Claims (11)
1. Способ формирования сверхпроводящего пленочного покрытия из нитрида ниобия, включающий распыление металлического ниобия в скрещенных магнитном и электрическом полях в потоке газовой смеси из инертного газа, например, аргона и азота, осаждение нитрида ниобия на ленточную металлическую, например, медную подложку с приложенным к ней потенциалом смещения и нанесенным промежуточным адгезионным слоем, перемещаемую относительно зоны нанесения покрытия, отличающийся тем, что формирование пленки нитрида ниобия ведут осаждением на многократно перемещаемые участки ленточной подложки относительно, по крайней мере, одного потока плазмы низкого давления при определенном соотношении времени пребывания участков в потоке плазмы и вне его и одновременном перемещении подложки относительно зоны нанесения покрытия с последующей термической обработкой покрытия вне плазмы при давлении, меньшем чем 0,01 Па.1. A method of forming a superconducting film coating of niobium nitride, comprising sputtering niobium metal in crossed magnetic and electric fields in a stream of a gas mixture of inert gas, for example argon and nitrogen, deposition of niobium nitride on a metal tape, for example, a copper substrate attached to it the bias potential and the deposited intermediate adhesive layer, moved relative to the coating zone, characterized in that the formation of a film of niobium nitride is carried out by deposition on a multi-layer clearly moving portions of the tape substrate relative to at least one low-pressure plasma stream with a certain ratio of the residence time of the sections in the plasma stream and outside it and simultaneously moving the substrate relative to the coating zone, followed by heat treatment of the coating outside the plasma at a pressure of less than 0, 01 Pa.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что перемещение ленточной металлической, например, медной подложки относительно зоны нанесения покрытия осуществляют с переменной скоростью, зависимой от скорости распыления ниобия во время формирования покрытия ленточной подложки. 2. The method according to claim 1, characterized in that the movement of the tape metal, for example, copper substrate relative to the coating area is carried out with a variable speed, depending on the spraying rate of niobium during the formation of the coating of the tape substrate.
3. Способ формирования проводника на основе нитрида ниобия, включающий нанесение сверхпроводящего покрытия из нитрида ниобия на ленточную металлическую, например, медную подложку с предварительным нанесением адгезионного слоя из нитрида титана, отличающийся тем, что адгезионный слой формируют реактивным распылением титана в плазме низкого давления с осаждением нитрида титана при многократном перемещении участков ленточной подложки относительно, по крайней мере, одного потока плазмы при определенном соотношении времени пребывания участков в потоке плазмы и вне его и одновременном перемещении подложки относительно зоны нанесения покрытия. 3. A method of forming a conductor based on niobium nitride, including applying a superconducting coating of niobium nitride to a metal tape, for example, a copper substrate with preliminary applying an adhesive layer of titanium nitride, characterized in that the adhesive layer is formed by reactive spraying of titanium in low pressure plasma with deposition titanium nitride during repeated movement of sections of the tape substrate relative to at least one plasma stream with a certain ratio of residence time ASTK in the plasma flow and outside it and simultaneously moving the substrate relative to the coating zone.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что между ленточной металлической, например, медной подложкой и адгезионным слоем из нитрида титана формируют слой металлического титана распылением титана в плазме низкого давления с определенным соотношением толщин слоев нитрида ниобия, нитрида титана и титана. 4. The method according to claim 3, characterized in that between the tape metal, for example, a copper substrate and an adhesive layer of titanium nitride, a titanium metal layer is formed by spraying titanium in low pressure plasma with a certain ratio of the thicknesses of the layers of niobium nitride, titanium nitride and titanium.
5. Способ по пп.3, 4, отличающийся тем, что соотношение толщин слоев нитрида ниобия, нитрида титана и титана поддерживают не меньшим, чем 100:10:3, причем толщина слоя нитрида титана изменяется в пределах 50-200 нм, преимущественно 100-150 нм. 5. The method according to PP.3, 4, characterized in that the ratio of the thicknesses of the layers of niobium nitride, titanium nitride and titanium is maintained not less than 100: 10: 3, and the thickness of the titanium nitride layer varies between 50-200 nm, mainly 100 -150 nm.
6. Способ по пп.3-5, отличающийся тем, что ленточную металлическую, например, медную подложку формируют предварительным распылением металлической мишени, например, медной в плазме низкого давления в скрещивающихся магнитном и электрическом полях. 6. The method according to PP.3-5, characterized in that the tape metal, for example, a copper substrate is formed by pre-spraying a metal target, for example, a copper in a low-pressure plasma in crossed magnetic and electric fields.
7. Способ по пп.3-6, отличающийся тем, что ленточную металлическую, например, медную подложку формируют на ленте из легированной стали на одной или обеих поверхностях. 7. The method according to claims 3-6, characterized in that the tape metal, for example, a copper substrate is formed on an alloy steel tape on one or both surfaces.
8. Способ по пп.3-7, отличающийся тем, что поверх нанесенного покрытия нитрида ниобия формируют пленку из металла, идентичного по составу материалу ленточной металлической, например, медной подложки или отличного от него. 8. The method according to PP.3-7, characterized in that on top of the applied coating of niobium nitride, a film of metal is formed, identical in composition to the material of the metal tape, for example, a copper substrate or different from it.
9. Способ по пп.3-8, отличающийся тем, что между пленкой нитрида ниобия и пленкой, идентичной по составу материалу ленточной металлической, например, медной подложки или отличного от него, формируют поочередно пленки нитрида титана и металлического титана. 9. The method according to claims 3 to 8, characterized in that between the film of niobium nitride and the film identical in composition to the material of the metal strip, for example, a copper substrate or different from it, alternately form films of titanium nitride and metal titanium.
10. Способ по пп.3-9, отличающийся тем, что покрытие из нитрида ниобия наносят на одной или обеих поверхностях вдоль ленточной металлической подложки в виде нескольких полос или нитей, соединенных или разъединенных между собой. 10. The method according to PP.3-9, characterized in that the coating of niobium nitride is applied on one or both surfaces along the tape metal substrate in the form of several strips or threads connected or disconnected from each other.
11. Способ по пп. 3-10, отличающийся тем, что многослойную композицию подвергают термообработке вне плазмы при давлении, меньшем чем 0,01 Па. 11. The method according to PP. 3-10, characterized in that the multilayer composition is subjected to heat treatment outside the plasma at a pressure of less than 0.01 Pa.