SU1015317A1 - Устройство в частности,дл цифрового измерени силы - Google Patents
Устройство в частности,дл цифрового измерени силы Download PDFInfo
- Publication number
- SU1015317A1 SU1015317A1 SU797770639A SU7770639A SU1015317A1 SU 1015317 A1 SU1015317 A1 SU 1015317A1 SU 797770639 A SU797770639 A SU 797770639A SU 7770639 A SU7770639 A SU 7770639A SU 1015317 A1 SU1015317 A1 SU 1015317A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- bending
- invariant
- paragraphs
- bending plate
- force
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 56
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 22
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 8
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 claims description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 239000006071 cream Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/24—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
- G01B11/161—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01G—WEIGHING
- G01G23/00—Auxiliary devices for weighing apparatus
- G01G23/18—Indicating devices, e.g. for remote indication; Recording devices; Scales, e.g. graduated
- G01G23/32—Indicating the weight by optical projection means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
1. УСТРОЙСТВО,в ЧАСТНОСТИ, ДЛЯ ЦИФРОВОГО ИЗМЕРЕНИЯ СИЛЫ, состо щее из элемента деформации, интерферометра с оптическим делителем, неподвижных и подвижных инвариантных от опрокидывани отражателей, монохроматического источника света, оптических систем фотоэлектрических приемников, каскадов формировани импульсов и счетчика пр мого и обратного хода, отличающеес тем, что изготовленное из одного куска тело деформации, например из кварца, состоит из жесткого при изгибе основани 6, прикрепленного жестко в станине 9, на котором установлены жестким образом оптический делитель Зи зеркала интерферометра 4а, 4, как инвариантный от опрокидывани отражатель 5, а также из одной гибочной пластины 7а, к которой прилагаетс измер ема сила и на которой жестко расположен инвариант- § ный от опрокидывани отражатель 5а. (Л сл 00 в 71 V. Фиг.1
Description
2.Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с тем, что тело деформации состоит из основани 6 и нескольких г ибочных пластин 7в и гибочные пластины 7 на их свободных концах соединены жестким образом между .собой элементом св зи 15.
3.Устройство по п. 2, о т л ичающеес тем, что.точка приложени силы предусмотрена на одной из гибочных пластин 1-В.
4.Устройство по п. 2, о т л ичающеес тем, что точка наложени силы предусмотрена на элементе 15 св зи.
. 5. Устройство по пп. 1-4, отличающеес тем, что основание б и элемент св зи 15 изготовлены из кремниевого материала, а гибочные пластины 7а, 7 - из кристаллического кварца.
6. Устройство по пп. 1-5, о т л ичающеес тем, :;что между основанием б и изготовленными из кремниевого материала гйбочныг-ш пластина ,ми 7чз, 76 установлено тело деформаг ции 8, изготовленное из высококачественного материала, например кристаллического кварца.
7.Устройство по пп. 2-6, о т л .И fiaromeec тем, что грузова .колонка 10 присоединена к верхней
гибочной пластине 1-8 посредством кинематической направл ющей 16 и к нижней гибочной пластине 1-S посредством безмоментной св зи.
8.Устройство по пп. 2-7, о т л ич а ю щ е е с тем, что в определенных рассто ни х по направлению
У предусмотрено несколько грузовых . колонок 10, как и мест присоединени
9.Устройство по пп. 1-8, отличающеес тем, что зеркала интерферометра 4, 4-6 жестко соединены с оптическим делителем 3.
10 .Устройство по пп. 2-.9, отличающеес тем, что инвариантный от опрокидывани отражатель 50расположен на, нижней гибочной пластине 7-6, а второй инва риантный от опрокидывани отражатель 54 установлен на верхней гибочной пластине Т6 и отражатели 5а, Бв установлены в расположенной п.араллельно к плоскости - - плоскости, диаметральной по отношению к нулевой точке координат в возможно минимапьном рассто нии по направлению X от.элемента св зи 15
Изобретение касаетс устройства, в частности, дл цифрового измерени силы. Кроме того, с помощью этого устройства могут быть измерены цифровьш образом значени измерени перемещени , к ак и все производимые из силы и перемещени величины.
