RU97101642A - Способ плазменно-дугового нанесения покрытия в вакууме - Google Patents
Способ плазменно-дугового нанесения покрытия в вакуумеInfo
- Publication number
- RU97101642A RU97101642A RU97101642/02A RU97101642A RU97101642A RU 97101642 A RU97101642 A RU 97101642A RU 97101642/02 A RU97101642/02 A RU 97101642/02A RU 97101642 A RU97101642 A RU 97101642A RU 97101642 A RU97101642 A RU 97101642A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plasma
- substrate
- vacuum
- arc
- floating potential
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 5
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 claims 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 2
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 claims 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Claims (2)
1. Способ плазменно-дугового нанесения покрытия в вакууме, включающий плазменно-дуговое испарение материала катода и последующую конденсацию полученных паров на очищенной подложке с бомбардировкой поверхности подложки ускоренными ионами, отличающийся тем, что исходную плазму дугового испарителя дополнительно подогревают потоком неравновесной плазмы инертного газа до наведения плавающего потенциала на подложке проводимого технологического процесса и подложку в процессе нанесения покрытия поддерживают под плавающим потенциалом.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что очистку поверхности подложки ведут ионами инертного газа, ускоренными плавающим потенциалом.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97101642A RU2109083C1 (ru) | 1997-01-31 | 1997-01-31 | Способ плазменно-дугового нанесения покрытий в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU97101642A RU2109083C1 (ru) | 1997-01-31 | 1997-01-31 | Способ плазменно-дугового нанесения покрытий в вакууме |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2109083C1 RU2109083C1 (ru) | 1998-04-20 |
| RU97101642A true RU97101642A (ru) | 1998-08-27 |
Family
ID=20189605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU97101642A RU2109083C1 (ru) | 1997-01-31 | 1997-01-31 | Способ плазменно-дугового нанесения покрытий в вакууме |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2109083C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100547698C (zh) | 2005-02-17 | 2009-10-07 | 伊洛克普劳穆股份有限公司 | 平均电压的电密封穿透结构 |
-
1997
- 1997-01-31 RU RU97101642A patent/RU2109083C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7932678B2 (en) | Magnetic mirror plasma source and method using same | |
| CA2411174A1 (en) | A process and apparatus for plasma activated deposition in a vacuum | |
| US4941430A (en) | Apparatus for forming reactive deposition film | |
| KR100509666B1 (ko) | 벌크물질진공코팅장치 | |
| WO1992003841A3 (de) | Vorrichtung zur materialverdampfung mittels vakuumlichtbogenentladung und verfahren | |
| JP2001190948A (ja) | 表面をプラズマ処理する方法及び装置 | |
| RU97101642A (ru) | Способ плазменно-дугового нанесения покрытия в вакууме | |
| US6083356A (en) | Method and device for pre-treatment of substrates | |
| JPH07115213B2 (ja) | 金属複合材の製造方法 | |
| JPS6473069A (en) | Production of aluminum nitride film | |
| JP2008119687A (ja) | イオン及びラジカルを生成するためのシステム及び方法 | |
| US4279216A (en) | Cathode shielded coating apparatus | |
| WO2002063661A3 (en) | Method and apparatus for removal of surface contaminants from substrates in vacuum applications | |
| JPH09176840A (ja) | 真空被覆装置 | |
| RU93018049A (ru) | Способ нанесения вакуумных металлизированных покрытий на диэлектрические подложки | |
| JPS5457477A (en) | Throw away tip of coated tool steel | |
| JPH0625835A (ja) | 真空蒸着方法及び真空蒸着装置 | |
| US4201654A (en) | Anode assisted sputter etch and deposition apparatus | |
| JPS63458A (ja) | 真空ア−ク蒸着装置 | |
| JPH04191364A (ja) | イオンプレーティング方法および装置 | |
| RU97112300A (ru) | Способ формирования износостойкого покрытия на поверхности изделий из конструкционной стали | |
| JPH0672300B2 (ja) | ハイブリツドイオンプレ−テイング装置 | |
| RU99111127A (ru) | Способ испарения и конденсации токопроводящих материалов | |
| JPH09316636A (ja) | 薄い皮膜の堆積方法 | |
| RU99111117A (ru) | Способ обработки поверхности металлических изделий |