SU1019237A1 - Устройство дл контрол шероховатости поверхности - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ, содержа щее источник когерентного излучени  и объектив дл  фокуси-ровки падающего излучени , последовательно расположенные на пути отраженного от контролируемой поверхности излучени  щелевую даафрагму, объектив фокусировки отраженного излучени  и фотоприемник с регистрирующим блоком, систему сканировани , о т л и ч ц е е с   тем, что, с целью расширени  диапазона и повышени  точности контрол , система сканировани  установлена на пути падающего излучени . (Л СО ISD оэ. wy II 0

Description

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, дл  контрол  шероховатости поверхности изделий в электронной промышленности машиностроении и других отрасл х.

Известно устройство дл  контрол  шероховатости поверхности, содержащее источник света, световод, свето делительный элемент, фотоприемник,, и регистрирующую систему, включающую усилитель сигнала,фотоприемника , амплитудно-частотный преобразователь , задающий генератор, прокалиброванный по классам шероховатости , блок сравнени  и регистраторCljОднако устройство имеет малый диапазон измерени  шероховатости и низкую точность контрол ,

Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  устройство дл  контрол  шероховатости поверхности, содержащее источник когере:нтнрго излучени  и объектив дл  фокусировки падающего излучени , последовательно расположенные на пути отраженного от контролируемой поверхности излучени  щелевую диафрагму, объектив дл  фокусировки отраженного излучени  и фотоприемник с регистрирующим блоком, систему сканировани  С2 }.

Недостатками известного устройства  вл ютс  ограниченный диапазон и низка  точность контрол .

Целью изобретени   вл етс  расширение диапазона и повьшение точности контрол ,.

Поставленна  цель достигаетс  тем что в устройстве дл  контрол  шероховатости поверхности, содержащ.ем источник когерентного излучени  и объектив дл  фокусировки падающего излучени ,, последовательно расположенные на пути отраженного от контролируемой поверхности излучени  щелевую диафрагму сзбъектив дл  фокусировки отраженногоизлучени  и фотоприемник с регистрирующим блбйом систему сканировани , система сканировани  установлена на пути падающего излучени ,/

На чертеже изображена принципиальна  схема устройства дл  контрол  шероховатости поверхности, ,. Устройство содержит источник 1 корерентного излучени , объектив 2 дл  фокусировки падающего излучени , систему сканировани , включающую генератор 3 синусоидальных колебаний, соединенный с усилителем 4, который воздействует на пьезоэлектрический дефлектор 5 щелевую диафрагму 6,

объектив 7 дл  фокусировки отраженного излучени , фотоприемник 8 с регистрирующим блоком, включающим усилитель 9, амплитудно-частотный преобразователь 10, блок 11 сравнени ,

задающий генератор 12. Выход фотоприемника 8 подключен к входу усилител  9. Выход усилител  9 через амплитудно-частотный преобразователь 10 подключен к первому входу блока

5 11 сравнени ; на второй вход которого подключен выход задающего генератора 12, прокалиброванного по классам шероховатости. Результирующий выход блока 11 сравнени  соединен с регистратором 13.

Предлагаемое устройство работа ,ет следующим образом.

С генератора 3 синусоидальных колебаний через усилитель 4 переманное напр жение прикладываетс  к электродам пьезоэлектрического дефлектора 5. Под действием электрического напр жени  пьезоэлектрический дефлектор 5 совершает механиQ ческие колебани  в пределах угла d-, Направленный на него от источника 1 когерентного излучени  лазерный луч отклон етс  а обе стороны от среднего положени  в пределах угла ±2оС Так как нет необходимости в больших амплитудах угла отклонени  лазерного луча, пьезоэлектрический дефлектор 5 работает в статическом режиме на частоте, отличной от резонансной, что снижаet требовани  к стабильности частоты генератора 1 синусоидальных колебаний , при этом амплитуда угла отклонени  задаетс  величиной напр жени , подаваемого с усилител  k на

пьезоэлектрический дефлектор 5, От-.

раженный от пьезоэлектрического дефлектора 5 падающий сканирующий луч фокусируетс  объективом 2 на контролируемую поверхность fi отража сь ОТ которой j проходит через щелевую диафрагму 6 и фокусируетс  объективом 7 на фьтоприемник 8, Щелева  диафрагма 6 поддерживает неизменной плацадь проход щего через нее пучка света независимо от степени шероховатости-поверхности , при этом фотоприемник 8 реагирует .только на интенсивность отраженного от контро-;

лИруемой поверхности 6 йучка света, который пр мо-пропорционален классу шероховатости. Сигнал с фото приемника 8 через усилитель 9 поступает на амплитудно-частотный преобразователь 10, где напр жение сигнала преобразуетс  в частоту импулБСОв , пропорциональнух} величине фототЬка, С амгшитудно-частотногх преобразовател  .10 импульсы поступают на пёЬвый вход блока 11 сравнени , на второй вход которого поступает импульсы от задающего генератора 12. С результирующего ёыхода блока 11 сравнени  резонанс Ш1Й сигнал, уровень которого обратМО пропорционален степени совпадени  частоть задающего генератора 12 и ча стоты выходного си Гнала а мплитудно-частотного преобразовател  10, поступает на регистратор 13. Величина .шероховатости контролируемой поверхности .определ етс  по шкале задающего генератора 12, прокалиброванного пр KJiaccaM шероховатости , при М4нимальном1 значении показаний pei-HCTpiaTopa 13. : : Таким образом при/И лкоЙ структуре поверхности 0адаюйм й сканиру-. (рщий сфокусированный луч соизмерим с размерами -гФ кгШеровнбстей и f оТг ража сь от мельчайших не(ювностёй, Н1всет интегральную характеристиky об отражательной спосс ности измер емой поверхности; при крупной структуре поверхности лазерный луч.

сканиру  по поверхности, гюрекрывает неровности структуры и также несет интегральную характеристику об отражательной способности изме-. р ёмой поверхности. Щелева  / афрагма 6| пропускающа  отраженный от контролируемой поверхности 1 световой пучок, позвол ет сформировать одонаковую площадь светового п тна на светочувствительном слое фотоприемника 8 независимо от рассеивающих свойств поверхности и. полу 1ть в фотоприемнике 8 фототок, зав 1с щий только от интенсивности отраженного светового потока. Следр

S вательно, применение дл  контроле шероховатости сканироваии  поверхности с целью получени  интегральной характеристики об отражательной способности поверхности совместно

0 с использованием щелевой г а рагмл б дл  создани  посто нной площадн светового пучкс и измерение при этом инте +сивности света, отраженного от поверхности, позвол ет расшир)йтъ диS апазон измерени  и повысить точность контрол  шероховатости

;.- . . .- .. - - . :. В предлагаемом устройстве повышеQ ние чувствительности происходит за счет увеличени  интенсивности сфоку сированного падающего и соответственно отраж ного луча, что сопровож даетс  увеличе1 «ем разрешающей способ ности и, следовательно, увеличением

S доапазона измере й й.

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ' щее источник когерентного излучения й объектив для фокусировки падающего излучения, последовательно расположенные на пути отраженного от контролируемой поверхности излучения щелевую диафрагму, объектив для фокусировки отраженного излучения и фотоприемник с регистрирующим блоком, систему сканирования, о т л и ч а- * ю щ е е с я тем, что, с целью расширения диапазона и повышения точности контроля, система сканирования установлена на пути падающего

   СО КЗ 03. м