SU1024211A1

SU1024211A1 - Two-coordinate table

Info

Publication number: SU1024211A1
Application number: SU813332045A
Authority: SU
Inventors: Владимир Сергеевич Шальнов; Евгений Сергеевич Сорокин; Александр Иванович Михайлов; Лев Николаевич Кузьмин; Зиновий Михайлович Славинский
Original assignee: Предприятие П/Я В-8657
Priority date: 1981-08-17
Filing date: 1981-08-17
Publication date: 1983-06-23

Abstract

ДВУХКООРДИНАТНЫЙ СТОЛ, содержащий предметную плиту, промежуточную каретку и основание, перемещаемые относительно друг друга по направл ющим , попарно расположенным на обращенных друг к другу поверхност х, и привод перемещени предметной плиты с толкател ми , отличающийс тем, что, с целью повышени точности перемещени предметной плиты, стол снабжен Г-образным упором, жестко закрепленным на предметной плите с возможностью взаимодействи с толкател ми привода перемещений, а одна из направл ющих каждой пары предметной плиты и основани установлена с возможностью перемещени в направлении, противоположно расположенной направл ющей каретки.A TWO-COORDINATE TABLE containing an object plate, an intermediate carriage and a base, are moved relative to each other along rails arranged in pairs on surfaces facing each other, and a movement drive of the subject plate with pushers, characterized in that plates, the table is equipped with an L-shaped stop rigidly fixed on the object plate with the possibility of interaction with the pushers of the movement drive, and one of the guides of each pair of the object plate and The vanilla is mounted for movement in the opposite direction of the carriage guide.

Description

Изобретение относится к точной механике, а именно к механизмам, обеспечивающим линейные перемещения по двум координатам, и предназначено для автоматического присоединения проволочных выводов $ при производстве полупроводниковых приборов.The invention relates to precise mechanics, and in particular to mechanisms that provide linear movement in two coordinates, and is intended for automatic connection of wire conclusions $ in the manufacture of semiconductor devices.

Известен двухкоординатный стол, содержащий предметную плиту, промежуточную каретку и основание, перемещаемые относительно друг друга по направляющим, по- ¹⁰парно расположенным на обращенных друг к другу поверхностям, и привод перемещения предметной плиты с толкателями [1].A two-coordinate table is known, comprising a slab, an intermediate carriage and a base, movable relative to each other along rails ¹⁰ arranged in pairs on facing each other, and a drive for moving the slab with pushers [1].

Недостатком данной конструкции стола является невозможность получения точное- ₎₅ти перемещения предметной плиты.The disadvantage of this design of the table is the impossibility of obtaining accurate- _{) 5} types of movement of the subject plate.

Цель изобретения — повышение точности перемещения предметной плиты.The purpose of the invention is to improve the accuracy of movement of the subject plate.

Поставленная цель достигается тем, что двухкоординатный стол, на основании которого по направляющим перемещается 20 промежуточная каретка, имеющая два комплекта перекрещивающихся направляющих, а по направляющим каретки перемещается предметная плита, причем направляющие попарно расположены на обращенных друг к другу поверхностях основания, каретки и плиты, при этом привод перемещения плиты имеет толкатели, снабжен Г-образным упором, жестко закрепленным на предметной плите с возможностью взаимодействия с толкателями привода перемещений, а одна из направляющих каждой пары предметной плиты и основания установлена с возможностью перемещения в направлении, противоположно расположенной направляющей каретки.This goal is achieved by the fact that a two-coordinate table, on the basis of which an intermediate carriage 20 moves along the guides, having two sets of intersecting guides, and a slab moves along the carriage guides, and the guides are arranged in pairs on the facing surfaces of the base, carriage and plate, with this drive plate movement has pushers, equipped with an L-shaped emphasis rigidly fixed to the subject plate with the ability to interact with the drive pushers minutes, and one of each pair of guide plates of the subject and the base is movably mounted in a direction opposite to the guide carriage arranged.

На чертеже изображен двухкоординат- 35 ный стол.The drawing shows a two-coordinate table 35.

