RU93049159A - Способ изготовления тонкопленочной углеродной мишени - Google Patents
Способ изготовления тонкопленочной углеродной мишениInfo
- Publication number
- RU93049159A RU93049159A RU93049159/25A RU93049159A RU93049159A RU 93049159 A RU93049159 A RU 93049159A RU 93049159/25 A RU93049159/25 A RU 93049159/25A RU 93049159 A RU93049159 A RU 93049159A RU 93049159 A RU93049159 A RU 93049159A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- thin
- target
- making
- increase
- film
- Prior art date
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 125000004429 atoms Chemical group 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 230000001264 neutralization Effects 0.000 claims 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims 1
Claims (1)
- Изобретение относится к изготовлению тонкопленочных конвертеров зарядового состава пучков частиц, используемых в тандемных ускорителях и атомных зондах. Изобретение позволяет повысить механическую прочность мишени, снизить энергетический порог пропускания частиц, увеличить ресурс работы мишени под пучком. Для этого на стеклянную подложку, покрытую поверхностно-активным веществом, охлажденным до температуры жидкого азота, напыляют углерод в виде ускоренных до высоких энергий нейтральных атомов в присутствии инертного газа при низком парциальном давлении, подложку затем удаляют, а полученную свободную пленку переносят на держатель мишени.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93049159A RU2069454C1 (ru) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | Способ изготовления тонкопленочной углеродной мишени |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93049159A RU2069454C1 (ru) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | Способ изготовления тонкопленочной углеродной мишени |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU93049159A true RU93049159A (ru) | 1996-05-10 |
| RU2069454C1 RU2069454C1 (ru) | 1996-11-20 |
Family
ID=20148571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU93049159A RU2069454C1 (ru) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | Способ изготовления тонкопленочной углеродной мишени |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2069454C1 (ru) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2282583C2 (ru) * | 2003-12-11 | 2006-08-27 | Владимир Анатольевич Левченко | Углеродный полимер |
| RU2587164C1 (ru) * | 2015-02-16 | 2016-06-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева - КАИ" (КНИТУ-КАИ) | Способ изготовления оболочечной мишени (варианты) |
| CN113873738B (zh) * | 2021-09-26 | 2024-01-12 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种自支撑碳基电容器靶及其制备方法 |
| CN116685042A (zh) * | 2021-12-21 | 2023-09-01 | 中国科学技术大学 | 中性原子束产生装置 |
-
1993
- 1993-10-19 RU RU93049159A patent/RU2069454C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5965629A (en) | Process for modifying surfaces of materials, and materials having surfaces modified thereby | |
| ES525131A0 (es) | Un procedimiento para fosfatar una superficie metalica | |
| KR960009823A (ko) | 에칭방법 | |
| ES2022946T5 (es) | Procedimiento para la aportacion de capas sobre sustratos. | |
| TR199902875T2 (xx) | K��elerin elmas benzeri karbon ile kaplanmas�n�n bir y�ntemi. | |
| RU93049159A (ru) | Способ изготовления тонкопленочной углеродной мишени | |
| ATE145780T1 (de) | Superleitender linearbeschleuniger mit saphir- kristall | |
| Serov et al. | Measurement of intense magnetic fields associated with laser− produced plasmas | |
| Müller et al. | Single and double electron transfer in Ari+-He collisions | |
| RU2069454C1 (ru) | Способ изготовления тонкопленочной углеродной мишени | |
| Moosman et al. | Measurements of gas preionization for plasma radiation sources | |
| JPS5456906A (en) | Method of tightening surface layer of sintered body | |
| JPS5633475A (en) | Manufacture of exterior ornamental parts | |
| JPS5671831A (en) | Manufacture for magnetic recording medium | |
| JPS5531150A (en) | Manufacture of molybdenum-coated material having corrosion resistance at high temperature | |
| JPS545374A (en) | Electronic gun | |
| JPS5594474A (en) | Ion plating apparatus for tube inside using laser beam | |
| EP0400651A3 (en) | Method of modification on surface of solid sample | |
| JPS6463219A (en) | Manufacture of superconductive thin film | |
| JPS5834385A (ja) | 高温プラズマ容器内壁の被覆方法 | |
| JPS57162248A (en) | Rotary anode x-ray tube | |
| Mazarakis et al. | Transport Experiments with Neutralized and Space Charge Dominated Deneutralized 2 mA 80 keV Xe Beams | |
| Weiler et al. | Radio studies of extragalactic supernovae | |
| Arata et al. | Development and Application of Strong Focusing Electron Beam Gun With Multi-Stage Electromagnetic Accelerating Units.--I | |
| SU660543A1 (ru) | Отражательный триод |