В соответствии с экономическим патентом ГДР 94905 известно устройство дл непосредственного цифрового измерени силы, содержащее элемент измерени , состо щий из нескольких жестко соединенных ежду собой проз-рачных пластин. К одной пластине элемента измерени ,ьк так называемой гибочной пластине, прилагаетс величина измерени силы. Воздушной щели, образуемой этой пластиной- и пластиной , расположенной напротив нее, придают такую форму, чтобы возникло интерференционное распределение поворотных полос при прогибе гибочной пластины, как и при просвечивании элемента измерени параллельным монохроматичес .киМ светом. Определенные места интерференционного распределе-т ни поворотных полос развертываютс фотоэлектрическими приемниками. Оптимальные соотношени получаютс в случае поворота интерференционных полос из косого начального nojriomeний в начале диапазона измерени до симметричного по отношению исходного положени конечного положени в конце диапазона измерени . Юстировкой приемников по направлению V устанавливаетс объем запаса знаков, соответствующий диапазону измерени . Юстировкой рассто ни приемников по направлению X можно достигать жела емого положени фаз исходных сигналов Объем запаса знсосов, соответствующий диапазону измерени , определ етс -В. этом-ус тройстве рассто нием места развертывани п|}иемника от оси X .
Однако это согласование измен етс в случае, например, изменени относительных положений между элементом измерени , оптической системой изображени и фотоэлектрическим приемником вследствие колебаний температуры .
Рассто ние интерференционных полос в направлении из-за распределени поворотных полос остаетс
посто нным, а в направлении У измен етс в зависимости от значени измерительной величины. Таким образом , количество получаемых интерференционных полос ограничиваетс
рассто нием интерференционных полос, определ е1 «:1м фотоэлектрическим способом . , . В случае закладьшани силы не в центральной точке гибочной пластины возникает скручивание гибочной плас тины, вследствие чего рассто ние интерференционных полос по направле нию X и, -следовательно, разность фа между вых1рдными сигналами измен ютс Соединенные между собой жестким образом пластины, образующие элеМен измерени , должны быть изготовлены из высококачественного и прозрачног мат-ериала. Кроме того, пластины дол ныиметь высокое качество поверхнос тей и сохран ть размеры, чтобы можн было достигнуть желаемой геометрии воздушного зазора. Изготовить элемент деформации из одного куска невозможно , так как окружакмцие воздуш ный зазор поверхности должны быть полированными. Изобретение дает возможность, главным образом, сохран ть рассто ние интерференционных полос посто н ным по всему диапазону измерени и устанавливать его любым образом, принем относительные изменени поло жени между элементом измерени (эл мент деформации), оптической системой изображени и фотоэлектрическим приемником не оказывают никакого вли ни на согласование объема запаса знаков с объемом диапазона, а скручивание гибочной пластины не оказывает вли ни на разность .фаз между выходными сигналами, Устройст во допускает применение непрозрачного материала дл элемента деформа цйи. Элемент деформации отличаетс простой конструкцией. Кроме того, предусмотрена возможность экономии высококачественного материала дл элемента деформации, изменени диап зона измерени простым способом, а также достижени оптическим путем независимости от угловой нагрузки. Задачей изобретени вл етс соз дание устройства, главным образом, дл цифрового измерени силы, имеющего короткие времена измерени и высокую разрешающую способность. Задача, по изобретению решена помещением инвариантного от опрокидывани интерферометра на оформленном |вильчатом образом элементе деформации . Оформление элемента деформации возможно и в виде кольцевой или рамной пружины. Вильчатый элемент деформации сос тоит из жесткого при изгибе основани и одной или нескольких гибочных пластин, причем основание в одном месте жестко закреплено в станине. Основание и гибочные пластины мо гут быть изготовлены обычным образо из одного куска, например, высококачественной пружинной стали или кварца. Дл экономии высококачественного материала элемента деформации существует несколько возможностей. Из высококачественного материала изготовл ют или- только гибочные пластины и соедин ют их прочно с жестким при . изгибе основанием, или добавл ют в гибочных пластинах дополнительные промежуточные части, которым придают такую форму, чтобы они прин ли на себ самую большую часть деформации. В последнем случае только промежуточные части дл элемента деформации должны быть изготовлены из высококачественного матЪриёша. Особе.