RU97110713A - Способ анализа твердых тел - Google Patents
Способ анализа твердых телInfo
- Publication number
- RU97110713A RU97110713A RU97110713/25A RU97110713A RU97110713A RU 97110713 A RU97110713 A RU 97110713A RU 97110713/25 A RU97110713/25 A RU 97110713/25A RU 97110713 A RU97110713 A RU 97110713A RU 97110713 A RU97110713 A RU 97110713A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sample
- comparing
- oxygen content
- working zone
- electron emission
- Prior art date
Links
- 239000007787 solid Substances 0.000 title claims 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 6
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N oxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 3
- 230000001678 irradiating Effects 0.000 claims 1
Claims (2)
- Способ анализа твердых тел, состоящий в определении содержания кислорода в оксидах, путем облучения образцов пробы и эталонов электронным зондом и сравнении интенсивности выхода вторично-электронной эмиссии, отличающийся тем, что в качестве эталона используется один, приготовленный путем кратковременного электронного облучения в вакууме локального участка поверхности образец сравнения, в котором рабочая зона с непрерывно изменяющейся от минимальной до исходной концентрацией кислорода находится вокруг облученной области, а определение содержания кислорода производится сравнением интенсивности вторично-электронной эмиссии из пробы и рабочей зоны эталонного образца.
- 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что облучают участок площадью несколько тысяч кв. мкм, энергию и ток электронного зонда для локального облучения берут соответственно 25-30 кэВ и больше, чем 10-3 А/кв.см, время облучения не превышает 10-15 с.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97110713/25A RU2124716C1 (ru) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | Способ анализа твердых тел |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97110713/25A RU2124716C1 (ru) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | Способ анализа твердых тел |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2124716C1 RU2124716C1 (ru) | 1999-01-10 |
| RU97110713A true RU97110713A (ru) | 1999-05-27 |
Family
ID=20194575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU97110713/25A RU2124716C1 (ru) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | Способ анализа твердых тел |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2124716C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2552596C2 (ru) * | 2012-10-16 | 2015-06-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)" (МАИ) | Датчик вторичной электронной эмиссии |
-
1997
- 1997-06-25 RU RU97110713/25A patent/RU2124716C1/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0615123A4 (en) | SURFACE ANALYSIS METHOD AND DEVICE. | |
| RU97110713A (ru) | Способ анализа твердых тел | |
| KR930014870A (ko) | 집속이온빔을 이용한 집적회로의 동작분석방법 및 그 장치 | |
| GB2126355A (en) | Potential analyzer | |
| KR910018798A (ko) | 시료표면 분석에 있어서 백그라운드 보정을 위한 방법 및 장치 | |
| SE8402518D0 (sv) | Forfarande for att inspektera integrerade kretsar, eller andra objekt | |
| EP0373599A3 (en) | Method of determining the position of electron beam irradiation and device used in such method | |
| EP0285170A3 (en) | Fluorescence analyzer | |
| Hallak et al. | A new method for matrix corrections by radioisotope excited x‐ray fluorescence | |
| GB2160014A (en) | Method and apparatus for surface diagnostics | |
| Henry et al. | Influence of polymer surface hydrophilicity on albumin adsorption | |
| RU2217733C2 (ru) | Способ определения концентрации элемента в веществе сложного химического состава | |
| JPS6428837A (en) | Defect inspection device | |
| Butz et al. | Ion microprobe analyses of ancient human bone | |
| SE8802372L (sv) | Mikroroentgenstraale-spektrometer | |
| KR880013532A (ko) | 원테형 양극 x-선발생기 및 촛점식 조사용 필터 | |
| JPH02118254U (ru) | ||
| RU1824602C (ru) | Способ анализа свойств ферромагнетиков | |
| FR2296847A1 (fr) | Procede et dispositif d'analyse elementaire et chimique d'un echantillon par analyse spectrale des energies des electrons secondaires | |
| JPS52149193A (en) | Method of and apparatus for analyzing cathode luminescence | |
| RU96114582A (ru) | Способ определения пористости ядерных мембран | |
| ES8600513A1 (es) | Procedimiento y aparato de analisis de muestras de soluciones por rayos x fluorescentes | |
| JPS63108156U (ru) | ||
| JPH09304600A (ja) | 元素分析装置 | |
| JPS54145592A (en) | X-ray analyzer |