Claims (3)
1. Способ измерения рельефа поверхности сканирующим зондовым микроскопом, заключающийся в сканировании исследуемой поверхности в горизонтальной плоскости с одновременным поддержанием постоянного зазора между зондом и образцом в вертикальной плоскости, а также линеаризации измерений путем компенсации возникающей при движении манипулятора разности между заданной величиной перемещения и фактической, измеряемой с помощью линейных датчиков, отличающийся тем, что вместо датчиков положения для компенсации термодрейфа головки и крипа пьезоманипуляторов используются локальные особенности рельефа поверхности, служащие опорными точками при выполнении перемещений зонда, для чего, вначале, производится сканирование апертуры и программное распознавание ближайших соседей, среди которых находится текущая особенность, а также в соответствии с выбранным способом локального связывания следующая; далее, осуществляется операция скиппинга; затем, выполняется перемещение зонда в позицию следующей особенности относительно положения текущей; после чего описанный выше процесс повторяется до тех пор, пока не будет получен скан заданных размеров; используя теперь распределенную в пространстве сканирования сетку из локальных калибровочных коэффициентов и углов косости, найденную в процессе измерения данным способом эталонной поверхности, производиться исправление искажений изображения, вызванных нелинейностью, неортогональностью и кауплингом пьезоманипуляторов.1. The method of measuring the surface topography with a scanning probe microscope, which consists in scanning the test surface in a horizontal plane while maintaining a constant gap between the probe and the sample in the vertical plane, as well as linearizing the measurements by compensating for the difference that occurs when the manipulator moves between a given amount of displacement and the actual measured using linear sensors, characterized in that instead of position sensors to compensate for the thermal drift of the head and creep zomanipulyatorov using local surface topography features serving support points when the displacement of the probe, which, at first, made aperture scanning and recognition software nearest neighbors, among which is the current feature, as well as in accordance with local bonding method selected next; further, a skipping operation is performed; then, the probe is moved to the position of the next feature relative to the position of the current one; after which the process described above is repeated until a scan of the specified size is obtained; Now using the grid distributed in the scanning space from the local calibration coefficients and oblique angles found during the measurement of the reference surface in this way, image distortions caused by non-linearity, non-orthogonality, and piezomanipulators coupling are corrected.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что для выполнения перемещения зонда из текущей особенности в любую другую заданную, лежащую в пределах отсканированной области, на каждом участке маршрута, выполняется сканирование апертуры текущей особенности, распознавание особенностей-соседей, выявление среди них текущей и определение следующей, совпадающей с заданным маршрутом; после перемещения зонда в найденную позицию следующей особенности процесс выполняется циклически до тех пор, пока зонд не достигнет конечной особенности маршрута. 2. The method according to p. 1, characterized in that to perform the movement of the probe from the current feature to any other given, lying within the scanned area, on each section of the route, the aperture of the current feature is scanned, recognition of neighboring features, identification of the current one among them and determining the next one that matches the given route; After moving the probe to the found position of the next feature, the process is performed cyclically until the probe reaches the final feature of the route.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью автоматического возврата зонда в операционную зону на образце, где предварительно изготовлена разветвленная система сходящихся к зоне цепочек из особенностей, указывается исходная особенность и направление движения к зоне, размер апертуры фиксируется, а момент достижения зондом зоны определяется по отсутствию среди распознанных соседей следующей особенности. 3. The method according to p. 1, characterized in that, in order to automatically return the probe to the operating area on the sample, where a branched system of chains converging to the area is preliminarily made from the features, the initial feature and the direction of movement to the area are indicated, the size of the aperture is fixed, and the moment the probe reaches the zone is determined by the absence of the following features among the recognized neighbors.