SE457836B - ELECTRIC CONDUCTIVE ELECTRODE FOR ANALYZE OF MULTIPLE SAMPLES IN A SWEEP ELECTRON MICROSCOPE - Google Patents

ELECTRIC CONDUCTIVE ELECTRODE FOR ANALYZE OF MULTIPLE SAMPLES IN A SWEEP ELECTRON MICROSCOPE

Info

Publication number
SE457836B
SE457836B SE8703250A SE8703250A SE457836B SE 457836 B SE457836 B SE 457836B SE 8703250 A SE8703250 A SE 8703250A SE 8703250 A SE8703250 A SE 8703250A SE 457836 B SE457836 B SE 457836B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
conductive electrode
electrically conductive
sample
electron microscope
electrode according
Prior art date
Application number
SE8703250A
Other languages
Swedish (sv)
Other versions
SE8703250D0 (en
Inventor
Jan Andersson
Rolf Nybom
Original Assignee
Jan Andersson
Rolf Nybom
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jan Andersson, Rolf Nybom filed Critical Jan Andersson
Priority to SE8703250A priority Critical patent/SE457836B/en
Publication of SE8703250D0 publication Critical patent/SE8703250D0/en
Priority to EP19880907429 priority patent/EP0375716A1/en
Priority to JP50693088A priority patent/JPH03501307A/en
Priority to AU22662/88A priority patent/AU2266288A/en
Priority to PCT/SE1988/000407 priority patent/WO1989001698A1/en
Publication of SE457836B publication Critical patent/SE457836B/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N35/00584Control arrangements for automatic analysers
    • G01N35/00722Communications; Identification
    • G01N35/00732Identification of carriers, materials or components in automatic analysers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N35/00584Control arrangements for automatic analysers
    • G01N35/00722Communications; Identification
    • G01N35/00732Identification of carriers, materials or components in automatic analysers
    • G01N2035/00742Type of codes
    • G01N2035/00772Type of codes mechanical or optical code other than bar code

Description

457 836 10 15 20 25 30 35 undersökning av det uppsamlade partikelprovet. 457 836 10 15 20 25 30 35 examination of the collected particulate sample.

Efter ny luftevakuering i vakuumkammare kan ana- lys av partiklar som uppsamlats från luft eller väts- ka, exempelvis från kroppsvätska, ske i svepelektron- mikroskopet. Resultaten av de analyser som göres på detta sätt kan vara av avgörande betydelse för insätt- ningen av vissa åtgärder, exempelvis för reglering, sanering eller terapeutisk behandling, för vilka krä- ves att analysresultatet är absolut tillförlitligt; det får med andra ord inte kunna ske någon förväxling mellan prov från olika ställen eller från olika perso- ner, då detta kan få ödesdigra konsekvenser. Samtidigt kan det föreligga krav på en rationell hantering av flera prov pà en gång utan att öppna provluckan i svepelektronmikroskopet, för att analyserna skall kun- na ske snabbt och jämförande analyser skall kunna ge- nomföras. Med hjälp av datoriserad bíldanalys kan där- vid ett stort antal prover analyseras automatiskt utan mänsklig inblandning.After a new air evacuation in a vacuum chamber, ana- particulate matter collected from air or liquid can, for example, from body fluid, take place in scanning electron- the microscope. The results of the analyzes performed on this way can be crucial for the deposit the implementation of certain measures, for example for regulation, remediation or therapeutic treatment, for which know that the analysis result is absolutely reliable; in other words, there must be no confusion between samples from different places or from different down, as this can have fatal consequences. At the same time there may be requirements for a rational handling of several samples at once without opening the sample door the scanning electron microscope, so that the analyzes be carried out quickly and comparative analyzes must be implemented. With the help of computerized car analysis, in the case of a large number of samples are analyzed automatically without human intervention.

För närvarande kan endast ett prov i taget analy- 'seras i svepelektronmikroskopets provkammare, eftersom det hittills inte varit möjligt att på ett rationellt sätt identifiera de enskilda proven, om flera prov in- föres samtidigt i provkammaren. Då en förväxling av prov, som undersökes samtidigt, kan få ödesdigra kon- sekvenser, har man därför fått hålla sig till indivi- duell undersökning av de enskilda proven genom att in- föra dessa ett i sänder i svepelektronmikroskopets provkammare med lång analystid som följd med beaktande av att varje vakuumering tar 5 till 30 minuter.At present, only one sample at a time can be 'seras in the sample chamber of the scanning electron microscope, since it has not hitherto been possible to on a rational identify the individual tests, if several tests are fed simultaneously into the sample chamber. Then a confusion of samples, which are examined simultaneously, may have fatal sequences, one has therefore had to stick to individual dual examination of the individual samples by bring these one at a time into the scanning electron microscope sample chamber with long analysis time as a result with consideration that each vacuuming takes 5 to 30 minutes.