нно целесообраэньил вл етс изготовление промежуточных частей из кристаллического кварца, а основани , как и гибочных пластин - из кремниевого материала. В случае установлени нескольких гибочных пластин последние на своих свободных концах жестко соедин ютс элементом св зи. Измер ема сила может быть наложена на одну из внешних гибочных пластинах или на элемент св зи. . В случае выполнеии устройства с несколькими гибочными пластинами возникает возможность использовать гибочные пластины одновременно в качестх ве параллельного передаточного рычага дл системы ввода силы. Грузова колонка при этом соедин а непосредственно с гибочными пластиналм. В одном месте присоединени передаетс сила на элемент Деформации. Это место присоединени должно иметь такую форму, чтобы оно не передавало моментов. В другом месте грузова колонка соединена с одной гибочной пластиной при помощи кинематической направл ющей. Кинематическа направл юща должна иметь такую форму, чтобы она могла передавать по возможности только пренебрегаемыё моменты . . . Изменением рассто ни инвариантно го от опрокидывани отражател гибочной пластины от места зажима гибочной пластины можно устанавливать желаемый диапазон измерейи . Установлением нескольких грузовых колонок с различными-рассто ни ми с помсмцью переставлени чашки весов получают систему измерени си.1Ш о несколькими диапазонами. Жестко с элементом деформации соедин ютс оптические части инвариантного от опрокидывани интерферометра известной конструкции. Может быть, например, использован интерферометр Майкельсона, а ветв х которого реализуетс изменение хода пуча инвариантными от опрокидывани (например тройными) призмами. Оптический делитель и оба зеркала интер ферометра, как и инвариантный от опрокидывани отражатель, жестко со дин ютс с основанием. Целесообразн укрепл ть зеркала интерферометра на оптическом делителе, так как производственна реализаци этого процес са легка, при этом окончательна конструкци получаетс жесткой. Дру гой инвариантный от опрокидывани отражатель жестко соединен с гибочной пластиной. При прогибе гибочной пластины вследствие приложенной сил измен етс только оптический пробег в ветви интерферометра, но при этом измен ютс направлени возникающих в инвариантном от опрокидывани отражателей лучей, как и отражаемых отражател ми лучей. Рассто ние инте ференционных полос определ етс положением углов обоих зеркал интерфе рометра, прикрепленных на оптическо делителе. С помощью монохроматического источника света и конденсатора к опти ческому делителю подводитс параллельный монохроматический свет . На оптическом делителе производитс разделение его на два частичных пучка . На инвариантных от опрокидывани отражател х производитс изменение направлений обоих частичных пучков. Потом они поступают на прикрепленны на делительном кубике зеркала интерферометра , отражаютс или проход т еще раз инвариантные от опрокидывани отражатели, соедин ютс оп ть, н оптическом делителе и интерферируют При прогибе гибочной пластины вследствие приложенной силы различие хода интерферирующих пучков измен етс и .интерференционные полосы выход т,. Количество интерференционных полос, выход щих при определенном изменении значени измерени , зависит от рассто ни инвариантного от опрокидывани отражател гибочной пластины от центра прогиба. Объектив изображает интерференционные полосы на фотоэлектрических приемниках. Фотоэлектрические приемники должны быть юстированы только в направлении, перпендикул рном к интерференционным полосам, дл получени желаемой разности фаз. Дл реализации инкрементного способа интерференционна картина развертываетс фотоэлектрическим способом на двух смещенных по фазе на 90 мес тах. Дл уменьшени чувствительности к угловой нагрузке оба инвариантных от опрокидывани отражател располот (жены на обеих гибочных пластинах в параллельной к плоскости il - Z. плоскости , расположенной диаметрально к нулевой точке координат. Инвариантные от опрокидывани отражатели долж ны быть установлены как можно ближе к элементу св зи и учитыва положение элемента св зи, перед гибочными элементами. Изобретение объ сн етс более подробно с помощью примеров осуществлени . На Фиг.1 изображено устройство с основанием и одной гибочной пластиной; на фиг.2 - устройство с основанием .