gas phase of phosphorus oxide in the presence of water vapor and subsequent separation of films, which is different by 7, in order to obtain films with different thermal expansion coefficients of the bounding surfaces, the process is carried out on the surface of the solid substrate, obtained by the cores, and the layers that have different thermal expansion coefficients of the bounding surfaces, are obtained on the surface of the solid substrate. atmospheric pressure and a temperature of not less than and not more than the temperature of sintering or melting the components of the substrate, and the film is separated by cooling with scab least 2CO C / min.

Description

ОдOd

сд Изобретение относитс  к синтезу неорганических высокомолекул рных соединений и может найти, применейие дл  полунени  системно-анизотропных стеклообразных пленок с различньми физико-химическими характеристиками Известен способ получени  пленки тугоплавкого материала , согласно которому пленка тугоплавкого соединени  (несодержащего кислорода и почти несодержащего дефектов кристаллической структуры) образуетс  при осаждении этого соединени  (кар биды титана, кремни , циркони , гафни , ванади  хрома или бора, бориды и нитриды этих металлов и алюмини  или элементарные бор или кремни на поверхность пленки пиролитического графита. Пленка графита осаждаетс  на инертную жидкую подложку (медь, золото, платина). Пленку туго плавкого соединени  затем отдел ют от пленки г.рдфита l . Этот способ позвол ет получить осажденное из паровой фазы тугоплавкое соединение в виде пленки, но предусматривает полную ее изотропность , т.е. пленка имеет посто нный состав в любой ее точке. Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  способ получени  стеклообразных пленок путем перевода вещества , образующего пленку, или компонен . тов этого вещества в парообразное состо ние под вакуумом, конденсацию паров в твердое состо ние на поверхности жидкости и отделение сконденсированной пленки от жидкости. Пленк может быть образована осаждением одного вещества и одновременным осаждением различных компонентов или последовательным осаждением компонентов 2. Недостатками этого способа  вл ют трудности . получени  пленок с непрерывным изменением состава по толщине , поскольку при взаимодействии раз личных компонентов в газовой фазе практически невозможно регулировать осаждение требуемых продуктов по все длине реакционной зоны, вследствие низкой температуры жидкой подложки диффузии и взаимодействи  компонентов в твердой фазе не происход т, в результате слоистые пленки, полученные по прототипу, имеют четко выр женные границы раздела, что при значительных циклических изменени х температуры приводит к их расслаиванию . Кроме того, использование вакуумной техники, т.е. малых концентраций газовых фаз, не обеспечюзает высокой скорости роста пленок. Целью изобретени   вл етс  получение пленок, имеющих различные коэф фициенты термического расширени  ограничивающих поверхностей. Поставленна  цель достигаетс  тем, что согласно способу получени  неорганических стеклообразных пленок из газовой фазы оксида фосфора в присутствии паров воды с последующим отделением пленок, процесс ведут на поверхности твердой подложки, полученной прессованием смеси оксидов, при атмосферном давлении и температуре не менее 300 С и не более температуры спекани  или плавлени  компонентов подложки , а отделение пленки осуществл ют охлаждением со скоростью не менее 200с/мин. Пример 1.В качестве твердой подложки используют таблетку размером 30-10-1 KJM, отпрессованную при 650 МПа из порошка оксида кальци . Таблетку обрабатывают в течение 1 ч при газообразным оксидом фосфора в присутствии паров воды, после чего, не производ  охлаждени , таблетку извлекают из высокотемпературной зоны (Т СаО 2580С) . При остывании таблетки со скоростью ЗОО С/мин. происходит отслоение образовавшейс  на поверхности стеклообразной пленки полифосфата кальци , послойный анализ пленки на врем -пролетном лазерном масс-спектрометре показывает следующее распределение элементов то толщине пленки: соотношение р/Са мен етс  от величины близкой к со у одной поверхности пленки , практически до О у другой.Вследствие различного химического состава поверхностных слоев они имеют различные коэффициенты термического расширени . Температура текучести этой пленки 560°С, Пример 2.В качестве твердой подложки используют таблетку размером 30-10-1 мм, отпрессованную из порошка оксида магни  (Т М 2800с) . Таблетку обрабатывают в.