Claims (6)
1. Микромеханический вибрационный гироскоп, содержащий корпус, внутреннюю рамку с инерционной массой, наружную рамку, две пары взаимно ортогональных торсионов, соединяющих внутреннюю рамку с наружной и наружную рамку с корпусом, датчики момента по оси наружной рамки и датчики угла по оси внутренней рамки, элементы возбуждения или съема которых размещены на корпусе и на внутренней рамке соответственно, отличающийся тем, что наружная рамка выполнена с крышками, поверхности которых образуют с поверхностями корпуса и внутренней рамки рабочие зазоры, при этом ответные элементы датчиков момента и датчиков угла размещены на крышках со стороны рабочих зазоров.1. Micromechanical vibration gyroscope, comprising a housing, an internal frame with an inertial mass, an external frame, two pairs of mutually orthogonal torsions connecting the internal frame with the external and the external frame with the housing, torque sensors along the axis of the external frame, and angle sensors along the axis of the internal frame, elements excitation or removal of which are placed on the housing and on the inner frame, respectively, characterized in that the outer frame is made with covers, the surfaces of which form with the surfaces of the housing and the inner frame of the working e gaps, wherein the time the response elements of the sensors and angle sensors are placed on the lids from the running clearances.
2. Микромеханический вибрационный гироскоп по п. 1 отличающийся тем, что датчики угла выполнены на основе полевых транзисторов с подвижным затвором (механисторов). 2. The micromechanical vibration gyroscope according to claim 1, characterized in that the angle sensors are made on the basis of field effect transistors with a movable shutter (mechanistors).
3. Микромеханический вибрационный гироскоп по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что элементы датчиков угла и датчиков момента размещены по разные стороны инерционной массы в направлении оси наружной рамки, выполнено экранирование зоны расположения элементов датчиков угла металлизацией и электрическим объединением поверхностей инерционной массы, корпуса и крышек в зоне расположения элементов датчиков угла. 3. The micromechanical vibration gyroscope in paragraphs. 1 and 2, characterized in that the elements of the angle sensors and torque sensors are placed on opposite sides of the inertial mass in the direction of the axis of the outer frame, the screening area of the elements of the angle sensors is metallized and the surfaces of the inertial mass, housing and covers are electrically combined in the area of the location of the angle sensor elements .
4. Микромеханический вибрационный гироскоп по п. 1 отличающийся тем, что торсионы выполнены с крестообразным сечением. 4. The micromechanical vibration gyroscope according to claim 1, characterized in that the torsion bars are made with a cross-section.
5. Микромеханический вибрационный гироскоп, содержащий корпус, внутреннюю рамку с инерционной массой, наружную рамку, две пары взаимно ортогональных торсионов по осям внутренней и наружной рамок соответственно, датчики момента по оси наружной рамки и датчики угла по оси внутренней рамки, отличающийся тем, что дополнительно введены датчики момента по оси внутренней рамки и датчик угла по оси наружной рамки, а также блок возбуждения и компенсации, при этом первый и второй выходы блока, являющиеся выходами сигналов возбуждения колебаний, соединены с первым и вторым датчиком момента по оси внутренней рамки соответственно, а третий и четвертый выходы блока, являющиеся выходами сигналов компенсации, соединены с первым и вторым датчиком момента по оси наружной рамки соответственно, выход датчика угла по оси наружной рамки является выходом гироскопа. 5. A micromechanical vibrational gyroscope, comprising a housing, an inertial-mass inner frame, an outer frame, two pairs of mutually orthogonal torsions along the axes of the inner and outer frames, respectively, torque sensors along the axis of the outer frame and angle sensors along the axis of the inner frame, characterized in that introduced torque sensors along the axis of the inner frame and an angle sensor along the axis of the outer frame, as well as an excitation and compensation unit, while the first and second outputs of the block, which are the outputs of the excitation signals, dineny the first and second torque sensor on the axis of the inner frame, respectively, and third and fourth block outputs are the outputs of the compensation signals connected to the first and second torque sensor axially outer frames, respectively, the axis of the angle sensor output on the outer frame is the output of gyroscope.
6. Микромеханический вибрационный гироскоп по п. 5, отличающийся тем, что блок возбуждения и компенсации содержит генератор импульсов с двумя выходами, причем импульсы на первом выходе генератора сдвинуты по времени относительно импульсов на втором выходе на половину периода их следования, два делителя напряжения, содержащих регулировочные резисторы, при этом первый выход генератора соединен с первым делителем и является первым выходом блока, второй выход генератора соединен с вторым делителем и является вторым выходом блока, а выходы делителей являются третьим и четвертым выходом блока соответственно. 6. The micromechanical vibration gyroscope according to claim 5, characterized in that the excitation and compensation unit contains a pulse generator with two outputs, the pulses at the first output of the generator being shifted in time relative to the pulses at the second output by half their repetition period, two voltage dividers containing adjustment resistors, while the first output of the generator is connected to the first divider and is the first output of the block, the second output of the generator is connected to the second divider and is the second output of the block, and the outputs are divisors are the third and fourth output block, respectively.