и двум гибочными пластинами; на фиг.З - расположение дета- лей интерферометра дл устранени чувствительности к угловой нагрузке. Согласно фиг.1 элемент деформации составлен из жесткого при изгибе основани 6, гибочной пластины 7а и неподвижно закрепленного промежуточного элемента 8. Основание б и гибочную пластину 7а изготавливают из непрозрачного кварцевого стекла, а промежуточный элемент 8 - из кристаллического кварца. В промежуточном элементе 8 фрезерован паз так, что элемент принимает самую большую часть деформации. Ос .нование 6 в одном месте жестко прикреплено к станине 9. оптический делитель 3 и инвариантный от опрокидывани отражатель 5 жестко соединены с основанием 6 . На оптическом, делителе 3 установлены зеркала интерферометра 4а и 4и. Инвариантный от опрокидывани отражатель So жестко соединен с гибочной пластиной 7а. с помощью монохроматического источника 1 света и конденсатора 2 подводитс к оптическому делителю 3 параллельный монохроматический свет. На оптическом делителе 3 произЬодитс разделение параллельного монохроматического света на два частичных пучка. На соответствующих инвариантных от опрокидывани отражател х 5а и 5-в производитс изменение направлений обоих частичных пучков, пучки поступёиот на зеркала интерферометра 4а и 4-в, отражаютс от них, проход т инвариантные от опрокидывани отражатели 5а и 5 еще раз, соедин ютс оп ть на оптическом делителе 3 и интерферируют. С помощью объектива 11 производитс проекци интерференционного по влени на фотоэлектрические приемники 12, к которым подключены каскады формировани импульсов 13 и счетчик пр мого и обратного хода 14. Сила р направл етс через систему ввода силы, состо щую из чаши весов 20 и грузовой колонки 10, параллельно передаточному рычагу 18 и присоедин ющему элементу 19 на гибочную пластину 7а. С увеличением силы Г гибочна пластина 7а изгибаетс и на фотоэлектриеских приемниках 12 выход т интереренционные полосы. Количество проход щих мимо интерференционных полос читываетс с счетчика пр мого и обратного хода 14 и служит дл измерени значени йлы. Согласно фиг.2 концы хгибочных пластин 7-6 соединены элементом св зи 15. Оптические конструкционные элементы интерферометра точно такие же, как и в устройстве согласно фиг.1. Фотоэлектрическа опенка производитс таким же образом..Сила F передаетс иерез грузовую колонку 10 на нижнюю гибочную пластину 7-в с помощью одного упорного подшипника 17. С верхней гибочной пластиной 7 грузова колонка 10 соединена с помощью кинематической направл ющей 16. Верхн и нижн гибочные пластины 7 служат одновременно параллельным передаточным рычагом 18. В данном примере помещены две грузовые колонки 10 Переставлением чашки весов 20 получают систему измерени силы с двум диапазонами измерени . На фиг.З показано сечение А-А на фиг.2 с измененным расположением
I ,. 5
10
Vf
ff оптических.деталей интерферометра. В этом специальном устройстве, реализующем нечувствительность к- угловой нагрузке, один инвариантный от опрокидывани отражатель 5ci закреплен на нижней гибочной пластине 7 , а Другой инвариантный от опрокидывани отражатель 50 закреплен на верхней гибочной пластине 7-8. Инвариантные от опрокидывани отражатели 5о и Sg расположены в параллельной к плоскости - 1 плоскости, диаметральной к нулевой точке координат, н минимально возможном рассто нии от элемента св зи 15 по направлению X. Дл измерени направлени хода лучей в ветви интерферометра предусмотрено дополнительное поворотное зеркало 21. Признано изобретением по результатам экспертизы, осуществленной Ведомством по изобретательству Германской Демократической Республики.