I syfte att möjliggöra att flera prov införes samtidigt i svepelektronmikroskopets provkammare för analys under uppnående av stor tidsbesparing utan risk för att det sker någon förväxling av proven, föreslås enligt uppfinningen en elektrod av det ovan angivna 10 15 20 25 30 35 457 836 slaget med de kännetecken som framgår av patentkravet 1.In order to enable more samples to be introduced simultaneously in the scanning chamber of the scanning electron microscope for analysis while achieving great time savings without risk because there is some confusion of the tests, it is suggested according to the invention an electrode of the above 10 15 20 25 30 35 457 836 the type with the characteristics set out in the claim 1.

För närmare förklaring av uppfinningen hänvisas till bifogade ritning, på vilken FIG l är en delvis sprängd perspektivbild av en elektrod enligt uppfinningen, FIG 2 är en vertikalsektionsvy av elektroden i FIG l, FIG 3 är en vertikalsektionsvy i större skala av en enskild provhâllare, FIG 4 är en planvy av provhâllaren i FIG 3, FIG 5 är en perspektivbild, som visar ett alter- nativt utförande av elektroden.For a more detailed explanation of the invention, reference is made to the accompanying drawing, on which FIG. 1 is a partially exploded perspective view of one electrode according to the invention, Fig. 2 is a vertical sectional view of the electrode of FIG 1, Fig. 3 is a larger sectional vertical sectional view of an individual sample holder, Fig. 4 is a plan view of the sample holder of Fig. 3, Fig. 5 is a perspective view showing an alternative native design of the electrode.

På ritningen visas i FIG l och 2 en elektrod, som i detta fall innefattar en rund karusellplatta 10 med ett centralt nav ll. Detta nav har en styrslits 12 för att ingripa med en motsvarande styrlist på en vridtapp i ett svepelektronmikroskop. Karusellen kan sålunda anbringas på tappen endast i ett bestämt vridningsläge _relativt denna, och om tappen sedan är kopplad till en indexeringsanordning. har man sålunda möjlighet att exakt bestämma elektrodens vridningsläge i svepelek- tronmikroskopet. På karusellplattans ovansida är an- ordnade âtta tappar 13. Karusellplattan kan emellertid göras med varierande antal tappar, vilka dock alltid skall vara placerade på exakt lika stort inbördes av- stånd, så att man vid automatisk omflyttning mellan proverna i svepelektronmikroskopets provkammare alltid hamnar på nästa provhållares yta. Själva karusellplat- tan behöver inte heller vara rund utan kan ha kvadra- tisk, rektangulär eller elliptisk form. Tapparna 13 är svagt koniska och kan vara utförda som handel i en Luer-koppling. Varje tapp har en genomgående kanal 14, som via en kanal 15 i karusellplattan kommunicerar med Havet . å? 457 10 15 20 25 30 35 836 På varje tapp är lösbart anbragt en provhållare 16. som i föreliggande fall är utförd i enlighet med WO 86/02160. Den innefattar enligt FIG 3 och 4 en bas- del l7,.som bildar en kavitet l8, vilken genom sin botten kommunicerar med en stuts 19. Denna är utförd som hondelen i en Luer-koppling för att lösbart an- bringas på en av tapparna 13. En filterskiva 20 bildar bäryta för provet och är tätt infäst vid sin períferi mellan en kaviteten omgivande stödyta och en på basde- len anbragt lâsring 21, som med en ringfläns 22 anlig- ger mot översidan av filterskivan. I stutsen l9 är an- ordnat ett spår 23, som skall upptaga ett utsprâng 24 på tappen, så att provhållaren kan anbringas endast i ett förutbestämt vridningsläge på tappen.The drawing shows in Figs. 1 and 2 an electrode, which in this case, a round carousel plate 10 includes a central hub ll. This hub has a guide slot 12 for to engage with a corresponding guide strip on a pivot pin in a scanning electron microscope. The carousel can thus applied to the pin only in a certain rotational position _relatively this, and if the pin is then connected to one indexing device. you thus have the opportunity to accurately determine the rotational position of the electrode in the sweep the throne microscope. On the top of the carousel plate, the arranged eight pins 13. However, the carousel plate can made with varying numbers of pins, which, however, always shall be located at exactly the same mutual distance able, so that in the event of automatic relocation between the samples in the sample chamber of the scanning electron microscope always ends up on the surface of the next sample holder. The carousel plate itself nor does it have to be round but may have a square tical, rectangular or elliptical shape. The pins 13 are slightly conical and may be executed as a trade in a Luer coupling. Each pin has a continuous channel 14, which communicates with via a channel 15 in the carousel plate The sea. oh? 457 10 15 20 25 30 35 836 A sample holder is releasably mounted on each pin 16. which in the present case is carried out in accordance with WO 86/02160. According to FIGS. 3 and 4, it comprises a base part l7, which forms a cavity l8, which through its the bottom communicates with a socket 19. This is done as the female part of a Luer coupling to releasably brought on one of the pins 13. A filter disc 20 forms bearing surface for the sample and is tightly attached to its periphery between a cavity surrounding a cavity and a base locking ring 21, which is mounted with an annular flange 22 gives towards the top of the filter disc. In socket 19 the arranged a groove 23, which is to receive a protrusion 24 on the pin, so that the sample holder can be fitted only in a predetermined rotational position on the pin.