течение двух часов при . Охлаждение осуществл ют со скоростью 200 с/мин. Пленка в процессе охлаждени  отдел етс  от подложки без повреждений имеет различные коэффициенты термиеского расширени  ограничивающих ее поверхностей. , Пример 3. В качестве материала твердой подложки исполь.зуют поошок из оксида кальци . Процесс получени  пленки ведут в истеме парогазова  фаза ри в течение 40 мин. В результате взаимодействи  масса ленки, синтезированна  на 1 см одложки, составл ет 10 мг: а) охлаждение образца осуществл т со скоростью 200°С/мин продувкой оздуха через реакционную зону (одородна  прозрачна  стеклообразна  пленка отдел етс  от подложки без повреждений); б) охлаждение образца осуществл  ют перемещенное его в специальном зажиме непосредственно из реакцион ,ной зоны () на воздух (25°С) (скорость остывани  около вОО°С/ми пленка отдел етс  без повреждений ) . Пленки,- получаемые данными спосо бами, имеютразличные коэффициенты термического расширени  ограничиваю щих их поверхностей. Пример 4. В качестве матер ала дл  подложки можно использовать смеси любых совместимых тугоплавких .оксидов. Так дли получени  трехкрмпонентных пленок при однокомпонентной газовой фазе ( присутстви паров воды, но вода играет роль катализатора) подложку изготавливают прессованием смеси двух оксидов в соотношении 1:2 Т, енОл и McjO 5i02 ). Подложку, содержащую оксиды магни  и кремни  обрабатывают при 1100°С в течение 1 ч. Охлаждение ведут со скоростью 500°С/м Получаема  пленка отдел етс  без повреждений и имеет различные коэффициенты термического расширени , ограничивающих ее поверхностей. Различив коэффициентов термического расширени  поверхностей пленки: оценивают по величине изгиба последней при нагревании. Дл  этого один конец пленки стандартной длины закрепл ют , производ т нагрев и фиксируют перемещение свободного конца. Чем оно больше, тем больше различие КТР поверхностей. Пленки, получаемые предлагаемым способом, способны к обратимому изгибу под действием нагревани -охлаждени , что позвол ет использовать их в качестве объектов, способных совершить механическую работу под действием температуры. Эта их способность может быть использована, например , в термочувствительных датчиках. Другой областью применени  стеклообразных пленок, имеющих различные коэффициенты тер«1ического расширени  поверхностей,  вл етс  их использование в качестве стеклоприпо  дл  соединени  разнородных материалов, также имеющих различные КТР, например , керс1мики и металла, при этом обеспечиваетс  стойкость соединени , к термоциклированию. Стеклообразные пленки, имеющие переменный по толщине состав, обладают также переменной оптической плотностью , что дает возможность примен ть их при фотометрических измерени х.The invention relates to the synthesis of inorganic high molecular compounds and may find application for systemic anisotropic glassy films with different physicochemical characteristics for poling. during the precipitation of this compound (titanium, silicon, zirconium, hafnium, vanadium chromium or boron car bides, borides and nitrides x metals and aluminum or elemental boron or silicon on the surface of pyrolytic graphite film. A graphite film is deposited on an inert liquid substrate (copper, gold, platinum). The film of a tightly fusible compound is then separated from a dfl film of l. This method allows to obtain a precipitated From the vapor phase, the refractory compound is in the form of a film, but provides for its complete isotropy, i.e., the film has a constant composition at any of its points. The closest to the present invention is a method of producing glassy films by transferring ETS, film-forming, or to parts. Combustion of this substance into a vapor state under vacuum, condensation of vapor into a solid state on the surface of the liquid, and separation of the condensed film from the liquid. The film can be formed by the deposition of a single substance and the simultaneous deposition of various components or the sequential deposition of components 2. The disadvantages of this method are difficulties. producing films with a continuous compositional change in thickness, since the interaction of various components in the gas phase makes it almost impossible to control the deposition of the desired products along the entire length of the reaction zone, due to the low temperature of the liquid substrate, diffusion and interaction of the components in the solid phase do not occur; , obtained by the prototype, have clearly pronounced interfaces, which, with