SI24581A - Detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov in postopek izdelave omenjenega detektorja - Google Patents
Detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov in postopek izdelave omenjenega detektorja Download PDFInfo
- Publication number
- SI24581A SI24581A SI201300416A SI201300416A SI24581A SI 24581 A SI24581 A SI 24581A SI 201300416 A SI201300416 A SI 201300416A SI 201300416 A SI201300416 A SI 201300416A SI 24581 A SI24581 A SI 24581A
- Authority
- SI
- Slovenia
- Prior art keywords
- sensor
- rigid section
- detector
- detector according
- islands
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 title description 2
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 title 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 8
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 claims description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005251 gamma ray Effects 0.000 description 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14618—Containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
- H01L27/14658—X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
- H01L27/14661—X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers of the hybrid type
Abstract
Predlagani izum se nanaša na detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov, zlasti na visoko učinkovito detekcijo fotonov energij gama. Po izumu je predlagano, da detektor obsega nosilni ploskovni element (1), obsegajoč osrednji togi odsek (2) in gibka odseka (3, 4), ki sta omenjenemu togemu odseku (2) priključena z njegove vsakokratne vzdolžne strani, pri čemer je togemu odseku (2) z njegove vsakokratne proste ploske strani priključen senzor (5). Omenjena priključitev vsakokratnega senzorja (5) togemu odseku (2) je zasnovana s pomočjo otokov (6) adhezijskega sredstva, razporejenega med togim odsekom (2) in senzorjem (5).
Description
INTECH-LES, razvojni center d.o.o.
Detektor za visoko učinkovito detekcijo Fotonov in postopek izdelave omenjenega detektorja
Predlagani izum se nanaša na detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov, zlasti na visoko učinkovito detekcijo fotonov energij gama. Predlagani izum se nanaša tudi na postopek izdelave omenjenega detektorja.
Detektorji uvodoma navedene vrste so znani in se jih uporablja na primer na področju sledilnikov nabitih delcev v eksperimentih ob pospeševalnikih. Omenjeni detektorji obsegajo silicijev senzor s priključnim območjem za n blazinic. Od vsakokratne blazinice teče priključni vodnik, na primer tanek aluminijast vodnik, ki je razporejen v območju nad vsakokratno blazinico. Senzor na osnovi tovrstne rešitve ima znatno debelino, kar ima za posledico nizko prostorsko in časovno ločljivost detekcije, nizko polnilno razmerje in s tem slab izkoristek detekcije fotonov.
Naloga predlaganega izuma je ustvariti detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov, s katerim so odpravljene pomanjkljivosti znanih rešitev.
Nadaljnja naloga izuma je ustvariti postopek izdelave omenjenega detektorja za visoko učinkovito detekcijo fotonov.
Zastavljena naloga je rešena z značilnostmi, podanimi v značilnostem delu 1. patentnega zahtevka. Podrobnosti izuma so razkrite v podzahtevkih.
Izum je v nadaljevanju podrobneje opisan na osnovi neomejujočega izvedbenega primera in s sklicevanjem na priloženo skico, kjer kaže sl. 1 detektor po izumu v tridimenzionalnem predstavitvenem pogledu, sl. 2 podrobnost II s sl. 1, sl. 3 podrobnost detektorja kot na sl. 2, a v sestavljenem stanju.
Detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov je v nadaljevanju opisan na izvedbenem primeru detektorja za visoko učinkovito detekcijo fotonov energije gama. Medtem ko opis omogoča strokovnjaku s področja, da izdela in uporabi vse, kar je v danem trenutku mišljeno kot najboljši način uporabe, se seveda razume, da so mogoče tudi variante, kombinacije in ekvivalenti specifičnega izvedbenega primera. Izum torej ni omejen z opisanim izvedbenim primerom, temveč so mogoče tudi druge izvedbe, ki so zajete v smislu in obsegu izuma, za katerega se zahteva varstvo.
Detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov obsega nosilni ploskovni element 1, ki je v danem primeru večplastno tiskano vezje, pri čemer je omenjeni ploskovni element 1 zasnovan na način, da obsega osrednji togi odsek 2 in gibka odseka 3, 4, ki sta omenjenemu togemu odseku 2 na po sebi znan način priključena z njegove vsakokratne vzdolžne strani. Omenjeni togi odsek 2 je s svoje vsakokratne ploske strani zasnovan z nizom v rastru razporejenih in medsebojno izolacijsko ločenih kontaktov 2', ki so na po sebi znan način povezani z omenjenim večplastnim tiskanim vezjem 1. Omenjena izolacijska ločitev omenjenih kontaktov 2' je predvidena s pomočjo mostiča med dvema sosednjima kontaktoma 2', pri čemer so omenjeni mostiči na po sebi znan način zasnovani iz foto spajkalne kritine.
