Claims (7)
1. Термометр сопротивления с измерительным сопротивлением в форме состоящего в основном из металла платиновой группы резистивного слоя толщиной от 0,1 до 10 мкм, который нанесен на электроизолирующую поверхность подложку с коэффициентом теплового расширения в диапазоне от 8,5 до 10,5 ppm/K и оснащен электроизолирующим покровным слоем, отличающийся тем, что в качестве подложки предусмотрена подложка /1/ в основном из титаната магния.1. A resistance thermometer with measuring resistance in the form of a resistive layer consisting mainly of a platinum group metal with a thickness of 0.1 to 10 μm, which is deposited on an electrically insulating surface with a thermal expansion coefficient in the range from 8.5 to 10.5 ppm / K and is equipped with an electrically insulating coating layer, characterized in that a substrate / 1 / mainly of magnesium titanate is provided as a substrate.
2. Термометр сопротивления по п.1, отличающийся тем, что между подложкой /1/ и резистивным слоем /4/ нанесен промежуточный слой /3/ предпочтительно из окиси алюминия или окиси магния. 2. The resistance thermometer according to claim 1, characterized in that between the substrate / 1 / and the resistive layer / 4 / an intermediate layer / 3 / is applied, preferably of aluminum oxide or magnesium oxide.
3. Термометр сопротивления по п.1 или 2, отличающийся тем, что покровный слой /5/ состоит из боросиликатного стекла. 3. The resistance thermometer according to claim 1 or 2, characterized in that the coating layer / 5 / consists of borosilicate glass.
4. Термометр сопротивления по п.3, отличающийся тем, что боросиликатное стекло имеет толщину в диапазоне от 10 до 100 мкм. 4. The resistance thermometer according to claim 3, characterized in that the borosilicate glass has a thickness in the range from 10 to 100 microns.
5. Термометр сопротивления по п.1 или 2, отличающийся тем, что покровным слоем /5/ является керамическая пластинка из материала подложки /1/. 5. The resistance thermometer according to claim 1 or 2, characterized in that the coating layer / 5 / is a ceramic plate made of a substrate material / 1 /.
6. Термометр сопротивления по п.5, отличающийся тем, что керамическая пластинка имеет толщину от 0,1 до 1 мм. 6. The resistance thermometer according to claim 5, characterized in that the ceramic plate has a thickness of from 0.1 to 1 mm.
7. Термометр сопротивления по п.5 или 6, отличающийся тем, что керамическая пластинка в качестве покровного слоя /5/ закреплена на резистивном слое /4/ или подложке /1/ с помощью керамического клея или стеклоприпоя. 7. The resistance thermometer according to claim 5 or 6, characterized in that the ceramic plate as a coating layer / 5 / is fixed to the resistive layer / 4 / or substrate / 1 / using ceramic glue or glass solder.