significant cyclical temperature changes, leads to their delamination. In addition, the use of vacuum technology, i.e. low concentrations of gas phases, does not provide a high film growth rate. The aim of the invention is to obtain films having different coefficients of thermal expansion of the bounding surfaces. The goal is achieved by the fact that according to the method of obtaining inorganic glassy films from the gas phase of phosphorus oxide in the presence of water vapor, followed by separation of the films, the process is carried out on the surface of a solid substrate obtained by pressing a mixture of oxides, at atmospheric pressure and at least 300 ° C and no more sintering or melting temperatures of the substrate components, and film separation is carried out by cooling at a rate of at least 200 sec / min. Example 1. As a solid support, a tablet with a size of 30-10-1 KJM pressed from 650 MPa from calcium oxide powder is used. The tablet is treated for 1 hour with gaseous phosphorus oxide in the presence of water vapor, after which, not producing cooling, the tablet is removed from the high-temperature zone (T CaO 25 ° C). When cooling the tablet with the speed of ZOO S / min. peeling of the calcium polyphosphate glassy film formed on the surface occurs, layer-by-layer analysis of the film on a time-of-flight laser mass spectrometer shows the following distribution of elements of the film thickness: the p / Ca ratio varies from close to ω at one surface of the film, almost to O Due to the different chemical composition of the surface layers, they have different coefficients of thermal expansion. The pour point of this film is 560 ° C, Example 2. As a solid substrate, a tablet with a size of 30-10-1 mm, pressed from magnesium oxide powder (T M 2800s) is used. The tablet is treated for two hours at. Cooling is carried out at a rate of 200 sec / min. The film in the process of cooling is separated from the substrate without damage and has different coefficients of thermal expansion of the surfaces bounding it. Example 3. Calcium oxide powder is used as the material of the solid substrate. The process of film production is carried out in the vapor-gas phase system for 40 minutes. As a result of the interaction, the mass of Lenka synthesized per 1 cm of the cloak is 10 mg: a) the sample is cooled at a rate of 200 ° C / min by blowing air through the reaction zone (the transparent transparent glassy film separates from the substrate without damage); b) cooling of the sample is carried out by moving it in a special clamp directly from the reaction zone () to air (25 ° C) (cooling rate near BOO ° C / mi film is separated without damage). Films, obtained by these methods, have different coefficients of thermal expansion of their bounding surfaces. Example 4. Mixtures of any compatible refractory oxides can be used as a substrate material. Thus, in order to obtain three-component films with a single-component gas phase (presence of water vapor, but water plays the role of a catalyst), the substrate is made by pressing a mixture of two oxides in a ratio of 1: 2 T, enOl and McjO 5i02). The substrate containing oxides of magnesium and silicon is treated at 1,100 ° C for 1 hour. The cooling is carried out at a rate of 500 ° C / m. The resulting film is separated without damage and has different coefficients of thermal expansion, limiting its surfaces. Distinguishing the coefficients of thermal expansion of the film surfaces: estimate the magnitude of the bending of the latter when heated. For this, one end of the standard-length film is fixed, heated, and the movement of the free end is recorded. The larger it is, the greater the difference is the KTR of surfaces. The films obtained by the proposed method are capable of reversible bending under the action of heating-cooling, which allows them to be used as objects capable of performing mechanical work under the action of temperature. This ability of theirs can be used, for example, in temperature-sensitive sensors. Another field of application for glassy films having different termination coefficients for surface expansion is their use as a glass frit for joining dissimilar materials that also have different CTEs, for example, kersm and metal, while ensuring the resistance of the compound to thermal cycling. Glassy films having a variable thickness composition also have variable optical density, which makes it possible to apply them to photometric measurements.