Omenjenemu togemu odseku 2 večplastnega tiskanega vezja 1 je z njegove vsakokratne proste ploske strani priključen senzor 5 fotonov, v danem izvedbenem primeru silicijev senzor z nizom v rastru razporejenih blazinic 5' za detekcijo žarkov gama. Omenjeni niz blazinic 5' na omenjenem senzorju 5 je rastrsko razporejen na način, da se ujema z omenjenim v rastru razporejenim nizom omenjenih kontaktov 2' na togem odseku 2. Omenjena priključitev vsakokratnega senzorja 5 togemu odseku 2 je zasnovana s pomočjo niza v rastru razporejenih in medsebojno izoliranih otokov 6 adhezijskega sredstva med togim odsekom 2 in vsakokratnim senzorjem 5, pri čemer se omenjena rastrska razporeditev ujema z rastrsko razporeditvijo omenjenih blazinic 5' na senzorju 5 oz.
omenjenih kontaktov 2' na togem odseku 2. Po predlaganem izumu je predvideno, da je omenjeno adhezijsko sredstvo izbrano kot električno prevodno termoplastično lepilo. Zaradi nizkega modula elastičnosti termoplastičnega lepila je s tem omogočeno zanesljivo spajanje elementov z različnimi temperaturnimi koeficienti raztezka.
Detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov po izumu se izdela na način, da se na vsakokratni omenjeni kontakt 2' iz niza v rastru razporejenih kontaktov omenjenega togega odseka 2 nanese otok 6 adhezijskega sredstva, v danem izvedbenem primeru termoplastičnega lepila. Omenjeni nanos se opravi na primer s pomočjo ustrezne maske ali zaslona ali po postopku pipetiranja ali podobno. Ko se omenjeno adhezijsko sredstvo posuši, se na omenjeni togi odsek 2, ki je opremljen z otoki 6, namesti omenjeni senzor 5, tako da se raster razporeditve blazinic 5' ujema z rastrom otokov 6. Ko sta obe ploski strani togega odseka 2 opremljeni z otoki 6 in senzorjem 5, se ta sklop stisne, prednostno pri temperaturi, ki je višja od temperature okolice. Pri predstavljenem izvedbenem primeru je znašal tlak, s katerim se je omenjeni sklop stisnilo, med 1,5 in 2,5 bar, medtem ko je temperatura, pri kateri se je izvajalo stiskanje, znašala v območju med 150 in 200 °C. Čas stiskanja je znašal približno 60 minut. Na tak način se dobi izvrstno vertikalno povezavo med togim odsekom 2 oz. njegovimi kontakti 2' in senzorjem 5 oz. nizom njegovih blazinic 5', pri čemer otoki 6 ostanejo medsebojno še vedno izolirani.
Predlagani izum ima dodamo prednost, da se lahko po zgoraj opisanem postopku izdelane detektorje za visoko učinkovito detekcijo fotonov sestavi v modul več detektorjev, razporejenih drug na drugem, s čimer se dodatno poveča polnilno razmerje detektorja oz. tovrstnega modula.
Claims (11)
- Patentni zahtevki1. Detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov, značilen po tem, da obsega nosilni ploskovni element (1), obsegajoč osrednji togi odsek (2) in gibka odseka (3, 4), ki sta omenjenemu togemu odseku (2) priključena z njegove vsakokratne vzdolžne strani, pri čemer je togemu odseku (2) z njegove vsakokratne proste ploske strani priključen senzor (5) fotonov, in pri čemer je omenjena priključitev vsakokratnega senzorja (5) togemu odseku (2) zasnovana s pomočjo niza medsebojno izoliranih otokov (6) adhezijskega sredstva, razporejenega med togim odsekom (2) in senzorjem (5).
- 2. Detektor po zahtevku 1, značilen po tem, da je omenjeni togi odsek (2) s svoje vsakokratne ploske strani zasnovan z nizom v rastru razporejenih in medsebojno izolacijsko ločenih kontaktov (2') in je omenjeni senzor (5) zasnovan z nizom v rastru razporejenih blazinic (5') za detekcijo fotonov in so omenjeni otoki (6) razporejeni v rastru, pri čemer se omenjena rastrska razporeditev otokov (6) ujema z rastrsko razporeditvijo omenjenih blazinic (5') na senzorju (5) oz. omenjenih kontaktov (2') na togem odseku (2).
- 3. Detektor po zahtevku 1, značilen po tem, da je omenjeni senzor (5) silicijev senzor.
- 4. Detektor po zahtevku 1, značilen po tem, da je omenjeno adhezijsko sredstvo izbrano kot električno prevodno termoplastično lepilo.
- 5. Detektor po zahtevku 1, značilen po tem, da je omenjeni nosilni ploskovni element (1) večplastno tiskano vezje.
- 6. Postopek izdelave detektorja za visoko učinkovito detekcijo fotonov, značilen po tem, da obsegaa) nanos medsebojno izoliranih otokov (6) adhezijskega sredstva na vsakokratni kontakt (21) iz niza v rastru razporejenih kontaktov togega odseka (2);b) sušenje omenjenega adhezijskega sredstva;c) namestitev omenjenega senzorja (5) na vsakokratno stran omenjenega togega odseka (2), ki je opremljen z otoki (6), tako da se raster razporeditve blazinic (5') na senzorju (5) ujema z rastrom otokov (6);d) stisnjenje sklopa, dobljenega v prejšnjem koraku, s tlakom med 1,5 in 2,5 bar, prednostno pri temperaturi, ki je višja od temperature okolice, in pri času stiskanja približno 60 minut.