Claims (10)
- Ί. УСТРОЙСТВО, В ЧАСТНОСТИ,ДЛЯ ЦИФРОВОГО ИЗМЕРЕНИЯ СИЛЫ, состоящее из элемента деформации, интерферометра с оптическим делителем, неподвижных и подвижных инвариантных . от опрокидывания отражателей, моно- хроматического источника света, оптических систем фотоэлектрических приемников, каскадов формирования импульсов и счетчика прямого и обрат· ного хода, отличающеес я тем, что изготовленное из одного куска тело деформации, например из кварца, состоит из жесткого при изгибе основания 6, прикрепленного жестко в станине 9, на котором установлены жестким образом оптический делитель 3 и зеркала интерферометра 4а, 4-6, как инвариантный от опрокидывания отражатель 5, а также из одной гибочной пластины 7а, к которой прилагается измеряемая сила и на которой жестко расположен инвариантный от опрокидывания отражатель
- 2. Устройство по π. 1, о т лича ю щ е е с я тем, что тело деформации состоит из основания 6 и нескольких Гибочных пластин 7в и гибочные пластины 7 на их свободных концах соединены жестким образом между собой элементом связи 15.
- 3. Устройство по п. 2, о т π η-
- 4 а ю щ е е с я тем, что.точка приложения силы предусмотрена на одной из гибочных пластин 7-8.4. Устройство по п. 2, о т л ичающеес я тем, что точка наложения силы предусмотрена на элементе 15 связи.
- 5. Устройство по пп. 1-4, отличающееся тем, что основание б и элемент связи 15 изготовлены из кремниевого материала, а гибочные пластины 7а, 7$ - из кристаллического· кварца.
- 6. Устройство по пп. 1-5, о т л ичающеес я тем, :.что между основанием 6 и изготовленными из крем- . ниевого материала гибочными пластинами 7о, 78 установлено тело деформаг ции 8, изготовленное из высококачественного материала, например кристаллического кварца.
- 7. Устройство по пп. 2-6, о тли· ft а ю щ е е с я тем, что грузовая колонка 10 присоединена к верхней гибочной пластине 7^ посредством кинематической направляющей 16 и к нижней гибочной пластине 7-8 посредством безмоментной связи.
- 8. Устройство по пп. 2-7, о т πη4 а ю щ е е с я тем, что в определенных расстояниях по направлениюX предусмотрено несколько грузовых · колонок 10, как и мест присоединения.
- 9. Устройство по пп. 1-8, отличающееся тем, что зеркала интерферометра 4а·, 4-6 жестко соединены с оптическим делителем 3.
- 10. Устройство по пп. 2-9, отличающееся тем, что инвариантный от опрокидывания отражатель 5cv расположен на, нижней гибочной пластине 7-/?, а второй инвариантный от опрокидывания отражатель 5-4 установлен на верхней гибочной пластине 78 и отражатели 5а, 5-в установлены в расположенной параллельно к плоскости -2 плоскости, диаметральной по отношению к нулевой точке координат в возможно минимапьном расстоянии пр направлению X от.элемента связи 15.·
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD78206632A DD137619A1 (de) | 1978-07-11 | 1978-07-11 | Vorrichtung,insbesondere zur digitalen kraftmessung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1015317A1 true SU1015317A1 (ru) | 1983-04-30 |
Family
ID=5513548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU797770639A SU1015317A1 (ru) | 1978-07-11 | 1979-06-20 | Устройство в частности,дл цифрового измерени силы |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4286879A (ru) |
| CH (1) | CH643949A5 (ru) |
| DD (1) | DD137619A1 (ru) |
| DE (1) | DE2919699A1 (ru) |
| HU (1) | HU182657B (ru) |
| SU (1) | SU1015317A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4132110A1 (de) * | 1991-09-26 | 1993-04-01 | Siemens Ag | Kraftsensor |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DD211168A1 (de) * | 1982-11-01 | 1984-07-04 | Tech Hochschule | Vorrichtung zur modulation optischer gangunterschiede |
| US4815855A (en) * | 1986-07-03 | 1989-03-28 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Interferometric load sensor and strain gage |
| CA2097781A1 (en) * | 1993-06-04 | 1994-12-05 | Peter O. Paulson | Apparatus and method for non-destructive testing of structures |
