Claims (1)
Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции, содержащее формирующую систему, включающую в себя источник света, например лазер, и, расположенный по ходу светового потока, коллимирующий объектив, приемную систему, включающую в себя объектив, формирующий изображение, и детектор, блок обработки сигнала, отличающееся тем, что в него введены дополнительно еще по одной формирующей и приемной системе, которые расположены симметрично относительно оси исследуемого объекта, причем каждая из них дополнительно снабжена сканирующим устройством, состоящим из поворотной платформы с закрепленным на ней зеркалом и угловым датчиком, а в качестве детектора использован четырехквадрантный фотоприемник, кроме того в формирующей системе коллимирующий объектив выполнен таким образом, что в его фокальной плоскости установлен модулятор светового потока, за коллимирующим объективом по ходу светового потока установлен клин, отводящий часть светового потока на фотоприемник, а в тракт приемной системы введен дополнительно набор светофильтров, включающий в себя, в частности, интерференционный светофильтр на рабочую длину волны излучения, а блок обработки дополнительно содержит устройство синхронного детектирования.A device for controlling linear dimensions according to the principle of triangulation, containing a forming system including a light source, such as a laser, and located along the light stream, collimating the lens, a receiving system including an image forming lens, and a detector, a signal processing unit characterized in that an additional one forming and receiving system is introduced into it, which are located symmetrically with respect to the axis of the object under study, each of which is additionally equipped with a scan The device consists of a rotary platform with a mirror and an angular sensor mounted on it, and a four-quadrant photodetector is used as a detector, in addition, the collimating lens is made in the forming system in such a way that a light flux modulator is installed in its focal plane, behind the collimating lens along the way a wedge is installed, which diverts part of the light flux to the photodetector, and an additional set of light filters is introduced into the path of the receiving system, including, in particular tee, an interference filter for a working radiation wavelength, and the processing unit further comprises a synchronous detection device.