- 7. Postopek izdelave detektorja po zahtevku 6, značilen po tem, da temperatura, pri kateri se izvaja stiskanje, leži v območju med 150 in 200 °C.
- 8. Postopek izdelave detektorja po zahtevkih 6 in 7, značilen po tem, da je adhezijsko sredstvo izbrano kot električno prevodno termoplastično lepilo.
- 9. Postopek izdelave detektorja po zahtevkih 6 do 8, značilen po tem, da se omenjeni nanos opravi s pomočjo ustrezne maske ali zaslona ali po postopku pipetiranja ali podobno.
- 10. Postopek izdelave detektorja po zahtevkih 6 do 9, značilen po tem, da se detektorje za visoko učinkovito detekcijo fotonov sestavi v modul več detektorjev.
- 11. Modul, sestavljen iz niza drug na drugem razporejenih detektorjev po kateremkoli od predhodnih zahtevkov.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SI201300416A SI24581A (sl) | 2013-12-10 | 2013-12-10 | Detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov in postopek izdelave omenjenega detektorja |
| PCT/IB2014/062763 WO2015087171A1 (en) | 2013-12-10 | 2014-07-01 | Detector for high-efficient electromagnetic radiation detection, and the process for production of said detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SI201300416A SI24581A (sl) | 2013-12-10 | 2013-12-10 | Detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov in postopek izdelave omenjenega detektorja |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SI24581A true SI24581A (sl) | 2015-06-30 |
Family
ID=51417539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SI201300416A SI24581A (sl) | 2013-12-10 | 2013-12-10 | Detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov in postopek izdelave omenjenega detektorja |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| SI (1) | SI24581A (sl) |
| WO (1) | WO2015087171A1 (sl) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3805100B2 (ja) * | 1997-04-10 | 2006-08-02 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置 |
| US7439516B2 (en) * | 2004-10-01 | 2008-10-21 | General Electric Company | Module assembly for multiple die back-illuminated diode |
| DE102010011582B4 (de) * | 2010-03-16 | 2011-12-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Detektormodul für einen Strahlendetektor und Strahlendetektor |
| US20130049151A1 (en) * | 2011-08-31 | 2013-02-28 | General Electric Company | Anode-illuminated radiation detector |
-
2013
- 2013-12-10 SI SI201300416A patent/SI24581A/sl not_active IP Right Cessation
-
2014
- 2014-07-01 WO PCT/IB2014/062763 patent/WO2015087171A1/en active Application Filing
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2015087171A1 (en) | 2015-06-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101140326B (zh) | 带电粒子束的剂量分布测定装置 | |
| CN105808005B (zh) | 柔性显示屏及其制造方法 | |
| US4195195A (en) | Tape automated bonding test board | |
| CN105404880B (zh) | 一种具有指纹传感器组件的电子装置 | |
| JP2020503606A5 (sl) | ||
| US20010053675A1 (en) | Transponder | |
| JP2007144184A5 (sl) | ||
| CN107112309A (zh) | 用于集成电路模块的柔性互连件及其制造和使用方法 | |
| GB2579325A (en) | High-density interconnecting adhesive tape | |
| JP2017531323A5 (sl) | ||
| RU2007133794A (ru) | Способ изготовления микроэлектронного устройства бесконтактного действия, в частности, для электронного паспорта | |
| WO2004097938A8 (en) | Conductive adhesive bonded semiconductor substrates for radiation imaging devices | |
| US11101395B2 (en) | Wiring module | |
| CN103293548A (zh) | 放射线检测设备 | |
| WO2012058053A3 (en) | Monolithic module assembly using back contact solar cells and metal ribbon | |
| WO2003077538A3 (en) | Radiation imaging device and system | |
| KR20210089691A (ko) | 마이크로 요소의 이송 장치 및 이송 방법 | |
| JP6128190B2 (ja) | ガス増幅を用いた放射線検出器 | |
| US5942046A (en) | Solar module and process for manufacturing same | |
| US11251478B2 (en) | Encapsulated flexible thin-film micro-batteries | |
| US20220246500A1 (en) | Flexible electronic structure | |
| US10203420B2 (en) | Dual sided tape attachment to cathode electrode of radiation detector | |
| SI24581A (sl) | Detektor za visoko učinkovito detekcijo fotonov in postopek izdelave omenjenega detektorja | |
| US20160268226A1 (en) | Method for Manufacturing Electronic Component | |
| KR102107795B1 (ko) | 플렉시블 기판을 이용한 스마트 카드 제조방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OO00 | Grant of patent |
Effective date: 20150708 |
|
| KO00 | Lapse of patent |
Effective date: 20170818 |