| US5446546A (en) * | 1993-07-02 | 1995-08-29 | The Boeing Company | Laser interferometric single piece force transducer |
| PT893669E (pt) * | 1997-07-21 | 2002-11-29 | Euratom | Dispositivo e metodo para medir a deformacao de um objecto de teste mecanico |
| US7518731B2 (en) * | 2005-02-01 | 2009-04-14 | Chian Chiu Li | Interferometric MOEMS sensor |
| WO2006110532A2 (en) * | 2005-04-07 | 2006-10-19 | Photonic Associates, Llc. | Precise rotational motion sensor |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1159416A (en) * | 1914-11-25 | 1915-11-09 | Timothy B Powers | Weighing-scale. |
| US3409375A (en) * | 1964-10-21 | 1968-11-05 | Cutler Hammer Inc | Gauging interferometer systems |
| US3622244A (en) * | 1970-01-29 | 1971-11-23 | Optomechanisms Inc | Dual axes interferometer |
| DD94905A1 (ru) * | 1971-09-06 | 1973-01-12 | ||
| DD111993A1 (ru) * | 1974-05-13 | 1975-03-12 | ||
| DE2658629C2 (de) * | 1976-12-23 | 1979-02-15 | Sartorius-Werke Gmbh (Und Vormals Goettinger Praezisionswaagenfabrik Gmbh), 3400 Goettingen | Kraftmeß- oder Wägevorrichtung |
-
1978
- 1978-07-11 DD DD78206632A patent/DD137619A1/xx not_active IP Right Cessation
-
1979
- 1979-05-16 DE DE19792919699 patent/DE2919699A1/de active Granted
- 1979-06-20 SU SU797770639A patent/SU1015317A1/ru active
- 1979-07-03 US US06/054,599 patent/US4286879A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-07-10 CH CH640679A patent/CH643949A5/de not_active IP Right Cessation
- 1979-07-11 HU HU79NA1143A patent/HU182657B/hu unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4132110A1 (de) * | 1991-09-26 | 1993-04-01 | Siemens Ag | Kraftsensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CH643949A5 (de) | 1984-06-29 |
| US4286879A (en) | 1981-09-01 |
| DE2919699A1 (de) | 1980-01-24 |
| DE2919699C2 (ru) | 1988-08-25 |
| HU182657B (en) | 1984-02-28 |
| DD137619A1 (de) | 1979-09-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Davis et al. | The sydney university stellar interferometer—i. the instrument | |
| SU1015317A1 (ru) | Устройство в частности,дл цифрового измерени силы | |
| JPS60219744A (ja) | 投影露光装置 | |
| US4872756A (en) | Dual path interferometer with varying difference in path length | |
| US4329055A (en) | Interferometer apparatus for measuring the wavelengths of optical radiation | |
| US3106127A (en) | Device for the alignment and reading of distances and angles | |
| US4690485A (en) | Flat bed optical scanning beam deflection system | |
| US4071772A (en) | Apparatus for measurement of mechanical aberrations affecting stereoscopic image analysis | |
| GB1471386A (en) | Interferometer for testing telescope optics | |
| SU1083080A1 (ru) | Устройство дл цифрового измерени силы | |
| JPH0448201A (ja) | 干渉測定装置 | |
| US3832063A (en) | Lens axis detection using an interferometer | |
| US2629283A (en) | Interference schlieren apparatus of unusually large dimensions, having means for improving the interference quality by selective one point deformation of the reflecting elements of the device | |
| US3573468A (en) | Photoelectric incremental transducer for 4-phase signals comprising means for geometrically splitting the light beams | |
| RU203510U1 (ru) | Устройство юстировки двухзеркальной центрированной оптической системы | |
| JPS5821527A (ja) | フ−リエ変換型赤外分光光度計 | |
| SU1335805A1 (ru) | Система дл определени погрешности направлени визировани телескопа | |
| SU765671A1 (ru) | Пол риметр | |
| SU1270736A1 (ru) | Астрометрический инструмент | |
| SU1037066A1 (ru) | Способ измерени угла поворота издели | |
| Gates et al. | A confocal interferometer for pointing on coherent sources | |
| SU656014A1 (ru) | Способ юстировки составных зеркал | |
| SU1157359A1 (ru) | Эталонные весы | |
| SU974116A1 (ru) | Устройство дл измерени величины зональных аберраций параболоидных вогнутых поверхностей изделий | |
| SU1486792A1 (ru) | Устройство для записи интерферограмм |