Pâ lâsringen 21 är i anslutning till den provet uppbärande ytan på filterskivan 20, nämligen på den av låsringen 21 bildade cirkulära, ringformiga ytan omkring filterskivan, anordnad en som strukturell relief utförd kod 25 för identifiering av provhållaren .nch därmed det på denna befintliga provet. Koden kan åstadkommas exempelvis medelst laser, och lämpligen åstadkommas samtidigt därmed medelst printer utskrift av till koden (provet) relaterade data. Koden är på samtliga provhållare anordnad i förutbestämt vinkellä- ge relativt spåret 23. Genom att den är utförd som strukturell relief kan den avläsas både utanför och inuti svepelektronmikroskopet, även sedan provhållaren blivit belagd med ett elektriskt ledande tunt skikt.The locking ring 21 is adjacent to that sample supporting surface of the filter disc 20, namely on that of the locking ring 21 formed a circular, annular surface around the filter disc, arranged one as structural relief executed code 25 for identification of the sample holder .nch thus that on this existing sample. The code can achieved, for example, by laser, and suitably achieved simultaneously by means of printer printing of data related to the code (sample). The code is on all sample holders arranged in predetermined angular readings give relative to the track 23. By being made as structural relief, it can be read both outside and inside inside the scanning electron microscope, even then the sample holder has been coated with an electrically conductive thin layer.

Med modern teknik kan den provet uppbärande ytan och även den omkring denna anordnade ringformiga, cirkulä- ra ytan analyseras automatiskt med hjälp av datorbase- rad bildanalys, innebärande att även koden därvid kan avläsas. Koden kan utgöras av siffror eller bokstäver ' eller en kombination därav eller också av en stavkod eller annan kod, som inte är direkt optiskt avläsbar, 10 15 20 25 30 35 457 836 dvs inte kan avläsas och tydas genom okulärbesiktning.With modern technology, the sample can support the surface and also the annular, circular arrangement arranged around it. the surface is automatically analyzed using computer-based series of image analysis, meaning that the code can also do so read. The code can be numbers or letters' or a combination thereof or also of a bar code or other code, which is not directly optically readable, 10 15 20 25 30 35 457 836 ie can not be read and interpreted by visual inspection.