Двухкоординатный стол содержит предметную плиту I с закреплен-ным на ней Г-образным упором 2, промежуточную каретку 3, механические привода 4 и 5, основание 6. Привода 4 и 5 неподвижно закреплены на основании 6. На основании 6 и предметной плите 1 соответственно установлены треугольные замкнутые направляющие 7, 8 и 9,10. Направляющие 7 и 9 закреплены неподвижно, а направляющие 45 8 и 10 притянуты к опорным поверхностям основания и плиты посредством постоянных магнитов И и 12, неподвижно закрепленных на них. Кроме этого, направляющие 8 и 10 поджаты пластинчатыми пружинами 13 и 14 к шарикам качения и с возможностью 5Q перемещения в направлении противополож но расположенных направляющих каретки 3. Пластинчатые пружины 13 и 14 соответственно закрыты на основании 6 и плите 1. Предметная плита 1 поджимает Г-образный упор 2 к роликам 15 толкателя 16 приводов 4 и 5 посредством винтовых пружин и 18, которые попарно стягивают предметную плиту с промежуточной кареткой, и каретку с основанием.The two-coordinate table contains a subject plate I with a L-shaped stop 2 fixed on it, an intermediate carriage 3, mechanical drives 4 and 5, base 6. Drives 4 and 5 are fixedly mounted on base 6. Based on 6 and subject plate 1, respectively triangular closed guides 7, 8 and 9.10. The guides 7 and 9 are fixed motionless, and the guides 45 8 and 10 are attracted to the supporting surfaces of the base and plate by means of permanent magnets And and 12, fixedly mounted on them. In addition, the guides 8 and 10 are pressed by the leaf springs 13 and 14 to the rolling balls and with the possibility of 5Q movement in the direction of the opposite guides of the carriage 3. The leaf springs 13 and 14 are respectively closed on the base 6 and plate 1. The subject plate 1 compresses a shaped emphasis 2 to the rollers 15 of the pusher 16 of the actuators 4 and 5 by means of coil springs and 18, which in pairs tighten the subject plate with the intermediate carriage, and the carriage with the base.

Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.

При работе электродвигателя привода 4, опорный ролик 15 толкателя 16 перемещает каретку по направлению, определяемому направлением опорной поверхности Г-образного упора 2. При этом пружина растягивается или сжимается в зависимости от направления перемещенйя толкателя 16, прижимая предметную плиту с Г-образным упором 2 к ролику 15.When the drive motor 4, the support roller 15 of the pusher 16 moves the carriage in the direction determined by the direction of the support surface of the L-shaped stop 2. In this case, the spring is stretched or compressed depending on the direction of movement of the pusher 16, pressing the plate with the L-shaped stop 2 to video 15.

Аналогично работает стол при работе электродвигателя с приводом 5. При совместной работе привода каретка совершает плоскопараллельное движение по траектории, определяемой взаимным расположением и перемещением толкателей приводов 4 и 5. Направляющие координатного стола не определяют направление координат, а создают возможность плоскопараллельного движения предметной плиты в горизонтальной плоскости плиты. Система координат определяется лишь направлением опорных плоскостей Г-образного упора 2. Съемные направляющие 8 и 10, притягиваясь к основанию и предметной плите магнитами 11 и 12, прижимаются пластинчатыми пружинами 13 и 14 к шарикам, устраняя зазоры в направляющих.The table works similarly when the electric motor is driven by drive 5. When the drive is working together, the carriage performs plane-parallel motion along a path defined by the relative position and movement of the drive pushers 4 and 5. The guides of the coordinate table do not determine the coordinate direction, but create the possibility of plane-parallel movement of the plate in the horizontal plane slabs. The coordinate system is determined only by the direction of the supporting planes of the L-shaped stop 2. The removable guides 8 and 10, being attracted to the base and the slab by magnets 11 and 12, are pressed by leaf springs 13 and 14 to the balls, eliminating the gaps in the guides.

Такая конструкция позволяет исключить из технологии сборки трудоемкую операцию тонкой регулировки параллельности направляющих, необходимой для двухкоординатного стола, заменив ее станочной обработкой одной детали, а также значительно уменьшает массу промежуточной каретки, что дает возможность увеличения быстроходности стола, а следовательно, и произ[зодительности.Such a design eliminates the laborious operation of fine adjustment of the parallelism of the guides necessary for a two-coordinate table from the assembly technology, replacing it with machine processing of one part, and also significantly reduces the mass of the intermediate carriage, which makes it possible to increase the speed of the table, and therefore, the design.

Кроме этого, применение пружины для создания гарантированного натяга в направляющих позволяет исключить возможность перетяжки тел качения при сборке и обеспечивает нормальные условия работы и наибольшую долговечность направляющих, а также обеспечивает автоматическую выборку зазора, образующегося со временем в процессе износа.In addition, the use of a spring to create a guaranteed interference in the guides eliminates the possibility of hauling the rolling elements during assembly and ensures normal working conditions and the greatest durability of the guides, as well as provides automatic selection of the gap formed over time during wear.

Claims

TWO-ORDER TABLE containing a slab, an intermediate carriage and a base, movable relative to each other along guides pairwise located on facing each other, and a slide drive with pushers, characterized in that, in order to increase the accuracy of the slide movement, the table is equipped with an L-shaped emphasis rigidly fixed to the subject plate with the possibility of interaction with the drive followers of displacements, and one of the guides of each pair of the subject plate and the base It becomes movable in the direction oppositely situated guide carriage.

73 ^x 6