Claims (1)

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕОРГАНИЧЕСКИХ СТЕКЛООБРАЗНЫХ ПЛЕНОК из газо вой фазы оксида фосфора в присутствии паров воды с последующим отделением пленок, отличающийся тем, что, с целью получения пленок, имеющих различные коэффициенты термического расширения ограничивающих поверхностей, процесс ведут на поверхности твердой подложки, полученной предсованием смеси оксидов, при атмосферном давлении и температуре не меиее 300°С и не более температуры спекания или плавления компонентов подложки, а отделение пленки осуществляют охлаждением со скоростью не менее 200°С/мин.METHOD FOR PRODUCING INORGANIC GLASS-FILMED FILMS from the gas phase of phosphorus oxide in the presence of water vapor followed by separation of the films, characterized in that, in order to obtain films having different thermal expansion coefficients of the bounding surfaces, the process is carried out on the surface of a solid substrate obtained by pressing the oxide mixture, at atmospheric pressure and a temperature not exceeding 300 ° С and not more than the sintering or melting temperature of the substrate components, and the film is separated by cooling at a speed Strongly not less than 200 ° C / min. >>
SU813320145A 1981-04-10 1981-04-10 Method for making inorganic viterous films SU1035016A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813320145A SU1035016A1 (en) 1981-04-10 1981-04-10 Method for making inorganic viterous films

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813320145A SU1035016A1 (en) 1981-04-10 1981-04-10 Method for making inorganic viterous films

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1035016A1 true SU1035016A1 (en) 1983-08-15

Family

ID=20970146

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813320145A SU1035016A1 (en) 1981-04-10 1981-04-10 Method for making inorganic viterous films

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1035016A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2581975C1 (en) * 2014-12-10 2016-04-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) Device for automated control of heat consumption on heaters of heat supply systems

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. за вка GB 1384014, кл. С 04 В 35/00, 1975. 2. За вка GB 1436208, кл. С 03 В 18/02, 1976 (прототип). *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2581975C1 (en) * 2014-12-10 2016-04-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Юго-Западный государственный университет" (ЮЗГУ) Device for automated control of heat consumption on heaters of heat supply systems

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Wagstaff et al. Kinetics of crystallization of stoichiometric SiO2 glass in H2O atmospheres
Fujii et al. Interfacial reaction wetting in the boron nitride/molten aluminum system
Landry et al. Wettability of carbon by aluminum and aluminum alloys
EP0150048B1 (en) Method for making a fine powder of a metal compound having ceramic coatings thereon
Mehner et al. Crystallization and residual stress formation of sol-gel-derived zirconia films
Jung et al. Variation of contact angles with temperature and time in the Al-Al 2 O 3 system
SU1035016A1 (en) Method for making inorganic viterous films
EP0180230A1 (en) Zircon-cordierite composite ceramic
Shen et al. Wetting and reaction of MgO single crystals by molten Al at 1073–1473 K
Kalogeropoulou et al. Mechanisms of reactive wetting: the wetting to non-wetting case
Mailliart et al. Influence of oxygen partial pressure on the wetting of SiC by a Co–Si alloy
Toy et al. Wetting and spreading of molten aluminium against AlN surfaces
Mcevoy et al. Metal/non-metal interfaces. The wetting of magnesium oxide by aluminium and other metals
Huguet et al. Study of interactions between silicon and coated graphite for application to photovoltaic silicon processing
KR19980087288A (en) Manufacturing process of crystalline solid powder with low electrical resistance
Latukhin et al. Physical and chemical fundamentals of combustion synthesis of skeleton ceramic-metal composites TiC-Al
Lennikov et al. In situ synthesis of composite MTiO3–Al2O3 coatings via laser zone melting
Meier et al. The effect of large oxygen additions on the wettability and work of adhesion of copper-oxygen alloys on polycrystalline alumina
Naka et al. Wetting of alumina by molten aluminum and aluminum-copper alloys
Christian et al. Siliconizing of molybdenum metal in indium-silicon melts
Nogi et al. Characteristic wettability of SiC by liquid pure Cu
JP4615644B2 (en) Precise reproduction by chemical vapor deposition
Ueno et al. Crystallization and microstructure formation of glass with Y2Si2O7-mullite eutectic composition
Petkov et al. On the Evaporation Process of the Ge–Se–Tl System
JP2000136967A (en) Temperature-detecting element