När det är fråga om en icke optiskt avläsbar kod kan den vara kompletterad med en optiskt avläsbar märkning i klartext, vilken kan vara anbragt på den cylindríska mantelytan som omger den ringformiga, cirkulära ytan- Samtliga delar av elektroden utom filterskivan skall vara utförda av elektriskt ledande material, som tål vakuumering och inte skadar svepelektronmikrosko- pet. Basdelen och låsringen är därvid lämpligen utför- da av elektriskt ledande plast, exempelvis HD poly- eten, och detsamma gäller karusellskivan med dess nav och tappar, men även metall, exempelvis aluminium, kan komma ifråga för dessa delar. Koden kan läsas i svep- elektronmikroskopet. Man kan sålunda lätt avgöra vil- ken provhàllare som är i bild i svepelektronmikrosko- pet. Koordinaterna för intressanta partier av provet kan bestämmas, och genom att provhállaren alltid be- finner sig i samma vridningsläge på karusellskivan, kan sådana ställen lätt återfinnas, även om den ifrå- -gavarande provhållaren tages ut och sedan åter sättes in. eftersom provhållarens vridningsläge på tappen alltid är detsamma.In the case of a non-optically readable code can it must be supplemented with an optically readable marking in plain text, which may be affixed to the cylindrical the mantle surface surrounding the annular circular surface. All parts of the electrode except the filter disc shall be made of electrically conductive material, which can withstand vacuuming and does not damage the scanning electron microscope pet. The base part and the locking ring are then suitably designed electrically conductive plastic, such as HD poly- ethylene, and the same applies to the carousel disc with its hub and studs, but also metal, such as aluminum, can come into play for these parts. The code can be read in the electron microscope. One can thus easily determine the sample holder pictured in the scanning electron microscope pet. The coordinates of interesting parts of the sample can be determined, and by the sample holder always is in the same rotational position on the carousel disc, such places can be easily found, even if it is -the current sample holder is removed and then re-inserted in. because the swivel position of the sample holder on the pin is always the same.

Pâ samtliga provhållare kan åstadkommas sugverkan vid uppsamling av provet via karusellskivans nav genom att detta anslutes till en suganordning. Via förbin- delsen till navet kan också ske avluftning, när elek- troden med påsittande provhållare utsättes för under- tryck vid metallbeläggningen och under användningen i svepelektronmikroskopet. Detta är viktigt i det fall att det på filterskivan har ansamlats exempelvis tjocka äggviteskikt, som gör filterskivan ogenomträng- lig för luft. Utan avluftning kan i så fall uppkomma utbuktning av filterskivan till följd av förekommande övertryck i provhâllarkaviteten i anslutning till me- tallbeläggningen eller analysen i svepelektron- 457 836 10 15 20 25 30 35 mikroskopet.Suction effect can be achieved on all sample holders when collecting the sample via the carousel disc hub through that this is connected to a suction device. Via connection to the hub, venting can also take place when the the presence of attached sample holders is subjected to pressure at the metal coating and during use in the scanning electron microscope. This is important in that case that it has accumulated on the filter disc, for example thick egg white layers, which make the filter disc impermeable lig for air. Without venting can occur in that case bulging of the filter disc due to occurrence overpressure in the sample holder cavity adjacent to the the number coating or analysis in the scanning electron 457 836 10 15 20 25 30 35 the microscope.

Det är inte nödvändigt att provhållarna i det be- skrivna utförandet är löstagbara. De kan också vara utförda i ett stycke med karusellplattan.It is not necessary that the sample holders in the written design are removable. They can also be made in one piece with the carousel plate.

I FIG 5 visas ett annat sätt att åstadkomma av- luftningen på. Kanalen i varje tapp kommunicerar med en öppning 26 på karusellskivans undersida i stället för att vara ansluten till navet. I detta fall får provet avsättas på filterskivan genom att varje prov- hållare för sig skild från karusellskivan anslutes till en suganordning.Fig. 5 shows another way of achieving the aeration on. The channel in each pin communicates with an opening 26 on the underside of the carousel disc instead to be connected to the hub. In this case, sheep the sample is deposited on the filter disc by holder separately from the carousel plate is connected to a suction device.

Provhållarens analysyta, dvs den provet uppbäran- de ytan, behöver inte vara luft- eller vätskegenom- släpplig utan kan utgöras av en homogen yta. Provin- samlingen på densamma kan då ske genom centrifuge- ringsförfarande, varvid eventuella partiklar i provet kommer att sedimentera på analysytan. Alternativt kan analysytan vara magnetisk, varvid exempelvis magne- tiska partiklar genom elektromagnetiskt fält kan an- _samlas på ytan.The test surface of the sample holder, ie the sample receiving surface need not be air or liquid permeable. releasable but may consist of a homogeneous surface. Provincial the collection on it can then take place by centrifugation any particles in the sample will settle on the analysis surface. Alternatively can the analysis surface be magnetic, whereby, for example, particulate matter through electromagnetic fields can be _collects on the surface.

Användningen av den beskrivna elektrodenlprovhâl- laren belyses genom följande exempel, avseende analys av eventuella bakterier och virus i urin. Här kan hål- lare med två filter med olika porstorlek användas, då bakterier har en diameter av 1 pm och virus har en diameter mellan 20 nm och 200 nm. Första filtret kan då utgöras av en analysyta med 0,8 Pm filterhålsstor- lek, medan den undre ytan kan utgöras exempelvis av en analysyta med 50 nm filterhålsstorlek. Viruspartiklar kommer att passera genom den övre analysytan och att återfinnas på den undre analysytan. Efter provinsam- ling isärtages analysytorna och placeras i elektroden. belägges med ett guld/platina- eller kolskikt i en s k sputter och avläses i ett svepelektronmikroskop.The use of the described electrode / sample holder The teacher is illustrated by the following example, regarding analysis of any bacteria and viruses in urine. Here, holes lare with two filters with different pore size used, then bacteria have a diameter of 1 μm and viruses have one diameter between 20 nm and 200 nm. The first filter can then consists of an analysis surface with 0.8 Pm filter hole size play, while the lower surface may be, for example, a analysis surface with 50 nm filter hole size. Virus particles will pass through the upper analysis surface and that found on the lower analysis surface. After provincial The analysis surfaces are disassembled and placed in the electrode. coated with a gold / platinum or carbon layer in a so-called sputter and read in a scanning electron microscope.

Alternativt kan eftersökta partiklar ansamlas 10 15 20 25 30 35 457 836 resp anrikas genom att man i provvätskan ínkuberar an- tíkroppsinmärkta mikrosfärer, exempelvis latexpartik- lar, pâ vilkas yta sitter antikroppar, riktade mqt ef- tersökt partikel. Dessa mikrosfärer kan vara av stor- lek från 0,5 pm till 50 pm diameter. Om provet inne- håller eftersökt virus, bindes detta till mikrosfärer- na, som senare kan ansamlas på analysytan, som i detta fall kan ha betydligt större porstorlek än i tidigare exempel, då det endast behöver förhindra genomsläpp- lighet av míkrosfärer och ej av enskilda icke bundna viruspartiklar. Om magnetiska mikrosfärer användes för att på dessa binda specifika antikroppar, behöver ana- lysytan ej vara porös utan kommer dessa mikrosfärer då att ansamlas på analysytan med hjälp av ett elektro- magnetískt fält.Alternatively, sought-after particles can accumulate 10 15 20 25 30 35 457 836 enriched by incubating the sample liquid with microbial microspheres, for example latex particles on the surface of which are antibodies, targeted for searched particle. These microspheres can be of large play from 0.5 pm to 50 pm diameter. If the sample contains search virus, it is bound to the microsphere na, which can later accumulate on the analysis surface, as in this cases can have a significantly larger pore size than in the past example, as it only needs to prevent passage microspheres and not by unbound individuals virus particles. If magnetic microspheres were used for to bind specific antibodies to them, need to the light surface will not be porous but these microspheres will then to accumulate on the analysis surface by means of an electro- magnetic field.

Claims (10)

457 836 PATENTKRAV457 836 PATENT CLAIMS l. Elektriskt ledande elektrod för analys av multipla prover i ett svepelektronmikroskop, k ä n - n e t e c k n a d av att vardera av ett antal på 5 elektroden anordnade enskilda provhållare (16) i an- slutning till en homogen eller fluídgenomsläpplig ana- lysyta har en som strukturell relief anordnad kod (25), som är avläsbar i svepelektronmikroskopet, och att koden eller en därmed korresponderande märkning på 10 elektroden är optiskt avläsbar för identifiering av provet utanför svepelektronmikroskopet, varvid koden liksom den eventuellt förekommande märkningen är av- läsbar såväl före som efter beläggning av elektroden med ett elektriskt ledande skikt. 15Electrically conductive electrode for analysis of multiple samples in a scanning electron microscope, characterized in that each of a number of individual sample holders (16) arranged on the electrode in connection with a homogeneous or fluid-permeable analysis surface has a structural relief code (25), which is readable in the scanning electron microscope, and that the code or a corresponding marking on the electrode is optically readable for identification of the sample outside the scanning electron microscope, the code as well as any marking being readable both before and after coating of the electrode with an electrically conductive layer. 15 2. Elektriskt ledande elektrod enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att provhâllarna (16) är lösbart anordnade på en fíxeringsanordning (10).Electrically conductive electrode according to Claim 1, characterized in that the sample holders (16) are releasably arranged on a fixing device (10). 3. Elektriskt. ledande elektrod enligt krav 2, k ä n n e t e c k n a d av att provhâllarna (16) och 20 _fixeringsanordningen (10) är försedda med styranord- ning för anbringning av provhållarna i förutbestämt läge relativt fixeringsanordningen.3. Electrically. conductive electrode according to claim 2, characterized in that the sample holders (16) and the fixing device (10) are provided with a control device for mounting the sample holders in a predetermined position relative to the fixing device. 4. Elektriskt ledande elektrod enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att provhållarna (16) är 25 fast anordnade på en fixeringsanordning (10).Electrically conductive electrode according to claim 1, characterized in that the sample holders (16) are fixedly mounted on a fixing device (10). 5. Elektriskt ledande elektrod enligt något av krav 2 - 4, k ä n n e t e c k n a d av att fixerings- anordningen (10) är försedd med styranordning för an- bringning i förutbestämt läge i svepelektronmikrosko- 30 pet.Electrically conductive electrode according to one of Claims 2 to 4, characterized in that the fixing device (10) is provided with a control device for application in a predetermined position in the scanning electron microscope. 6. Elektriskt ledande elektrod enligt något av krav 1 - 5, k ä n n e t e c k n a d av att koden är anordnad på en ringformig yta, vilken omger den provet uppbärande ytan. 35Electrically conductive electrode according to one of Claims 1 to 5, characterized in that the code is arranged on an annular surface which surrounds the surface carrying the sample. 35 7. Elektriskt ledande elektrod enligt krav 6, 10 15 20 25 30 35 457 836 k ä n n e t e c k n a d av att märkningen är anordnad på en cylindrisk yta, vilken omger den ringformiga ytan.7. An electrically conductive electrode according to claim 6, characterized in that the marking is arranged on a cylindrical surface which surrounds the annular surface. 8. Elektriskt ledande elektrod enligt något av krav l - 7 med fluidgenomsläpplig analysyta, k ä n - n e t e c k n a d av att analysytan är lufttätt in- fäst i provhållaren.Electrically conductive electrode according to one of Claims 1 to 7, with a fluid-permeable analysis surface, characterized in that the analysis surface is airtightly attached to the sample holder. 9. Elektriskt ledande elektrod enligt krav 8, k ä n n e t e c k n a d av att en under analysytan anordnad kavitet är avluftningsbar även efter provbe- läggning.Electrically conductive electrode according to Claim 8, characterized in that a cavity arranged below the analysis surface can be deaerated even after sample coating. 10. Elektriskt ledande elektrod enligt något av krav l - 9, k ä n n e t e c k n a d av att den består av ett beständigt material, som tål vakuumering och inte skadar svepelektronmikroskopet.Electrically conductive electrode according to one of Claims 1 to 9, characterized in that it consists of a durable material which can withstand vacuuming and does not damage the scanning electron microscope.
SE8703250A 1987-08-21 1987-08-21 ELECTRIC CONDUCTIVE ELECTRODE FOR ANALYZE OF MULTIPLE SAMPLES IN A SWEEP ELECTRON MICROSCOPE SE457836B (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE8703250A SE457836B (en) 1987-08-21 1987-08-21 ELECTRIC CONDUCTIVE ELECTRODE FOR ANALYZE OF MULTIPLE SAMPLES IN A SWEEP ELECTRON MICROSCOPE
EP19880907429 EP0375716A1 (en) 1987-08-21 1988-08-12 Electrode for use in a scanning electron microscope
JP50693088A JPH03501307A (en) 1987-08-21 1988-08-12 Electrodes for use in scanning electron microscopes
AU22662/88A AU2266288A (en) 1987-08-21 1988-08-12 Electrode for use in a scanning electron microscope
PCT/SE1988/000407 WO1989001698A1 (en) 1987-08-21 1988-08-12 Electrode for use in a scanning electron microscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE8703250A SE457836B (en) 1987-08-21 1987-08-21 ELECTRIC CONDUCTIVE ELECTRODE FOR ANALYZE OF MULTIPLE SAMPLES IN A SWEEP ELECTRON MICROSCOPE

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE8703250D0 SE8703250D0 (en) 1987-08-21
SE457836B true SE457836B (en) 1989-01-30

Family

ID=20369349

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE8703250A SE457836B (en) 1987-08-21 1987-08-21 ELECTRIC CONDUCTIVE ELECTRODE FOR ANALYZE OF MULTIPLE SAMPLES IN A SWEEP ELECTRON MICROSCOPE

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP0375716A1 (en)
JP (1) JPH03501307A (en)
AU (1) AU2266288A (en)
SE (1) SE457836B (en)
WO (1) WO1989001698A1 (en)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0504972A1 (en) * 1991-03-18 1992-09-23 Koninklijke Philips Electronics N.V. Specimen holder for use in a charged particle beam device
DE10335504B4 (en) * 2003-07-31 2008-11-27 Carl Zeiss Nts Gmbh Electron beam device with specimen holder
US8334510B2 (en) 2008-07-03 2012-12-18 B-Nano Ltd. Scanning electron microscope, an interface and a method for observing an object within a non-vacuum environment
US8981294B2 (en) 2008-07-03 2015-03-17 B-Nano Ltd. Scanning electron microscope, an interface and a method for observing an object within a non-vacuum environment
JP2012503856A (en) 2008-09-28 2012-02-09 ビー−ナノ リミテッド Vacuumed device and scanning electron microscope
IT1399664B1 (en) * 2010-03-30 2013-04-26 Paglietti ASSEMBLY OF STAMP AND MICROSCOPE STAMP HOLDERS, IN PARTICULAR AN ELECTRONIC SCANNING MICROSCOPE
JP2016513349A (en) 2013-02-20 2016-05-12 ビー−ナノ リミテッド Scanning electron microscope
JP6207305B2 (en) * 2013-08-29 2017-10-04 日本電子株式会社 Cleaning device
DE102018206898A1 (en) * 2018-05-04 2019-11-07 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Apparatus and method for tracking microscopic samples

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2139153A1 (en) * 1971-04-19 1972-10-26 Hamilton Co, Whittier, Calif (V St A) Microscope slide

Also Published As

Publication number Publication date
WO1989001698A1 (en) 1989-02-23
AU2266288A (en) 1989-03-09
SE8703250D0 (en) 1987-08-21
JPH03501307A (en) 1991-03-22
EP0375716A1 (en) 1990-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102239400B (en) Exempt from the method and instrument of the flow cytometry of sheath fluid
US8189899B2 (en) Methods and algorithms for cell enumeration in a low-cost cytometer
US5976892A (en) Method and apparatus for counting cells and microorganisms, particularly in food and biological fluids
RU2402006C1 (en) Device, method and computer program for measuring
US3770349A (en) Method and apparatus for automatically classifying complex, microscopic particles such as human cells
JPS61137062A (en) Method and device for classifying fine particle
SE457836B (en) ELECTRIC CONDUCTIVE ELECTRODE FOR ANALYZE OF MULTIPLE SAMPLES IN A SWEEP ELECTRON MICROSCOPE
CN102036753A (en) Improved imaging of immunomagnetically enriched rare cells
JP2005524833A (en) Devices and methods for analytical cell imaging
DE4023156C2 (en) Method for examining a particle pattern formed on the inclined bottom surface of a reaction vessel
US10753849B2 (en) Suspended particle characterization system
CA2487701C (en) Automatic identification of suspended particles
JP3824641B2 (en) Method and apparatus for preparing an object for optical analysis
JP2016187349A (en) Methods for assessing condition of cell population, methods for assessing carcinogenicity of candidate compound, methods for assessing anticancer activity of potential anticancer compound, and methods for assessing quality of therapeutic cell population
WO2006095896A1 (en) Cultured cell monitoring system
GB2152660A (en) Analysis of biological products
JP2016174578A (en) Microparticle sorting apparatus, and microparticle recovery apparatus equipped with the same
JP6639164B2 (en) Sample separation / detection device using continuous density gradient
JP2010032327A (en) Detection method of substance to be detected, detector of substance to be detected, depth position measuring method and depth position measuring instrument
WO2013010999A1 (en) Method and system for analyzing a liquid cell sample by digital holographic microscopy
KR102418963B1 (en) Apparatus and method for microparticle analysis
US20210239580A1 (en) Method for fixing a thin-film material to a slide
WO2008128243A1 (en) A rapid, semi-automated method to detect respiratory virus infected cells in direct specimens
WO2022250618A2 (en) Flow cytometry device
Giacometti TID MEKII: A rapid and quantitative diagnostic system for malaria

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed

Ref document number: 8703250-4

Effective date: 19910315

Format of ref document f/p: F